電動アクチュエータ「ROBODEX」

PR空気圧機器、電動機器両方を扱うCKDだからこそ ご提案できる電動アク…

空気圧機器のノウハウを活かした電動機器をご紹介するとともに、空気圧機器、電動機器 それぞれのメリットやデメリットを理解した上で、お客様に適した機種をご提案いたします。 【製品ラインナップ　一部をご紹介】 ☆スライダタイプ（EBSシリーズ）ーコンパクトで高剛性を追求 ☆ガイド内蔵形ロッドタイプ（EBRシリーズ）ーボディとガイドが一体となるアウターレール方式のガイドを内蔵 ☆スライダタイプ　高速・高...

メーカー・取り扱い企業： ＣＫＤ株式会社

三明MEMS【露光装置/マスクアライナー/ローコスト】シリーズ

PR研究開発から、小LOT多品種、量産まで対応する「手動・半自動・全自動」…

　株式会社三明では、コンパクトな微細露光のスタンダード機「LAシリーズ片面マスクアライナー」や、 両面プロセスのローコストアシストモデル「BAシリーズ正面マスクアライナー」、両面・多面プロセスの スタンダード量産機である「BSシリーズ両面同時露光マスクアライナー」といった手動型の露光機をはじめ、 小ロット多品種から量産まで対応した半自動の「セミオートマスクアライナー」や全自動の「フルオートマ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三明 本社／静岡市、支店／東京・沼津・中部・大阪、営業所／横浜・北関東・山形・名古屋・北陸・長野・八戸

ラッチ型ピンチバルブ「ELシリーズ」/ソレノイドバルブ・電磁弁

大口径（～内径15mm）シリコーンチューブ用ピンチバルブにラッチ機構を…

「ELシリーズ」は、ラッチ機構を採用した、ピンチバルブ「EPKシリーズ」同等品（大口径シリコーンチューブ用）です。 バルブの開閉状態を永久磁石の磁力で保持するラッチ機構を採用することで、動作時のみに電力を...

メーカー・取り扱い企業： 高砂電気工業株式会社

ディフレクターキャップ型リリーフバルブ（逃し弁）　RCシリーズ

低圧回路の圧力制御用に最適です。ディフレクターキャップにより リリー…

配管内の圧力が設定圧力以上になると、大気に圧力を逃がす 小型の圧力制御弁です。RCシリーズは低圧、大気開放で使用する機器に最適です。またディフレクターキャップにより屋外等の曝露使用環境において バルブ内部への異物侵入を防止します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＢＳ

ロッカーバルブ　RVBシリーズ

ポンピングボリュームを減少。全ポート同耐圧バルブ。 ロッカー構造を採…

ロッカーと呼ばれる部品が弁内部でシーソーの様に動き、左右の弁座を交互に封止します（イメージ図参照）。 どのポートも同等の耐圧性能を持ち、流体の流入方向に制約がなくなるため、お客様のマニフォールド設計をシンプルにします。 【特長】 ・ 開閉動作に伴う内部容積の変化がほぼなく、ポンピングボリュームが減少します。 ・ COM.、N.C.、N.O.、全てのポートの耐圧がほぼ同じレベルまで向上しています。...

メーカー・取り扱い企業： 高砂電気工業株式会社

バルブ・ダンパ用スマートポジショナ『YT-3300シリーズ』

トルクモータ方式、HART通信対応（オプション）。ボタン操作または遠隔…

『YT-3300シリーズ』は、バルブの自動位置制御（閉ループ制御）が行える、液晶ディスプレイ搭載のスマートポジショナです。 自動校正機能が用意されており、全パラメータを自動校正することも、ゼロ点及び終点のみ自動校正...

メーカー・取り扱い企業： ロトルクジャパン株式会社

ダイアフラムバルブ「STVシリーズ」小型電磁弁/ソレノイドバルブ

外径20mmの2方ダイヤフラムバルブ、小型耐食弁の人気機種です。接続方…

「STVシリーズ」は、外径20mmの2方ダイアフラムバルブです。 ボディ材質には、PTFE、PEEK、PPSなど耐薬品性に強い材質をご用意。 小型耐食弁の人気機種として、広範囲のアプリケーションで活躍して...

メーカー・取り扱い企業： 高砂電気工業株式会社

高温対応バルブ　SCVサブマージブルバルブ『KD-Sシリーズ』

高温環境(最高200℃)で半導体製造プロセスの多種多様なガスに使用可能…

『KD-Sシリーズ』は、独自の技術を取り入れ高温環境下で使用が可能な ダイヤフラムバルブです。 流量の再現性を求められる原子層堆積（ALD）プロセスのプリカーサー （前駆体）供給に好適。 樹脂シート...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

ＡＬＤプロセス用高速高耐久バルブ『TDFシリーズ』

高速開閉・高い応答安定性！特殊面間寸法や弁形状、耐腐食性材料ボディなど…

『TDFシリーズ』は、ＡＬＤ（原子層堆積）プロセスに必要な高速開閉、高耐久、耐食性、耐熱性、Cv安定性を兼ね備えた高純度ガス対応ダイヤフラムバルブです。 アクチュエータへの熱伝導を低減する構造を採用し、最高...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

オリジナルオプション「ゼロポンピングボリューム」

ポンピングボリュームを当社従来機種の1/100以下にした高砂オリジナル…

高砂電気工業の「ミニチュアバルブ」は、電磁弁の小型化よって、このポンピングボリュームを 最小クラスにする機種をいくつかご用意しました。 「EXAKシリーズ」では、特殊な内部構造（ゼロポンピングボリューム構造）により、 ポンピングボリュームを当社従来機種の1/100以下にしています。 ロッカータイプや非ダイアフラムバルブタイプ（ダイアフラムを...

メーカー・取り扱い企業： 高砂電気工業株式会社

ドロップスルー型ロータリーバルブ『コンセプトシリーズ』

樹脂製チェーンカバーを採用。軽量化＆省スペース化を実現。口径は150～…

ドロップスルー型の汎用ロータリーバルブ『コンセプトシリーズ』は 従来品から鋼板製チェーンカバー(安全カバー)の駆動部周りのデザインを一新。 回転部の露出を減らし、安全性がさらに向上しています。 また、樹脂製のチェーンカバーを採用し、 軽量化・...

メーカー・取り扱い企業： アイシン産業株式会社

高圧ガス対応・高純度ガス用ダイヤフラムバルブ『RDシリーズ』

コンパクト化と低トルク化を実現しました高圧対応のダイヤフラムバルブ！手…

『RDシリーズ』は、高圧に対応するバルブでありながら、コンパクト化と 低トルク化を実現したダイヤフラムバルブです。 「手動弁」は、なめらかな操作感触となっており、一目で開閉状態が 確認できるように、大...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

真空フランジ ボールバルブ『BRWシリーズ』

NWフランジ接続のボールバルブです。最高流体温度200℃まで使用可能！

『BRWシリーズ』は、分解・洗浄・パッキン類の交換が可能な 真空フランジ ボールバルブです。 手動弁と自動弁をご用意。 ボールシートに耐久性・耐熱性に優れたハイパタイトPTFEを 使用しており、最高流...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

ガス遮断弁（スローオープンタイプ）「VLAシリーズ」

使用流体に水素ガス対応オプションを追加！中間圧までをカバーするスローオ…

【安全】 スローオープンによりバーナの立消えを防止。 【バリエーション】 接続口径Rp1/2～Rp21/2まで幅い広いサイズに対応。 【水素ガス対応オプション】 水素ガスでの利用を保証。 水素を燃料ガスとするシステムでのご利用で、CO2排出量削減に貢献。...詳しくはカタログご覧ください ...

メーカー・取り扱い企業： ＣＫＤ株式会社

樹脂溶着継手『TBNシリーズ』

漏れなし・クリーン・軽量コンパクトな樹脂製溶着継手！　配管スペースを大…

『TBNシリーズ』は、漏れなし・クリーン・軽量コンパクトな樹脂溶着継手です。 接続部内面に摺動部分がなくパーティクル特性に優れ、 継手とチューブの端面つきあわせ溶着による完全シールのため、 増し締めの手...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

超高純度用フルオロポリマー・ポペット式逆止弁　CHPシリーズ

Oリングを使用しないエラストマー・フリー仕様により、クリーンなオペレー…

CHPシリーズ・バルブは、Oリングを使用しないエラストマー・フリー仕様により、クリーンなオペレーションを可能にしました。 また、ポペットとそのサポート部の形状により、流体の乱流を低減させ、 溜り部分を排除し...

メーカー・取り扱い企業： スウェージロック・ジャパン

角型真空ゲートバルブ『UXG/LGシリーズ』

Max180℃まで任意の温度に設定可能！メンテナンス期間を大幅に延長で…

『UXG/LGシリーズ』は、半導体真空装置の反応炉とトランスファーチャンバー 間の仕切りを行うために開発した角型のゲートバルブです。 ボディはアルミニウム製で、複動式エアーアクチュエーターにより作動。 ヒ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー