フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

AXELENT フロアバリア

PR【安全対策】工場・倉庫内の安全性向上に大活躍！足元の低い位置で発生する…

アクセレントのX-Protect（エックス・プロテクト）衝撃保護システムに、フロアバリアが登場！ 単体での設置も、同シリーズの他の製品と組み合わせての設置も、どちらも可能です。 X-Protectシリーズの組立はとても簡単！ 支柱の間にレールをスライドさせるだけで、最低限の工具での設置が可能です。 またレイアウト変更や拡張が必要な際にも、モジュラー設計により、既存の構成を簡単に変更する...

メーカー・取り扱い企業： アクセレントジャパン株式会社

【機械メーカー・機械商社様必見！】CSL型サイクロンセパレーター

クーラント液のスラッジ分離に特化した液体濾過器！クーラント液の長寿命化…

クーラント液のスラッジ分離に特化した液体濾過器です。 ポンプにより一定の圧力を加え、 装置内で渦を発生させることでスラッジ等を比重分離します。 クーラント液の長寿命化や、工具・砥石へのダメージ軽減が可能です。 【特長】 ■エレメント不要 ■フィルターの上下が分解できメンテナンスや摩耗時の部品交換が容易 ■液よりも比重が大きいスラッジであれば材質を問わず分離可能 ■空気の巻...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シーシーエス 加須営業所　営業技術部

ベント用フィルター　ＦＢＡシリーズ

スループットが大幅に向上

ock chamber) や搬送チャンバー(Transfer chamber)等において、真空破壊を行う際に発生してしまうパーティクルの巻上げや過渡的な乱流の発生は、ウェハーへのパーティクル付着やダメージを与える可能性があります。従来は窒素ガスをゆっくり導入するスローベントを行うことで同現象を防いでおりましたが、Pureronのベント用フィルターを使用することで、スループットが大幅に向上します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

【自動車部品メーカー様必見！】CSL型 サイクロンセパレーター

クーラント液のスラッジ分離に特化した液体濾過器！クーラント液の長寿命化…

クーラント液のスラッジ分離に特化した液体濾過器です。 ポンプにより一定の圧力を加え、 装置内で渦を発生させることでスラッジ等を比重分離します。 クーラント液の長寿命化や、工具・砥石へのダメージ軽減が可能です。 【特長】 ■エレメント不要 ■フィルターの上下が分解できメンテナンスや摩耗時の部品交換が容易 ■液よりも比重が大きいスラッジであれば材質を問わず分離可能 ■空気の巻...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シーシーエス 加須営業所　営業技術部