フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

超高圧湿式微粒化装置『ナノヴェイタ NVL-ES』

PR圧力をあげても極力粒子にダメージを与えない構造！クロスコンタミを抑制で…

『ナノヴェイタ NVL-ES』は、乳化・分散・解繊・破砕など様々なシーンに 対応できる、メディアレス湿式微粒化装置です。 数十μmの粒子をナノオーダーにし、特性の向上や新たな特性を付与する 目的で使用されています。 処理条件を数値制御できるためデータ管理が容易で再現性が高いのも魅力。 タッチパネルは操作性が良く、感覚的に操作することができます。 【特長】 ■乳化・分散・解...

メーカー・取り扱い企業： 吉田機械興業株式会社 三重ナノテク生産技術センター

【事例】温度異常の報知

温度異常があった際に光・音で報知！早期対応することで、安定稼働ができま…

異常をいち早く知らせることができる ネットワーク監視表示灯の活用事例をご紹介します。 サーバルームの温度異常を知らせるモニタはあるが、温度異常に気付かず、 サーバが停止し、サーバ本体にもダメージを与えていました。 そこで、ネットワーク監視表示灯を導入。温度異常があった際に光・音で報知。 異常に早く気付き、早期対応することで、安定稼働ができます。 【概要】 ■従来 ・温度...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パトライト