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実験・研究開発用途 受託成膜サービス『ALD(原子層堆積)装置』
PRご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜をお手伝い。ライブデモ、パ…
ワッティーでは、ALD装置を使用した『受託成膜サービス』を行っております。 Al2O3、TiO2、ZrO2、HfO2、RuO2、SiO2、TiN等、各種酸化膜・窒化膜の成膜が可能。 成膜可能サイズは小チップからパイプ、フィルム等、300mmの大きさまで対応可能です。 ご要望のプリカーサによる各種サンプルへの成膜のお手伝い、お客様立会い によるライブデモや、ご希望のレシピ、パラメータ...
メーカー・取り扱い企業: ワッティー株式会社
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【デモ機貸し出し可能!】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行い…
ー3.3KW ○アウターカップ:φ400 SUS304 研磨 ○カップ洗浄機構:洗浄液加圧タンクより圧送 ○ノズルアーム:ステッピングモーター駆動 ディスペンサー 2系統 ○溶剤雰囲気:バブリング機構 ○乾燥:真空乾燥5×10-4(TOrr) ●詳しくはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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スピン洗浄装置 高性能型減圧式スピンコーター HMSC-300A
均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています!
KW ○アウターカップ:φ400 SUS304 研磨 ○カップ洗浄機構:洗浄液加圧タンクより圧送 ○ノズルアーム →ステッピングモーター駆動 →ディスペンサー 2系統 ○溶剤雰囲気:バブリング機構 ○乾燥:真空乾燥5×10-4(TOrr) ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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