【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化（No.2220）

PR【試読できます】－成膜技術、リソグラフィ、エッチング、CMP、洗浄－

書籍名：先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか！ 　　新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ■　本書のポイント　1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題 ・これ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社技術情報協会

JUKI新製品公開！6/12~14実装プロセステクノロジー展出展

PRJUKI Smart Solutions「高効率、最適化、高品質な生産…

JUKIは6/12(水)～6/14(金)に東京ビッグサイトにて開催される 「第25回 実装プロセステクノロジー展」に出展いたします。 今回の実装プロセステクノロジー展では、 JUKI Smart Solutions「高効率、最適化、高品質な生産プロセスの実現でお客様の課題を解決」 をテーマに、プラネットヘッドP20Sを加えた「高速フレキシブルマウンタ LX-8」をはじめ、 世界初公開...

メーカー・取り扱い企業： ＪＵＫＩ株式会社

【マンガで解説】プラズマ処理効果を色で判定！機能性色材評価ツール

作業効率化やコスト削減を実現！目に見えないプラズマ処理の効果を、色で見…

タ)「PLAZMARK」をマンガでわかりやすく解説した冊子を進呈中！ 使い方や仕組み、一般的な評価方法との違いのほか、 常圧処理工程・洗浄工程向け、実装工程・後工程向け、デスミア処理向け、 高温プロセス向け、ウエハプロセス向けなど豊富なラインアップも紹介しています。 ★本マンガ資料はダウンロードボタンよりすぐにご覧いただけます。 【「PLAZMARK」の特長】 ■「色」で簡単に評価が可能。面...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サクラクレパス PI事業部

プラズマ処理効果評価ツール『PLAZMARK 耐熱性』

高温プロセスに最適なプラズマインジケータ！ラベル型でも高い耐熱性を実現…

『PLAZMARK 耐熱性』は高温プロセス向けプラズマ処理効果の評価ツールです。 色材に無機材料、機材にポリイミドを採用。 ラベル型でありながら200℃の高い耐熱性を実現します。 フレキシブル性、接着性に優れているため基板表...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サクラクレパス PI事業部

「プラズマ見える化」によりチェックが可能

処理の効果を細かく評価することが可能！PLAZMARKが選ばれる理由を…

り、プラズマの強度に応じて連続的に 変色するので、プラズマ処理の効果を細かく評価することが可能。 プラズマが当たっているかどうかや、プラズマの均一性と分布、 周辺への影響、同型装置と同一プロセス装置の処理効果を確認できます。 【特長】 ■プラズマが当たっているかどうか ・正常状態の確認/再現性の確認/装置管理 ■プラズマの均一性、分布 ・面内分布の確認/異常放電検知の確認/...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サクラクレパス PI事業部

プラズマインジケータ『PLAZMARK 大気圧用超高感度タイプ』

大気圧プラズマ用に超高感度が登場！マイルドなプラズマに対応

見本と変色色差の 比較では、今までの高感度と比べて変色速度が3倍以上。 貼付可能な「ロングラベル型」と、一度に分布評価が可能な 「シート型」の2形状をご用意しております。 【こんなプロセスに好適】 ■スキャンスピードが速い(処理時間が短い) ■プラズマパワーが小さい ■現行高感度No.41では変色しない ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サクラクレパス PI事業部

プラズマ処理効果評価ツール『PLAZMARK ウエハ型』

普段と同じハンドリングで装置に設置！面内分布を簡単に可視化

『PLAZMARK ウエハ型』はウエハプロセス向けの プラズマ処理効果の評価ツールです。 ご使用の基板と同じ形状のインジケータを用いることで 簡単に面内分布の可視化が可能。 基板サイズや材質、変色感度は要望に応じて対応します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サクラクレパス PI事業部