湿式電気集塵機　高性能・省エネ型　

PR集塵極へのダストの付着・堆積が少ないダスト・ミスト処理設備

当社では、高電圧でダスト・ミストの除去率が高く、ヒュームなどの 超微粒子の除去も容易にできる湿式電気集塵機を提供しております。 角筒型のため、堅固で長年使用してもほとんど変形せず、初期の性能を 長期間維持することが可能。 また、広極間なので集塵極にダストが付着・堆積した場合でも電圧低下が 少なく、性能が低下しません。 【特長】 ■集塵極間が広い ■定電圧制御方式を採用 ...

メーカー・取り扱い企業： 住友金属鉱山エンジニアリング株式会社

研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥…

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発向けメタルリフトオフ処理装置。 コンパクトなTWPmから、搬送ユニットを省いてさらに小型化とコストメリットを追求したモデル。 レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

超音波式局所フラクサ『セレクタフラックス』

はんだ付け装置に簡単に組み込めるシステムです。塗布効率が良く無駄が無い…

『超音波式局所フラクサ』は、最小約φ3mmのドット塗布や、厚み約3mmの線引き塗布が行えます。 【特長】 ●フラックスミストを微小化することより薄膜塗布ができ、フラックス残差を減少 ●フラックスの塗布範囲はそのままに薄膜塗布することで、フラックスのランニングコストを削減 ●微小化されたフラックスミストはスルーホール内部にも均一に付着し、はんだのスルーホールアップを向上 ●局所的に塗布...

メーカー・取り扱い企業： アルファエレクトロニクス株式会社

高田工業所社製量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』

リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う量産用枚葉…

量産用『TWPシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長 ・ 高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、 フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減 ・枚葉化による品質・歩留り向上 （クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上 ） ・1チャンバー完結　完全枚葉処理 ・パドル処理、低速回...

メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室

《新型》UDSスピン枚葉装置（エッチング・RCA・洗浄・現像等）

フットプリント・購入コストの大幅低減とスループットUp・基板品質大幅向…

■エッチング、RCA洗浄、現像といった各種WETプロセスに好適 ■1-チャンバーで「薬液⇒リンス⇒乾燥」のフルプロセスを、Dry-In/Dry-Outで対応 　◎従来方式：2-チャンバー構成（チャンバー間移送時に基板は薬液付着状態） 　◎新方式：UDS式では1-チャンバー構成。 ■基板の基本動作 　◎「上段部…基板のLD」⇒「下段部…ケミカル処理」⇒ 　　　　　　　　　　　　⇒「中段部...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

STWHR4156 (防水対応）

防水対応4軸円筒座標型ロボットのSTWHR4156シリーズです。

水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。 薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。 LSI製造プロセスにおける酸、アルカリのミスト雰囲気中のウェーハの搬送に適しています。 アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保 アーム関節部防水構造にVシール使用 部品の接合部はバイトンパッキンによりシール Z軸部防水構造にジャ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル