【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化（No.2220）

PR【試読できます】－成膜技術、リソグラフィ、エッチング、CMP、洗浄－

書籍名：先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか！ 　　新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ■　本書のポイント　1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題 ・これ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社技術情報協会

FPD・半導体用 ガラス基板搬送ケース※1個から生産可能

PRG１～G６ｈの様々なサイズにも対応。精密・高品質なガラス搬送ケースの製…

当社の『ケース事業』では、お客様のニーズに合わせて、ケースの製作・ 修理・洗浄・保管から輸送までトータルシステムをご提案します。 精密・高品質なガラス搬送ケースの製造・クリーンルーム洗浄から物流 支援まで幅広く手掛けています。 また、長年培ってきたガラス精密加工技術をベースに、フラットパネル ディスプレイ用（LCD・OLED）フォトマスク用・メタルマスクのケースなどの 先端分野...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディー・アール・エス（DRS)

『自動化・省力化ソリューションの導入支援』

産業用ロボットの導入からシステム構築までトータルで対応。多彩なロボット…

PoC概念検証から自動化システムの導入まで、当社の技術担当者がサポート。 ティーチングやサンプルプログラムの提供、保守メンテ担当者には法令に則った特別教育を受講いただくことも可能です。 ■半導体製造装置向けサブシステムも 当社製DDモーターや高剛性クロスローラーベアリングを搭載したウエハ搬送ロボットのほか、EFEM、ウエハアライナー、ナノレベルの超精密ステージなどもラインアップ。 高...

メーカー・取り扱い企業： ハイウィン株式会社

HIWIN 産業ロボット用 電動グリッパー

グッドデザイン賞2017受賞Xシリーズ！コンパクトでスタイリッシュ、そ…

自動化設備や医療機器、半導体、食品産業などに応用できます。 ■エンコーダ付ステッピングモーターを使用し、状態フィードバック、異常アラーム、目的物識別などの信号を出力 ■コンパクトリニアモジュールにより、高速、高精度、...

メーカー・取り扱い企業： ハイウィン株式会社

HIWIN ウエハロードポート

8インチ、 12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポート。

・8インチ、 12インチのFOUP/FOSBにダイレクトに対応。 ・製品のクリーン度はClass 1。 　フォトリソグラフィー、エッチング、CVD、PVD、洗浄、検査等、さまざまな半導体プロセス装置でご使用いただけます。 ・関連する安全規制に準拠して、システムは緊急停止機能を提供し、電気制御システム、感知システム、真空システムなどのさまざまな機能モジュールをリアルタイムで監...

メーカー・取り扱い企業： ハイウィン株式会社