JASIS2024出展のお知らせ

PRラボ用機器「湿度制御装置」の展示・ミクロン、ナノレベルに対応した中空糸…

弊社が毎年出展をしております、JASIS2024に今年も出展致します。 狭い空間の湿度を一定に保つ「湿度制御装置」をはじめ、弊社の主力製品で ある精密ろ過フィルターの展示を行います。 また、新技術説明会の開催を行いますので、お気軽にお立ち寄り下さい。 ◆日時・会場◆ 9月4日（水）～9月6日（金）　10:00〜17:00 幕張メッセ国際展示場 最寄駅：ＪＲ京葉線 「海浜幕張」駅下...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツマイクロフィルター 東京営業所

高周波大電流スリップリング

PR高周波で大電流通電可能なスリップリングのご紹介

従来のスリップリング、水銀式などで対応できなかった高周波大電流、13.56MHz,25Ａを通電可能な1極のスリップリングです。 転動式のスリップリングは弊社独自の構造の製品です。 接触抵抗が低く安定しており、また惰性で回転する程度に回転が軽いのも特徴です。 また、高周波電流の振る舞いが複雑で予測することが困難な面もあります。 弊社ではこれまでユーザーとの情報交換で多数の不具合を解決してきた実績...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒサワ技研

株式会社AlphaPlus　取扱製品紹介

真空部品や真空システムの販売などを行っています。

【取扱製品】 ○装置システム スパッタリング蒸着機 →薄膜太陽電池、ディスプレー、半導体などの製造に使用 → 一般的薄膜蒸着装備として多くの金属や無機物薄膜製造に使用可能 ○装置システム ベーパライゼーション蒸着機 →薄膜太陽電池の製造に使用されるCIGS蒸着用装備 →LED...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社AlphaPlus

技術資料ULVAC TECHNICAL JOURNAL No78

無料プレゼント中！真空に関する最新技術資料 No.78です。【アルバッ…

「ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.78」は、真空に関する最新技術資料です。 次世代半導体用ナノカーボン材料の開発動向をはじめ、大容量PCRAM 向け量産装置と プロセスの開発や、アルバックにおけるSiC パワーデバイスの量産技術開発進捗 などを掲載しています。 今なら最新技...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

第17回"超"モノづくり部品大賞「機械・ロボット部品賞」を受賞！

17年連続受賞！半導体製造プロセス用に新しく開発したダイヤフラムバルブ…

・部材を対象に選出している」賞です。 2020年 第17回の"超"モノづくり部品大賞では、「高精度流量バルブ」が 「機械・ロボット部品賞」を受賞いたしました。 「高精度流量バルブ」は半導体製造プロセス用に当社が新しく開発した ダイヤフラムバルブで、設置面積の大幅カットを実現できます。 製品詳細は随時HPで公開いたします。 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社

液体ヘリウム連続フロークライオスタット

フォトルミネッセンス測定や光半導体の評価など光学的測定をサポートします…

当製品は、液体ヘリウムを連続フローさせサンプルを冷却する クライオスタットです。 フォトルミネッセンス測定や光半導体の評価など光学的測定をサポート。 光導入窓の大きさはφ5～φ50mmまで製作が可能です。オプションで 低温シールドシャッターを取り付けることが可能で、極低温時ヘリウムの 蒸発量を抑えるこ...

メーカー・取り扱い企業： 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所

ガス配管製作

ガス配管製作

自動溶接作業は、クラス１０，０００相当のクリーンルームにて行っております。 製品完成後は洗浄工程を通り、減圧脱気梱包を施したものを納品させて頂きます。 【他に・・・】 ◆半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の 　設計・製作を行っております。 ◆真空装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

*質量分析計

•業界トップレベルの基本性能 •ワールドワイドサービス → 日本国内…

分析機器の開発・製造を行なっている企業です。同社は、50年以上も前に世界で初めてのターボポンプを開発いたしました。それ以降、技術革新を進めこの分野におけるリーダーカンパニーとして、世界各国における半導体、分析、コーティング、産業、R&Dなどの多種多様の分野において、お客様に最適な真空環境をご提供しています。...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

真空レギュレータ

超高感度な真空レギュレータ。大気圧近辺の低真空域も確実に制御

ー製品は複ダイアフラム式構造で、適正な面積と柔軟な素材により感度特性は31Pa～127Paと超高感度です。 ー当製品は分析装置サンプルガス導入系制御、搬送系制御や各種試験装置、半導体製造装置及びタイヤ工場における加硫機制御等様々な用例にご利用頂いております。 ー使用方法は二種ございます。一つは真空容器の外側に配管し、大気若しくは正圧を真空側に送出する方法、若しくは真空容器と...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンコントロールス 「Japan Controls Co. Ltd.」株式会社 東京本社

分子線エピタキシー（MBE）装置

コンパクトなサイズ（１インチ〜２インチ）対応のMBE装置です。

製蒸着セルの搭載も可能であり、ご指示頂きました蒸着セルをご選択可能な設計をしております。超高真空対応に、標準にて液体窒素用シュラウドを装着しております。基板加熱・回転機構を装備しております。窒化物半導体や酸化物半導体は、RFアトムソースを接続する事により、成長可能です。また、蒸着チャンバーを複数ドッキング可能な設計になっており、将来的な増設等のご希望にお応えしております。...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

広い分野で汎用された金属ベローズ

金属ベローズは各種の真空装置や半導体製造装置に応用された部材です。

Htc Vacuum)は提供できる金属ベローズの種類は溶接ベローズや成形ベローや、フレキシブルチューブの3種類あります。 これらの製品は伸縮性がよくて、各産業の装置配管に汎用されています。例え：半導体・真空装置によく配管の伸縮継手として汎用されます。ベローズの製品もいつも真空装置などの配管工程に使われています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 日揚科技股份有限公司

CKD 高真空用エアオペレイトバルブ AVB

【太陽電池、ＦＰＤ、半導体製造工程に】長寿命、高耐久性を実現。高い信頼…

【長寿命・高耐久】（パート７シリーズ） 独自構造により長寿命と使い勝手を向上したスタンダードモデル。 成形べローズの形状最適化により高い耐久性。 アルミボディ採用で軽量化。 実力値300万回の圧倒的な耐久性（当社規定条件にて）。 【設置・配管の自由度アップ】（パート7シリーズ） 4方向の任意の位置に操作ポートを選択可能。 4面すべてに動作位置検出用の超小形スイッチの搭載可能。 ...

メーカー・取り扱い企業： ＣＫＤ株式会社

成形ベローズ NW-KF『CEV-20000』

真空配管用成形ベローズです。NW（KF）フランジ付きです。

W100 ■製作全長（ L ）はご指示ください。 ■繰り返し耐久寿命が長い製品です。 ■呼び径NW-10も製作可能です。 ■呼び径NW-125以上も製作可能です。 【使用分野】 ■半導体、液晶、石油化学、建築、食品など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 中日技研工業株式会社

水蒸気吸引に強い！液封式（水封式）真空ポンプユニットUNIVAS

蒸気・コンタミ・固形物を含む気体の連続運転が可能！液封式真空ポンプ・タ…

　（一般工場の真空源、射出成形・発泡成形・押出し機、真空鋳造・フルモールド鋳造など） ◎特殊ガスの吸引 　（高温ガス、爆発性ガス、有毒ガス、煤煙、スクラバーなど） ◎真空チャッキング 　（半導体ウェーハ生成） ◎真空乾燥 　（機械部品・電子部品の乾燥、調味料・香辛料の乾燥） ◎蒸留・濃縮・脱気・脱泡 　（製薬・飲料・原油精製、チョコレート・化粧品・樹脂製造） ※詳しくは資料...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニクニ 本社、本社営業部、大阪営業所、名古屋営業所、福岡営業所

真空技術とFAの要素技術を融合！設計・製造からサポートまで対応

重ね合わせ装置やシール剤塗布装置と窒素置換容器、特型GBの設計・制作

半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の設計・製作を行っております。装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な体制となっております。排気セット等のユニット単位での設計製作も行っております。また、各種実験補助設備の設計や真空設計の応用に豊富な経験があり、仕様検討の段階よりお手伝いさせていただきます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

メンテナンス・リサーチ株式会社　会社案内

真空装置のサポート・真空プロセス製品を広くご紹介しております。

え品等を用意し、信頼のあるパーツと技術サービスのご提供を通してお客様のデバイス生産活動に貢献いたします。 【事業内容】 ○海外真空プロセス設備の販売、各社中古真空プロセス装置販売 ○各社半導体用真空設備の修理 ○真空搬送ロボット修理 ○各社電源修理 ○半導体装置のパーツ設計販売 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： メンテナンス･リサーチ株式会社

クリスタルイオンゲージ『M-336MX』

高精度、低真空領域において優れた再現性！大気圧から超高真空まで広い圧力…

領域には長年の実績を誇るミニチュア B-Aゲージを採用したコンビネーションゲージです。 大気圧から超高真空まで、広い圧力領域をこの1台で測定が可能。 真空装置の粗引き・到達圧力測定、半導体・電子部品製造装置の 圧力測定などにお使いいただけます。 【特長】 ■クリスタルゲージとミニチュアB-Aゲージを組み合わせた 　コンビネーションゲージ ■超高真空から大気圧 ■...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社