水素フリーDLC（ta-C）『TETRAスリック』

PR難加工材用の切削工具、半導体向けの極細切削工具などの高硬度化・長寿命化…

水素フリーDLC（ta-C）『TETRAスリック』は、 高硬度で優れた耐摩耗性を実現するコーティングです。 薄膜仕様のため、厳しい精度が求められる加工物に適しています。 高い密着性で長寿命化が実現できるほか、耐熱特性に優れているのも特長です。 【用途例】 ■アルミニウムやチタン等の難加工材用切削工具・極細ドリルなど ■精密金型（半導体封止モールド用金型・レンズ成形・曲げ型・樹脂...

メーカー・取り扱い企業： 日本コーティングセンター（ＪＣＣ）株式会社

アルミ・鋼の金属部品加工＜事例集進呈＞

PR高品質・高精度の製品を製作。アルミ部品は平行・平坦度2/100mmに対…

アルミ・鋼の角物の加工を手掛ける当社は、高性能な立型マシニングセンタや 横型マシニングセンタをはじめとする設備を多数導入しており、 高品質・高精度の製品ニーズにお応えしています。 アルミで2/100mm、鋼で1/100mm（研磨込み）の平行・平坦度を誇るなど、 高い技術力を保有。半導体業界水準のキズの無い美しい仕上がりを提供します。 手のひらサイズから約20kgまでの幅広い製品に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジーエスピー

プラズマ装置(表面改質・エッチング・成膜)のレンタル・受託処理

今なら無償デモ中！各種プラズマ装置のレンタルや受託処理を承ります(7日…

面処理は、素材の表面に独自の個性をもたせ、製品の高機能化、高付加価値化を図る次世代表面処理技術として、現在、幅広い分野(エレクトロ二クス～医療・バイオなど)の応用技術として注目されています。 魁半導体では創業以来の知見を元に、プラズマ技術の研究開発・実験・試作をスピーディーにサポートし、開発コストの削減を実現致します!! 【サービスの内容】 ◇各種プラズマ装置のレンタル　 　・最短1...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

中型真空プラズマ装置【ワンタッチで簡易な操作性】

表面改質に特化した大型真空プラズマ装置！ワンタッチの簡単な操作性で初心…

表面改質に特化した大型真空プラズマ装置です。 ワンタッチフルオート機能、及び、オートリーク機能を搭載しているため、取扱が非常に容易で、真空機器初心者でも扱えます。 AC100Vのコンセントで動作しますので、様々な状況での使用が可能となります。 また大変メンテナンスが容易です。又、チャンバーサイズはご要望に合せて作らせて頂きます。...■大面積！φ400、A4サイズの処理対応 ■家電感覚の使用感 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

サクションカップ B5　半導体用EPDM製　新発売

半導体用にEPDM製吸着パットがリリース！

従来のシリコン、クロロプレン製カップに、新たに半導体用EPDM製の材質でリリースをしました。 小さくて薄いワークをはがすための動作に好適で、高さ調整に適しています。 また、導電性シリコンのサクションカップは、静電気対策が必要なワークの取扱いに適...

メーカー・取り扱い企業： ピアブ・ジャパン株式会社

ハステロイ 半導体製造装置 真空部品【Oリング溝加工】

ニッケル系難削材の加工なら今橋製作所にお任せください！

本製品は半導体製造装置に使用される真空部品です。材質はハステロイC-22で、サイズは12×60×100です。 今回加工した製品は難削材であるハステロイを切削加工しました。本製品はOリング溝加工を施しており...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社今橋製作所

LEMO■半導体製造装置用コネクタ

「過酷な環境下の使用」にも耐えるLEMOコネクタ。その信頼と実績により…

酷な環境下での使用に十二分に耐え、 狭い場所での作業や短時間での作業などに特に有効に働いています。 またステッパーからロボット化した試験装置といった幅広いレンジの装置で 数多くのモデルが半導体製造装置で採用されています。 ■下記のような環境下でも使用出来るコネクタをお探しの際は是非お問合せ下さい。 ・高密度 ・小型同軸 ・非磁性 ・高電圧シールドコネクタ：最大50kV...

メーカー・取り扱い企業： 丸紅エレネクスト株式会社

ドライポンプ COBRA Semicon ファミリー

SEMICON Japan 2023に出展！ハーシュプロセスにおいて従…

　2023年12月13日（水）～15日（金） 会場：　東京ビッグサイト 東3ホール 小間番号 3736 【製品説明】 COBRA Semiconファミリーはスクリュー式ドライポンプです。半導体、ソーラーモジュール、フラットスクリーンの製造や、様々なコーティング用途など、要求が極めて厳しいプロセスで使用する際に特に優れた効率を発揮します。半導体業界の複雑な条件のアプリケーションに特適用可...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

真空・吸着パッド　UFシリーズ / VMECA

半導体搬送に最適！「UFシリーズ」は薄く傷つきやすい物の搬送にぴったり…

VMECAの真空パッド「UFシリーズ」は、フラットタイプで吸着痕防止の搬送用吸着パッドです。 ■ UFシリーズの特長 －半導体搬送に最適 －吸着面の溝＆薄いリップ部分で、 　薄く傷つきやすいワークの搬送に最適！ 【アプリケーション】 ・薄いフィルム ・ディスプレイ ・半導体 ・薄い金属シ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タツタ

半導体関連の装置部品加工を主とし、最大加工精度1μを保証します！

高精度三次元測定機を有し、1μの精度を保証いたします。受託検査も可能

利用した免震構造用い、振動影響を無くし1μｍを保証しています。 また、±０．５℃以内の恒温室に設置することで製品の温度管理を行い、熱膨張による測定のバラつきを最小限に抑えております。 大手半導体製造装置メーカー様と長年お取引きをさせていただく中で、工程検査～出荷検査に至るまで厳しい管理を行い、お客様にご満足いただける商品のご提供に努めています。 加工設備 横型MC：a８１ｎｘ【9...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三栄精機工業

感度特性バツグン！『真空制御用レギュレータ』

繰返し性に優れ、広領域の真空制御を実現！配管から外さずに保守も可能！

性に優れ、安定した制御を実現！ 複ダイアフラム式構造で、適正な面積と柔軟な素材により 感度特性は125Paと超高感度です。 分析装置サンプルガス導入系制御、搬送系制御や各種試験装置、 半導体製造装置及びタイヤ工場における加硫機制御など多用途で活躍しています。 使用方法は2種類で、 真空容器の外側に配管し、大気または正圧を真空側に送出する方法と、 真空容器と真空ポンプ間のバイ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンコントロールス 「Japan Controls Co. Ltd.」株式会社 東京本社

株式会社アドバンテック　事業紹介

確かな技術力と強固なグローバルネットワークを武器に世界へと挑みます。

株式会社アドバンテックは、国内５拠点、海外８拠点で事業を実施し、半導体及び液晶業界のお客様からご愛顧をいただいております。 半導体装置等で使用されるテスト用ウエアー販売事業や、使用済みのウエハー等を再資源化するリサイクル事業に取り組み、企業様からシリコン材料等の有...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アドバンテック 愛媛本社

低価格マスフローコントローラ　MC-10RC series

分析装置や各種成膜装置向けに開発した、低価格でありながら基本性能を備え…

気体用マスフローコントローラ　MC-10シリーズは、短納期対応により、半導体製造コストの改善に貢献しうる低価格なモデルです。 ソレノイドアクチュエータやラバーシールを採用することで低価格を実現しました。 【特長】 ○ラバーシール採用により低価格での提供を実現 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リンテック 東京営業所

磁気浮上型ターボ分子ポンプ　STP-451

全翼回転翼を搭載した超高真空対応。電子顕微鏡検査と半導体アプリケーショ…

「磁気浮上型ターボ分子ポンプ　STP-451」は、電子顕微鏡検査と半導体アプリケーション用です。 業界トップクラスの性能と最大限のプロセス柔軟性を実現！ 科学機器、半導体、磁気媒体業界の主要機器メーカーに採用され、 高い信頼性を認められています。 詳しくは、カ...

メーカー・取り扱い企業： 丸菱実業株式会社

サドルフィールドファーストアトム（FAB）ビームソース

電荷を持たない中性ビームを生成。 英国オックスフォードアルライドリ…

ビームを中性化することで、これまで電荷粒子が問題になっていた誘電体や半導体への照射やエッチングプロセスにも最適です。 ≪用途≫ ■成膜前の基盤クリーニング ■常温接合前のサンプルクリーニング、表面の活性化 ■半導体基板等のエッチング ■微細加工 ■リア...

メーカー・取り扱い企業： 三和真空株式会社

真空・吸着パッド　VOUシリーズ / VMECA

長細いワークや、半導体チップ、電子部品などの搬送に最適！

ドです。 ■ VOUシリーズの特長 －平面または曲面の長尺ワーク搬送 －小物ワークに高い吸着力 －導電性シリコンはPCBボード、電子部品の搬送に最適 【アプリケーション】 半導体チップ（PCBボード）、電子部品、パイプ、小型ガラス容器（ex. アンプル）　ほか ※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽お問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タツタ

真空・吸着パッド　VUシリーズ / VMECA

半導体チップや小型部品の搬送に最適な真空パッド！

Uシリーズの特長 －平板、またはなだらかな曲面のワークの移送 －少し窪んでいるワークの移送 －表面の滑らかな、または少し曲がっているワークの移送 【アプリケーション】 小型部品、半導体チップ、包装材、段ボール、板金　ほか ※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽お問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タツタ

技術資料ULVAC TECHNICAL JOURNAL No78

無料プレゼント中！真空に関する最新技術資料 No.78です。【アルバッ…

「ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.78」は、真空に関する最新技術資料です。 次世代半導体用ナノカーボン材料の開発動向をはじめ、大容量PCRAM 向け量産装置と プロセスの開発や、アルバックにおけるSiC パワーデバイスの量産技術開発進捗 などを掲載しています。 今なら最新技...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

株式会社AlphaPlus　取扱製品紹介

真空部品や真空システムの販売などを行っています。

【取扱製品】 ○装置システム スパッタリング蒸着機 →薄膜太陽電池、ディスプレー、半導体などの製造に使用 → 一般的薄膜蒸着装備として多くの金属や無機物薄膜製造に使用可能 ○装置システム ベーパライゼーション蒸着機 →薄膜太陽電池の製造に使用されるCIGS蒸着用装備 →LED...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社AlphaPlus

第17回"超"モノづくり部品大賞「機械・ロボット部品賞」を受賞！

17年連続受賞！半導体製造プロセス用に新しく開発したダイヤフラムバルブ…

・部材を対象に選出している」賞です。 2020年 第17回の"超"モノづくり部品大賞では、「高精度流量バルブ」が 「機械・ロボット部品賞」を受賞いたしました。 「高精度流量バルブ」は半導体製造プロセス用に当社が新しく開発した ダイヤフラムバルブで、設置面積の大幅カットを実現できます。 製品詳細は随時HPで公開いたします。 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社

ガス配管製作

ガス配管製作

自動溶接作業は、クラス１０，０００相当のクリーンルームにて行っております。 製品完成後は洗浄工程を通り、減圧脱気梱包を施したものを納品させて頂きます。 【他に・・・】 ◆半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の 　設計・製作を行っております。 ◆真空装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

液体ヘリウム連続フロークライオスタット

フォトルミネッセンス測定や光半導体の評価など光学的測定をサポートします…

当製品は、液体ヘリウムを連続フローさせサンプルを冷却する クライオスタットです。 フォトルミネッセンス測定や光半導体の評価など光学的測定をサポート。 光導入窓の大きさはφ5～φ50mmまで製作が可能です。オプションで 低温シールドシャッターを取り付けることが可能で、極低温時ヘリウムの 蒸発量を抑えるこ...

メーカー・取り扱い企業： 川口液化ケミカル株式会社 川口事業所

*質量分析計

•業界トップレベルの基本性能 •ワールドワイドサービス → 日本国内…

分析機器の開発・製造を行なっている企業です。同社は、50年以上も前に世界で初めてのターボポンプを開発いたしました。それ以降、技術革新を進めこの分野におけるリーダーカンパニーとして、世界各国における半導体、分析、コーティング、産業、R&Dなどの多種多様の分野において、お客様に最適な真空環境をご提供しています。...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

真空レギュレータ

超高感度な真空レギュレータ。大気圧近辺の低真空域も確実に制御

ー製品は複ダイアフラム式構造で、適正な面積と柔軟な素材により感度特性は31Pa～127Paと超高感度です。 ー当製品は分析装置サンプルガス導入系制御、搬送系制御や各種試験装置、半導体製造装置及びタイヤ工場における加硫機制御等様々な用例にご利用頂いております。 ー使用方法は二種ございます。一つは真空容器の外側に配管し、大気若しくは正圧を真空側に送出する方法、若しくは真空容器と...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンコントロールス 「Japan Controls Co. Ltd.」株式会社 東京本社

分子線エピタキシー（MBE）装置

コンパクトなサイズ（１インチ〜２インチ）対応のMBE装置です。

製蒸着セルの搭載も可能であり、ご指示頂きました蒸着セルをご選択可能な設計をしております。超高真空対応に、標準にて液体窒素用シュラウドを装着しております。基板加熱・回転機構を装備しております。窒化物半導体や酸化物半導体は、RFアトムソースを接続する事により、成長可能です。また、蒸着チャンバーを複数ドッキング可能な設計になっており、将来的な増設等のご希望にお応えしております。...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

広い分野で汎用された金属ベローズ

金属ベローズは各種の真空装置や半導体製造装置に応用された部材です。

Htc Vacuum)は提供できる金属ベローズの種類は溶接ベローズや成形ベローや、フレキシブルチューブの3種類あります。 これらの製品は伸縮性がよくて、各産業の装置配管に汎用されています。例え：半導体・真空装置によく配管の伸縮継手として汎用されます。ベローズの製品もいつも真空装置などの配管工程に使われています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 日揚科技股份有限公司

CKD 高真空用エアオペレイトバルブ AVB

【太陽電池、ＦＰＤ、半導体製造工程に】長寿命、高耐久性を実現。高い信頼…

【長寿命・高耐久】（パート７シリーズ） 独自構造により長寿命と使い勝手を向上したスタンダードモデル。 成形べローズの形状最適化により高い耐久性。 アルミボディ採用で軽量化。 実力値300万回の圧倒的な耐久性（当社規定条件にて）。 【設置・配管の自由度アップ】（パート7シリーズ） 4方向の任意の位置に操作ポートを選択可能。 4面すべてに動作位置検出用の超小形スイッチの搭載可能。 ...

メーカー・取り扱い企業： ＣＫＤ株式会社

成形ベローズ NW-KF『CEV-20000』

真空配管用成形ベローズです。NW（KF）フランジ付きです。

W100 ■製作全長（ L ）はご指示ください。 ■繰り返し耐久寿命が長い製品です。 ■呼び径NW-10も製作可能です。 ■呼び径NW-125以上も製作可能です。 【使用分野】 ■半導体、液晶、石油化学、建築、食品など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 中日技研工業株式会社

水蒸気吸引に強い！液封式（水封式）真空ポンプユニットUNIVAS

蒸気・コンタミ・固形物を含む気体の連続運転が可能！液封式真空ポンプ・タ…

　（一般工場の真空源、射出成形・発泡成形・押出し機、真空鋳造・フルモールド鋳造など） ◎特殊ガスの吸引 　（高温ガス、爆発性ガス、有毒ガス、煤煙、スクラバーなど） ◎真空チャッキング 　（半導体ウェーハ生成） ◎真空乾燥 　（機械部品・電子部品の乾燥、調味料・香辛料の乾燥） ◎蒸留・濃縮・脱気・脱泡 　（製薬・飲料・原油精製、チョコレート・化粧品・樹脂製造） ※詳しくは資料...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニクニ 本社、本社営業部、大阪営業所、名古屋営業所、福岡営業所

真空技術とFAの要素技術を融合！設計・製造からサポートまで対応

重ね合わせ装置やシール剤塗布装置と窒素置換容器、特型GBの設計・制作

半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の設計・製作を行っております。装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な体制となっております。排気セット等のユニット単位での設計製作も行っております。また、各種実験補助設備の設計や真空設計の応用に豊富な経験があり、仕様検討の段階よりお手伝いさせていただきます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

System 真空エジェクター -EJ-SYS-SMALL

【少ないエアー消費量で高効率】真空エジェクター / EJ-SYS EJ…

＜　代表的な用途　＞ • ロボットハンドを中心とした、ロボティクス • 射出成形などプラスチック成形 (モールディング) • 小型の対象物のハンドリング、電子部品および半導体産業...

メーカー・取り扱い企業： リンケージ株式会社 東京オフィス

メンテナンス・リサーチ株式会社　会社案内

真空装置のサポート・真空プロセス製品を広くご紹介しております。

え品等を用意し、信頼のあるパーツと技術サービスのご提供を通してお客様のデバイス生産活動に貢献いたします。 【事業内容】 ○海外真空プロセス設備の販売、各社中古真空プロセス装置販売 ○各社半導体用真空設備の修理 ○真空搬送ロボット修理 ○各社電源修理 ○半導体装置のパーツ設計販売 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： メンテナンス･リサーチ株式会社

クリスタルイオンゲージ『M-336MX』

高精度、低真空領域において優れた再現性！大気圧から超高真空まで広い圧力…

領域には長年の実績を誇るミニチュア B-Aゲージを採用したコンビネーションゲージです。 大気圧から超高真空まで、広い圧力領域をこの1台で測定が可能。 真空装置の粗引き・到達圧力測定、半導体・電子部品製造装置の 圧力測定などにお使いいただけます。 【特長】 ■クリスタルゲージとミニチュアB-Aゲージを組み合わせた 　コンビネーションゲージ ■超高真空から大気圧 ■...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空スイッチ　（端子台付防水型絶対圧基準高真空スイッチ）

精度の高い長寿命性を要求する真空制御の検出端として好適

を受けにくい構造になっています。 電気的開閉機構は鋭感なるスナップアクション機構により開閉の信頼性を確保し、シンプルな設計で累積誤差の少ない極めて動作感度の高い構造になっております。 半導体製造装置、化学分析装置、真空蒸着装置、メカニカルブ−スタ−等に数多く使用されています。 配線取りつけは、スイッチ内部に３P端子台がついており、被覆外形φ7〜φ11のキャップタイヤコ−ドで配線でき...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三和電機製作所

*真空計（アクティブライン）

•豊富なバリエーション → 用途にあわせて最適な機種を選択可能 •日…

分析機器の開発・製造を行なっている企業です。同社は、50年以上も前に世界で初めてのターボポンプを開発いたしました。それ以降、技術革新を進めこの分野におけるリーダーカンパニーとして、世界各国における半導体、分析、コーティング、産業、R&Dなどの多種多様の分野において、お客様に最適な真空環境をご提供しています。...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

ピラニゲージ（Niフィラメント）『M-351PG』

再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし！ハードプロセス装置に対応し…

ニゲージ『M-351PG』はNiフィラメントを採用し、耐蝕性を 向上させ、RIE、CVDなどのハードプロセス装置に対応したモデルです。 再現性がよく低価格で、取付方向の制約はなし。 半導体や電子デバイス製造装置、食品・医薬品製造装置など さまざまな装置にお使いいただけます。 【特長】 ■耐食性の向上（Niフィラメント採用など） ■再現性がよく低価格 ■5×10^-2P...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

極高真空用フッ素グリース『ロゲネストラムダZLVP』

極高真空下（10-8Pa以下 ）にてアウトガスが発生しにくいグリースで…

【用途】 極高真空下で使用されるベアリング、ポンプ、バルブ摺動部位など • 半導体製造装置 • 有機EL・ソーラーパネル製造装置 • クリーンルーム内の製造装置...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニッペコ 本社

*高真空ダイカストシステム「VACU2シリーズ」

マルチステージ 真空プロセスにより、ダイカスト(アルミニウム/マグネシ…

分析機器の開発・製造を行なっている企業です。同社は、50年以上も前に世界で初めてのターボポンプを開発いたしました。それ以降、技術革新を進めこの分野におけるリーダーカンパニーとして、世界各国における半導体、分析、コーティング、産業、R&Dなどの多種多様の分野において、お客様に最適な真空環境をご提供しています。...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）

熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…

プを封液循環式とし、循環式封液にアルカリ性溶液を使用し、塩素系ガスの排気と中和を両立。後段のガス処理装置の負荷を大きく削減。 特に表面処理用の熱ＣＶＤ装置の塩素系ガスの排気系に有効で工具や金型・半導体用治具の生産に多数使用中。 Ｓｉエピタキシャル成長時やエッチング時のの塩素系ガスの排気にも応用可能。 主ポンプのの水封式真空ポンプもALLステンレス製を採用し耐食性にも優れた専用真空排気システ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

キヤノンアネルバ株式会社　会社案内

社会の発展に貢献！超真空技術を用いた高付加価値製品を提供

【事業内容詳細】 ■真空成膜加工装置製造・販売 　・半導体製造装置 　・ストレージデバイス製造装置 　・電子部品製造装置 　・研究開発・小規模生産装置 ■真空コンポーネント製品製造・販売 　・真空ポンプ 　・真空計測機器・分析機器 　・真空...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

真空・吸着パッド　FFUシリーズ / VMECA

薄いフィルムやシートの搬送に最適！真空パッド「FFUシリーズ」は吸着痕…

■ FFUシリーズの特長 －薄いフィルムや傷つきやすいシートの搬送に最適 －吸着痕やダメージを受けたくないワーク搬送に最適 【アプリケーション】 薄いフィルム、ディスプレイ、半導体、薄い金属シート（ホイルシート）など ※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽お問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タツタ

真空装置　平行平板評価用プラズマ処理装置　　

半導体、液晶の微細パターニング、DNAチップ製造など微細異方性加工に広…

チャンバー手動開閉式研究開発用タイプから大気ゲート、搬送機構、カセットステーションを増設した全自動システムまで貴社のご要望に適したバージョンが選択できます。プロセス再現性を重視し電極温調用チラー、ＡＰＣを標準装備し、高真空プロセス対応のターボポンプを増設することができます。 【特長】 ○RIEプラズマエッチング装置 ○6インチまでのシリコンウエハ、小型角基板の異方性エッチングが可能 ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社電子技研

伸縮管継手の加工技術を活かした『溶接製品』

Φ1000mm超の大口径ベンド管、T字管を組合わせた実績も。伸縮管継手…

テクノフレックスの技術は、建設・水道・電力・ガス等のインフラ分野はもとより、 半導体・超電導・原子力・宇宙産業等のハイテク分野まで、様々な分野で社会に貢献しております。 フレキシブルメタルホース・伸縮管継手に限らず、幅広い製品でお客様のご要望にお応えいたします。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノフレックス

真空・吸着パッド　FFシリーズ / VMECA

真空パッド「FFシリーズ」は吸着痕がつきにくく、薄くて軽いワークに使用…

ッド「FFシリーズ」は、吸着痕防止でフラットタイプの搬送用吸着パッドです。 ■ FFシリーズの特長 －非常に薄くて軽いワーク用途 －吸着痕や破損を防止 【アプリケーション】 半導体、ディスプレイ、薄いフィルム など ※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽お問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タツタ

角型ゲート/インサート MONOVAT

200, 300, 450mm ウェーハ用半導体製造装置のロードロック…

-ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護 -PEEK材でできた差圧タブ -メンテナンスフリーのアクチュエータ -簡単なゲート交換 -低ショック -コンパクトなデザイン ...開口サイズ: 32 x 222mm to 100 x 500mm (1.26“ x 8.74“ to 3.94“ x 19.69“) アクチュエータ: 圧空作動式 複動シリンダー リミット...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

クライオポンプ

よりクリーンな真空、より高度な真空制御を、より広範な真空圧力領域

必要不可欠な「超高真空」 半導体製造プロセスに欠かすことのできない「超高真空」・あるいは新材料や素粒子に関する基礎研究でも「超高真空」は、重要な役割を担っています。よりクリーンな真空、より高度な真空制御を、より広範な真空圧力領域...

メーカー・取り扱い企業： ナガセテクノエンジニアリング株式会社 横浜センター

SMST真空コンポーネント部品　総合カタログ

真空コンポーネント部品総合カタログ。NW・ICFやJIS VG/VF規…

『SMST真空コンポーネント部品　総合カタログ』は、NW規格フランジ・ICF規格フランジ・JIS VG/VF規格フランジなどの真空部品を掲載したカタログです。 半導体製造装置・液晶製造装置・有機EL製造装置において欠くことのできない真空配管、ガス配管などの製品も掲載しております。 【掲載製品】 ○NW規格（NW Standard） ○ICF規格（IC...

メーカー・取り扱い企業： 湘南丸八エステック株式会社