もやもやを解決！エンコーダ付きステッピングモータの「使い分け」

PR【何となくで選んでいませんか？ 】エンコーダ付きステッピングモーターの…

一括りにされがちな”エンコーダ付きステッピングモータ”ですが、実は機能も種類も様々です。 本冊子ではエンコーダ付き2相ステッピングモータを「センシング化の歴史」 「メリット」「ラインアップと比較」の観点から、分かりやすくご紹介します。 初めてエンコーダ付きステッピングモータを使用する方にも、 何となく使用していたけど改めて知りたい方にも 活用のヒントになるお役立ち情報が詰まった一冊です。 【掲...

メーカー・取り扱い企業： ミネベアミツミ株式会社 回転機器

『熱硬化型焼結銅ペースト』半導体パッケージの高集積化に貢献

PR低抵抗・高放熱を実現する銅ペースト。200℃以上の加熱で焼結し、大気硬…

当社の『熱硬化型焼結銅ペースト』は、半導体パッケージに対し 低抵抗・高放熱といった優れた性能を付与できる樹脂含有型ペーストです。 さらに200℃以上の加熱で焼結するほか、大気硬化も可能です。 半導体パッケージの高集積化などへの対応に必要な特性を備えています。 【特徴】 ■銀ペーストと同等の電気的特性を保持しながら、イオンマイグレーションを低減 ■独自の特殊処方で硬化中の酸化を防ぎ、大気硬化によ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ADEKA

化合物半導体ウエハ用非接触搬送装置「ＳＡＧ（ＩｎＰ）型」

化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）を気体供給操作を行い、ウ…

◎特徴 １．４５０℃の高温ウエハの非接触搬送が可能である。 ２．化合物半導体ウエハ(GaAs,ＩｎＰ,ＧａＰ）の下記の切り欠きウエハの非接触搬送が可能である。 ・Φ2～４ｉｎ ウエハ ・Φ２～４ｉｎｘ1/4ウエハ ・Φ２～４ｉｎｘ1/2ウエハ ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

LEMO■半導体製造装置用コネクタ

「過酷な環境下の使用」にも耐えるLEMOコネクタ。その信頼と実績により…

酷な環境下での使用に十二分に耐え、 狭い場所での作業や短時間での作業などに特に有効に働いています。 またステッパーからロボット化した試験装置といった幅広いレンジの装置で 数多くのモデルが半導体製造装置で採用されています。 ■下記のような環境下でも使用出来るコネクタをお探しの際は是非お問合せ下さい。 ・高密度 ・小型同軸 ・非磁性 ・高電圧シールドコネクタ：最大50kV...

メーカー・取り扱い企業： 丸紅エレネクスト株式会社

化合物半導体用蒸着装置（ＡＡＭＦ－Ｃ１６５０ＳＰＢ型）

先端光デバイスに最適な専用蒸着装置。低温・低ダメージ成膜で平滑な膜表面…

従来型よりコンパクトなチャンバに大口径クライオポンプを採用、チャンバ各機構部に超高真空対応を採用し、クリーンな高真空環境を可能にしました。 蒸発源には水冷式反射電子トラップ付きの電子銃を使用しており、基板への電子の乳を防いだ低ダメージ成膜を実現しています。 実績豊富な６連式電子銃は高融点金属を含む多層膜電極形成に対応しています。また安定した蒸着が特徴でマイクロアークによる基板ダメージやドロップ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

半導体用トランスデューサー

半導体用トランスデューサー

コンパクトなデザイン 防爆指令対応（ATEX Zone2） 保護等級NEMA4（IP67）を備え、ケースサイドから出来る 優れたEMC対応品、優れた温度補正...コンパクトなデザイン 防爆指令対応（ATEX Zone2） 保護等級NEMA4（IP67）を備え、ケースサイドから出来る 優れたEMC対応品、優れた温度補正...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フロー・ジョイント

真空成膜装置・高真空装置

お客様のニーズに合わせた形でカスタマイズ可能な高性能真空装置

真空成膜装置とは、半導体の製造工程のうち薄膜成形のプロセスに用いられる装置で、手法によってPVD、CVD、PLD、MBEなど各種の成膜装置が存在しており、真空度の高さが半導体の品質を決める大きな要因となっています。西華デ...

メーカー・取り扱い企業： 西華デジタルイメージ株式会社

アークフィラメント式イオンプレーティング装置　

緻密な酸化膜厚膜（～１０μｍ）を高速形成。新開発イオン化機構搭載　Ｃ…

緻密で耐プラズマ性の高いイットリア膜やＳｉＣ膜を高速形成。 高密度プラズマによる反応性プロセスによりCVDより低温で溶射法より緻密な膜質を実現。 半導体関連部品にも応用可能なクリーンな成膜プロセスを実現。 PVD法のため装置のメンテナンスも容易で低コスト。 絶縁膜（酸化膜・炭化膜）を高速形成。緻密な厚膜を高速形成。従来型のイオンプレーティング...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

コンパクトレーザーMBE装置『PAC-LMBE』

扱いやすいデザインで各種成膜条件の制御が容易！6種類のターゲットが使用…

『PAC-LMBE』は、拡張性の高い超高真空レーザーMBE（PLD）システムです。 基板加熱ユニットとして、赤外線ランプ加熱と半導体レーザー加熱の いずれかを選択可能。6種類のターゲットが使用できます。 また、ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を 簡単交換いただけます。 【特長】 ■拡張性...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パスカル

モバイルコンビレーザーMBE装置『MC-LMBE』

スキャニングRHEEDを標準装備！モーター駆動コンビナトリアルマスクを…

『MC-LMBE』は、操作性の高いコンパクトな超高真空レーザーMBE（PLD） システムです。 1200℃まで加熱可能な半導体レーザー基板加熱ユニットを搭載。 モーター駆動コンビナトリアルマスクを2枚を装着しています。 また、ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を 簡単交換できます。 【...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パスカル

分子線エピタキシー（MBE）装置

コンパクトなサイズ（１インチ〜２インチ）対応のMBE装置です。

製蒸着セルの搭載も可能であり、ご指示頂きました蒸着セルをご選択可能な設計をしております。超高真空対応に、標準にて液体窒素用シュラウドを装着しております。基板加熱・回転機構を装備しております。窒化物半導体や酸化物半導体は、RFアトムソースを接続する事により、成長可能です。また、蒸着チャンバーを複数ドッキング可能な設計になっており、将来的な増設等のご希望にお応えしております。...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

広い分野で汎用された金属ベローズ

金属ベローズは各種の真空装置や半導体製造装置に応用された部材です。

Htc Vacuum)は提供できる金属ベローズの種類は溶接ベローズや成形ベローや、フレキシブルチューブの3種類あります。 これらの製品は伸縮性がよくて、各産業の装置配管に汎用されています。例え：半導体・真空装置によく配管の伸縮継手として汎用されます。ベローズの製品もいつも真空装置などの配管工程に使われています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 日揚科技股份有限公司

耐熱仕様：非接触搬送装置「フロートチャックSAH型」

高温ワークを非接触にて移載するベルヌーイチャック

本製品は使用環境温度、化学的仕様に応じた製品を製作しております。超高温域て使用する石英ガラスは、高純度で熱・酸に強く機械的強度が高い等、数多くの特質を持っています。 　半導体製造工程における洗浄槽、酸化拡散炉、エッチング装置、ＣＶＤ装置等におけるウエハの非接触にて搬送、ガラスモウルディングレンズの非接触搬送が可能になりました。 　その他、アルミニュウム、SUS、PE...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所

RIBER社 分子線エピタキシー（MBE）装置

パッシベーション用MBE装置は、レーザーファセットパッシベーション等の…

に設立された分子線エピタキシャル成長装置（MBE装置）およびコンポーネント（MBEセル・蒸着源）を製造・販売する世界シェアNo.1のサプライヤーです。これまで主にGaAsやInP、GaN等の化合物半導体材料の成膜用途として累計約800台の装置を世に送り出してきました。現在、世界の主要大学や公的研究機関、デバイスメーカー、エピファウンドリー各社がRIBER社のMBE装置を運用しており、データ通信、...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

RIBER　MBEセル（蒸着源）

MBEセル（蒸着源、分子線セル）はエピタキシャル膜の品質において重要で…

に設立された分子線エピタキシャル成長装置（MBE装置）およびコンポーネント（MBEセル・蒸着源）を製造・販売する世界シェアNo.1のサプライヤーです。これまで主にGaAsやInP、GaN等の化合物半導体材料の成膜用途として累計約800台の装置を世に送り出してきました。現在、世界の主要大学や公的研究機関、デバイスメーカー、エピファウンドリー各社がRIBER社のMBE装置を運用しており、データ通信、...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

真空蒸着装置　その他周辺部材

真空業界、半導体分野で必要とされる、あらゆる材料・部品、加工品を取り扱…

弊社は、真空業界、半導体分野で必要とされる、あらゆる材料・部品、加工品を取り扱い、中でも特殊金属の加工品、特殊品、消耗品には最も力を注いで取り組んでおります。 また、品質・価格・納期・情報などの面におきましても、常にユ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クラフト

研究開発用真空蒸着装置

目的・コストに合わせて柔軟に対応！大学・公的研究機関や基礎実験用に。

パクトな筐体に電子蒸発源を標準装備した前扉型 ・電子銃蒸発源により酸化膜や高融点金属の成膜に対応 ・本格的な薄膜デバイスの研究開発・試作が可能 ・複数タイプのイオンプレーティング機構も装備可能 ・半導体・電子デバイスから新素材・表面処理用途まで幅広い用途で実績豊富 ■全手動で抵抗加熱源を基本構成とした簡易実験型 ・基板の高温加熱機構や水冷機構、またはリフトオフプロセス対応など 　豊富なオプション...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

リフトオフプロセス対応真空蒸着装置

高周波・通信デバイスに多用されるリフトプロセスに対応した専用蒸着装置で…

『リフトオフプロセス対応真空蒸着装置』は、 化合物半導体やSAWデバイスなど光デバイスや高周波・通信デバイスに 多用されるリフトプロセスに対応した専用蒸着装置です。 蒸発源に電子銃と抵抗加熱電極を装備しており、高融電極膜や貴金属を含む 厚膜の...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

薄膜実験装置_「PRODUCTS GUIDE 2022」

半導体・電子デバイス・燃料電池・ディスプレイなどの研究開発用各種実験装…

研究開発分野向け、各種薄膜実験装置・コンポーネントを紹介します。 【nano Benchtopシリーズ】 ハイパフォーマンス！nano Benchtopシリーズ薄膜実験装置 コンパクトサイズに、高機能・ハイスペックな薄膜装置を収納 【MiniLabフレキシブル薄膜実験装置】 多彩な装置構成、必要なコンポーネントを要求仕様に合わせて組み合わせ構成する「フレキシブル実験装置」...◉...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

標準バッチバッチタイプ蒸着装置（ＡＭＦシリーズ）

電子デバイス用途のスタンダードシリーズ。Ｒ＆Ｄ用の多目的小型研究用から…

半導体・ＭＥＭＳ・各種電子部品（センサー、水晶振動子等）の研究開発から本格量産まで幅広く対応する標準型蒸着装置のラインナップ。 全機種クリーンルーム、クリーンバキューム対応で各種選択機構を装備。 実績豊富な標準仕様から個別要求に細やかに対応。 蒸発源・加熱温度・基板機構（プラネタードーム・公転ドーム）操作・ロギングソフト　全てカスタマイズＯＫ 社内デモ機でプロセステストも対応　幅広く柔軟なハード...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

『事例』　高温・ALDプロセスで使用可能なバルブ ※無料進呈中

『流路まるごと事例集』バルブ全体を最高200℃ の高温環境で使用できる…

バルブ全体をヒーティングしたい、ハンドルを付けたまま恒温槽に入れられるバルブ、ガス量の安定と再現があるバルブ欲しいなど、お困りごとはありませんか？ KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。気になる事例がありましたらイプロスまたは当社ホームページ経由でお問い合わせください。 ホームページ：https://www.kitz...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

小型・大流量PTFEガスフィルター「メガフロー」

最大1,000lpmまでの流量を確保

性能 ■0.003μm 以上の粒子を高い効率で除去致します。 ■優れた耐食性 フィルターメディアとサポート材は全てフッ素樹脂を採用し、ハウジングにはSUS316L材を使用しております。 ※半導体製造装置からＰＶ用バルクガス供給ライン等幅広い用途にご使用できます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

スパッタ・蒸着源複合型 薄膜装置 【nanoPVD-ST15A】

真空蒸着（金属・有機蒸着源）、スパッタリングカソードの混在設置が可能な…

可能です。 IntelliLinkソフトウエア付属：Windows PCとUSBケーブルで接続しリモート監視、オフラインレシピ作成・ダウン＆アップロード、ログ保存 新素材・新材料開発、及び半導体・電子部品・燃料電池・大陽電池などの先端基礎技術開発部門でのさまざまなアプリケーションに対応致します。...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

真空蒸着フィラメント、ボート

少量パックのオンライン販売で必要な分を必要なときに！

真空蒸着装置に使われるフィラメント、ボート。真空機構の部品オーダーメイド部品。液晶、半導体製造プロセスに使われる消耗部品、特注冶工具。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ビット･テック

真空装置設計・製作からサポートまで短納期でご対応

真空装置の設計・製作から保守作業までお任せを！

クス室関連装置 ・有機ＥＬ、ＦＰＤ、太陽電池、他設備の設計製作 【図面支給による製作】 ・部品加工、購入、組立、調整、検査、据付調整 ・量産装置向け組立、調整、検査、据付調整 【半導体プロセス応用製品】 ・実験用蒸着装置・有機ＥＬ蒸着基板用実験装置・スパッタ装置(実験設備/生産設備)・ＣＶＤ装置(実験設備/生産設備)・成膜装置(実験設備/生産設備) 【真空対応製品の設計...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモ・サイエンス

アルミハニカムパネル事例集【同じ剛性でアルミの1/5へ軽量化】

アルミの1/5の超軽量！剛性を保ちつつ大幅な軽量化を実現するアルミハニ…

アルミハニカムパネル専業メーカーとして31年以上の歴史を有するモリシンでは、これまで軽量、高強度、高精度、高信頼性が要求される航空・宇宙、軍事、半導体、太陽電池、液晶、ガラス、真空装置、印刷機、加工機、医療機器、鉄道、各種製造設備等の分野にアルミハニカムパネルを採用頂いております。 １品ものの試作品から量産品まで柔軟に対応できるモリシンの...

メーカー・取り扱い企業： モリシン工業株式会社 本社

アルミハニカムパネル 無料サンプル【活用事例集も進呈中！】

アルミハニカムパネルの無料サンプル&活用事例集を進呈中！同等の剛性でア…

アルミハニカムパネル専業メーカーとして31年以上の歴史を有するモリシンでは、これまで軽量、高強度、高精度、高信頼性が要求される航空・宇宙、軍事、半導体、太陽電池、液晶、ガラス、真空装置、印刷機、加工機、医療機器、鉄道、各種製造設備等の分野にアルミハニカムパネルを採用頂いております。 １品ものの試作品から量産品まで柔軟に対応できるモリシンの...

メーカー・取り扱い企業： モリシン工業株式会社 本社

Nd:YAGレーザパルス蒸着システム

Nd:YAGレーザパルス蒸着システム

高温超伝導・強誘電体・半導体・FPD等様々な分野に薄膜作製技術は応用されています。 PLD（Pulsed Laser Deposition)法はPVD（物理気相蒸着）法として他の手法では行えない材料、条件化で使用できる...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

テクノウェーブ株式会社　会社案内

"お客様の発展に貢献すること"を第一に真空技術で産業の底辺を支えます

テクノウェーブ株式会社は、真空関連装置・部品及び その他産業関連装置・部品の設計から組立検査を得意としております。 真空技術はデジタル家電業界、半導体・電子工学業界、医療など 幅広い産業等で応用されています。 その中で当社はお客様のニーズを的確に把握し、迅速で確実に ご要望に応えられる提案型企業でありたいと考えております。 【事...

メーカー・取り扱い企業： テクノウェーブ株式会社

高電圧リレー

高電圧リレー

キロバックの高電圧真空リレーは、その高真空技術により高電圧、大電流切替回路の超小型化を実現しました。 また、スイッチングの高速化、高電圧接点の真空封入による安全設計を特長として、半導体製造装置のDC/RFスイッチングにも最適な製品です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コムクラフト

製品多様な真空配管部品-フィッティングシリーズ

配管部品は各種の真空装置や半導体製造装置に応用された部材です。

日揚科技(Htc Vacuum)の「フィッティングシリーズ」 は製品多様に揃えています。真空フィッティングはエルボ、ティー、クロス、レジューサ、センターリング、金属のベローズを含めています。規格品を提供可能以外に客先のニーズを応じて特製品を提供できます。製品はいつも真空装置などの配管工程に使われています。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。 ...【特長】 ○製品多...

メーカー・取り扱い企業： 日揚科技股份有限公司

半導体製造装置向けバーツ

各種各様の素材・規格に対応可能でございます。

半導体製造装置向けバーツ お客様のご希望に合わせ、高品質の製品をご提供いたします。 各種各様の素材・規格に対応可能でございます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェイド 韓国全地域

【アルミ精密部品】プレート

半導体製造装置のアルミ精密部品　大阪　【コストダウンはフィリール株式会…

♦材質 A5052　(アルミ) ♦業界 半導体製造装置 ♦加工方法 マシニング加工 ♦表面処理 　－　(日本国内) ♦個数 200個 ♦説明 半導体製造装置のアルミ精密フライス部品となります。 弊社では、...

メーカー・取り扱い企業： フィリール株式会社 本社

【大阪　アルミ加工　旋盤　マシニング】

アルミ加工　アルマイト処理　大阪【コストダウンはフィリール株式会社にお…

♦材質 A5052　(アルミ) ♦業界 半導体製造装置 液晶製造装置 ♦加工方法 マシニング加工 旋盤加工 ♦表面処理 　－　(日本国内) ♦個数 500個 ♦説明 半導体製造装置のアルミ精密部品となります...

メーカー・取り扱い企業： フィリール株式会社 本社

エキシマレーザパルス蒸着システム

エキシマレーザパルス蒸着システム

高温超伝導・強誘電体・半導体・FPD等様々な分野に薄膜作製技術は応用されています。 PLD（Pulsed Laser Deposition)法はPVD（物理気相蒸着）法として他の手法では行えない材料、条件化で使用できる...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社