水素フリーDLC（ta-C）『TETRAスリック』

PR難加工材用の切削工具、半導体向けの極細切削工具などの高硬度化・長寿命化…

水素フリーDLC（ta-C）『TETRAスリック』は、 高硬度で優れた耐摩耗性を実現するコーティングです。 薄膜仕様のため、厳しい精度が求められる加工物に適しています。 高い密着性で長寿命化が実現できるほか、耐熱特性に優れているのも特長です。 【用途例】 ■アルミニウムやチタン等の難加工材用切削工具・極細ドリルなど ■精密金型（半導体封止モールド用金型・レンズ成形・曲げ型・樹脂...

メーカー・取り扱い企業： 日本コーティングセンター（ＪＣＣ）株式会社

3分で分かる！マンガ「安全で効率的な液体用のサンプル採取方法」

PRサンプル採取の作業時間を大幅に短縮可能！ 安全性と利便性に追求したデザ…

「1時間程度かかる作業をもっと短縮して効率良くサンプル採取したい」、「作業者や環境への影響を考慮しつつ確実なサンプル採取を行いたい」など、既存設備における手作業でのサンプル採取にお困りの方必見です！ スウェージロックの『流体サンプリング・システム』ならサンプル品質を維持しつつ、安全かつ効率的なサンプル採取を可能にします。 主に石油化学、ファインケミカル、半導体向け電子材料・薬液のサンプル採取におけ...

メーカー・取り扱い企業： スウェージロック・ジャパン

Druck 半導体アプリケーション用圧力センサ

半導体製造装置の流量制御に必要な高精度の圧力センサ各種。モジュールのカ…

【SEMICON JAPAN2021に出展いたしました】 多くのお客様にブースにお寄りいただきありがとうございました。 【半導体製造装置の流体制御に】 半導体製造工程においてはプロセスガスの高精度な流量制御が不可欠です。厳しい条件下で高いパフォーマンスを発揮する各種圧力センサ、カスタマイズできるモジュール機能などをご提供...

メーカー・取り扱い企業： 日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　 （旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社

半導体材料　高純度エッチングガス

半導体・ＦＰＤ・光通信の各分野の発展に貢献、業界トップシェア

１９８１年に高純度液化塩素の製造を開始して以来、高純度ガスのパイオニアとして半導体、ＦＰＤ、光通信の各分野の発展に貢献してまいりました。お客様との対話を通して培われた製品精製技術、分析技術、容器洗浄整備技術、クリーンな作業環境の維持等々、品質管理においては広く認められ、トップシ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ADEKA

Druck 半導体製造装置向け圧力計測ソリューション

半導体製造装置やサブシステムの圧力校正試験にPACEシリーズを導入しま…

力範囲に対応 ■PACE1000圧力インジケータ：最大３つの圧力を同時表示、最大5チャンネルのセンサが入力可能。シングルチャンネルの圧力計に比べて検査工程のコストを大幅に削減できます。 【半導体製造装置の流体制御に必要な圧力センサ】 詳しくはこの下のリンクをクリック！ ※イプロスにご登録されている個人情報は、弊社正規代理店にも共有させていただき、ご連絡させていただく場合がございま...

メーカー・取り扱い企業： 日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　 （旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社

Ion Beam Delayering装置/半導体物理解析

半導体故障解析 歩留まり解析 リバースエンジニアリング マイクロ…

半導体故障解析における材料層の層剥離や除去に対して、迅速な結果を提供する費用対効果の高いソリューションです。広い面積にわたって、優れた均一性と最小限のダメージを実現します。複数のイオンビームエッチング技術を使用することにより、単一層の異なる材料のエッチングレートを一致させることができ、化学組成に関係なく層全体を均一に除去することが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

光化合物半導体　プラズマ加工装置

長年の経験と蓄積された加工ノウハウ！化合物半導体加工向けに1300台以…

「プラズマ加工装置」は、光化合物半導体のプラズマ・エッチング・ 成膜装置です。 研究・開発から量産とシーンに適したシステムの提供が可能。 また、光電子デバイス製造に必要な幅広い材料を扱うように設計されています。 ご用命...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

Druck 半導体製品の圧力校正試験の自動化に

半導体製造装置やMEMS圧力センサの計測試験/ライン検査に圧力コントロ…

■圧力コントローラPACE 5000 /6000 〇高精度〇高速応答〇長期安定性を兼ね備えた使いやすいタッチパネル方式。ダイナミック・レンジに対応。計測試験プログラムも簡単に設定できます。半導体のサブシステム、MEMSメーカー様でPACEを導入後、大幅に生産効率がUPされた実績多。 〇ゲージ圧力レンジ：2.5kPa～21MPa（負圧校正標準） 〇通信：RS232、USB、IEEE...

メーカー・取り扱い企業： 日本ベーカーヒューズ株式会社＆ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社　 （旧）GEセンシング＆インスペクション・テクノロジーズ株式会社　＆　GEエナジー・ジャパン株式会社

【特殊形状】半導体関連部品／SKD11を使用した特殊形状加工品

最短半日見積り／特殊形状、複雑形状にも対応！半導体、電子機器、工作機械…

半導体メーカー様よりご依頼頂き、SKD11（工具鋼材）の加工品の製作を承りました。 個数は、1個のみです。 開発・試作部品の単品加工にお応えいたします。 複雑形状 + 超小ロット、特殊形状のご要望は多く実績も数多くございます。 その他、複雑形状品の加工実績をご覧になる場合は、下部より「加工実績カタログ」をご覧いただくか 公式HPにも詳しく情報を掲載しています。 アルミ・ステンレス部品を単品加工で対...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社　営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)

【国産】真空プラズマ装置(49万)大気圧プラズマ装置(34万)

表面改質・洗浄に優れた低温電荷ダメージ無し！真空・大気圧プラズマを安価…

プラズマ装置国産メーカー『魁半導体』 昨年の『関西フロントナー大賞』『京都中小企業優秀技術賞』を受賞。 社内の技術者が様々なニーズに対応いたします。 本製品は微細な加工やラボ用途に最適な仕様で提供させて頂いております。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

プラズマエッチャー【RIE.S-200A】レンタル始めました～♪

有機・無機問わず高いエッチング効果！ １週間～レンタル始めました～♪…

Siやカーボン膜の受託エッチング！ その他、半導体集積回路など微細回路を作製など様々な用途に お使い頂けます♪ 一週間～レンタル可能で研究開発をスピーディーにサポート致します！ 初回条件出しやデモ処理は無償対応。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

プラズマエッチャー【CPE.S-200A】

有機・無機問わず高いエッチング効果！

Siやカーボン膜のエッチング！ その他、半導体集積回路など微細回路を作製など様々な用途に お使い頂けます♪...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

【半導体関連】装置の安全カバーフレームの製造

最短半日見積り／半導体製造関連／実装機械 等、装置の部分的な製作、装置…

◎お客様 装置メーカー・FA用機器 様 ◎ご依頼内容 自動化装置の安全カバーフレーム部分の製造 半導体製造装置メーカー様用 ◎主な仕様 [数量]　装置カバーA　1台　／装置カバーB　1台 [寸法(mm)／Ｗ×Ｄ×T] 装置カバーA ： 2240mm　×　1750mm　×　1935mm 装置カバ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社　営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)

半導体関連装置 「ウェット式エッチング装置」

ドラフト構造でクリーンルーム仕様！エッチング処理やレジスト除去する装置

「ウェット式エッチング装置」は、半導体関連で使用される各ウェハーをバスケットに入れ、X-Y-Zロボットにて、エッチング処理やレジスト除去の作業を行います。 発生ガス、及び空気は、薬品系、有機溶剤系に出来るだけ分けた状況での排気が可能...

メーカー・取り扱い企業： オーエヌ総合電機株式会社

半導体エッチング装置の世界市場レポート2024-2030

『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバル半導体エッチング装置のトップ会社の市場シェアおよびランキング 2024」を2月26日に発行しました。本レポートでは、半導体エッチング装置市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する情報を提...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

化合物半導体プロセス用　ICPエッチング装置

化合物半導体プロセス用　ICPエッチング装置

RIE-330iPCは、放電形式に誘導結合方式（Inductively Coupled Plasma）を 採用した化合物半導体プロセス用多数枚処理エッチング装置 【特徴】 ○Φ330mmの大型トレーに対応 　Φ2インチウェハーなら27枚、Φ2.5インチウェハーなら17枚、 　Φ3 インチウェハーなら12枚、Φ...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

ドライエッチングの受託加工

Siやカーボン膜の受託エッチングサービス

プラズマ装置国産メーカー『魁半導体』 昨年の『関西フロントナー大賞』『京都中小企業優秀技術賞』を受賞。 社内の技術者が様々なニーズに対応いたします。 本製品は微細な加工やラボ用途に最適な仕様で提供させて頂いております。 デ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

半導体製造装置用部品に特化！　海外製セラミックのご紹介

静電チャック、ピンチャック等の調達にお困り事があった方は必見！ 海外…

当社の海外サプライヤーでの生産により、お客様の部品調達のご不安を解致します！ 高精度/高品質の半導体製造装置用のセラミック部品を材料込みでご提案致します。 ☆8インチ、12インチサイズ対応可能です。 ☆国内装置メーカー様への納入実績は豊富に御座います。...

メーカー・取り扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部　機能材料課

ICPメタルエッチング装置

Al系やCrなどの金属膜の微細パターンのエッチングに対応！デモ機常設！…

『ICPメタルエッチング装置』は、先端薄膜プロセスに対応した 金属膜対応の高密度プラズマエッチング装置です。 半導体、MEMSなどの汎用デバイスだけでなく露光用マスクや金属基板の 表面処理などの特殊プロセスにも積極対応いたします。 独自のチャンバ内構造により抵パーティクルのメタルエッチング (nmレベ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

アルミナ溶射材『SURPREX AW・AHP』

耐摩耗性、化学的安定性、絶縁性など優れた皮膜特性が得られるアルミナ溶射…

溶融-粉砕法で作製されたアルミナ溶射材料です。 耐摩耗、絶縁部品に使用されるホワイトアルミナ(AW)と、半導体、FPD製造装置などに使用される高純度アルミナ(AHP)を用意しております。 高純度アルミナ粉末の溶射では黒点の発生が従来問題となっていましたが、フジミでは溶射材中の異物に注目して黒点要因と...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジミインコーポレーテッド

【エージング時間が大幅短縮！】耐プラズマ耐食性YOF保護膜

時代はY2O3からYOFへ！エッチング装置のエージング時間を大幅短縮、…

F膜（酸フッ化イットリウム膜）は、ドライエッチング装置部品の保護膜としてパーティクル低減、装置稼働時間を大幅にアップさせるだけでなく、これまで要したエージング時間を大幅に短縮させることができます。半導体不足が問題となっている昨今、歩留まり向上と装置稼働時間のアップは半導体製造業者にとって至上命題といえます。最先端の製造ラインに導入された、イオンアシスト蒸着法による保護膜は、ドライエッチング装置部...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

各種熱処理装置

半導体や太陽電池の生産・研究開発設備！独自の高温処理技術による高温熱処…

大村技研では、独自の高温処理技術による高温熱処理炉を生産設備および 研究開発向けに提供します。 主要製作装置としては、拡散炉、エピタキシャル装置、CVD装置、 エッチング装置、半導体製造設置用コントローラーなどがあります。 また、小口径基板に適した縦型電気炉や、太陽電池製造用横型拡散炉、 横型CVD装置・LC6400シリーズなどもラインアップされています。 【特...

メーカー・取り扱い企業： 大村技研株式会社

半導体産業工程用フィルタ　有機溶剤用金属不純物除去フィルタ

一般的なイオン交換型金属除去膜から半導体アプリケーションに特化した金属…

Iongard SL purifier 　イオン交換型有機溶剤向け金属除去 Nylonpolar Purifier 　Cobetterオリジナルの金属除去膜。表面修飾型ナイロン基膜を使用。酸を発生させないため、Lithography用材料に最適 Iongard Polar Purifier 　極性有機溶剤に有効な金属除去 Cemdeion Purifier 　表面修飾型テフロン基膜。...

メーカー・取り扱い企業： 日本コベッタ株式会社

スリットバルブシール

スリットバルブシール

●半導体、液晶をはじめ多岐の業界で使用されている真空機器のシール材に対し、総合シールメーカーとして長年にわたり培った経験、豊富な材料、独自の最適形状設計を組み合わせ、様々な御要求にお応えし、ソリューション...

メーカー・取り扱い企業： 三菱電線工業株式会社

【高耐食性Y2O3/YOF膜事例】エッチング装置部品の保護膜に

溶射やエアロゾルデポジションによる保護膜より遥かに耐食性・耐プラズマ性…

エッチング装置内部材の保護膜に、イオンアシスト蒸着法による耐プラズマ性の高耐食性Y2O3膜（酸化イットリウム膜）, YOF膜（酸フッ化イットリウム膜）を使用した事例をご紹介します。 半導体の微細化は急速に進んでいます。半導体製造競争は歩留まりと装置の稼働時間が大きなカギを握っています。エッチング装置部品の保護膜は、溶射やエアロゾルデポジションによる酸化イットリウム膜が使われていまし...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

大型プラズマエッチング装置

ウェハやガラス・大型基板のエッチング・アッシングに実績豊富なバッチタイ…

「従来機種ＥＸＡＭ」同様にウェハ・ガラス・セラミック基板のエッチングを行なうと共に大型実装基板・カット済みのフィルム基板のエッチング・クリーニング・表面処理にも実績豊富。 電子デバイスだけでな半導体製造装置部品や材料などくクリーンネスと繊細な表面処理が求められる大型製品の処理にも最適な新型ドライプロセスツール...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

高純度イットリア溶射材

耐プラズマエロ―ジョン性に優れた溶射皮膜が得られる高純度イットリア粉末…

造粒焼結粉法で作製された純度99.99%以上の高純度イットリア溶射材料です。 イットリア溶射材は主に半導体、FPD製造装置に使用されるため高い純度が要求されます。 これに応えるためフジミでは厳密な品質管理のもと高純度イットリア溶射材を製造しています。 イットリア粉末を用いた溶射皮膜（コーティン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジミインコーポレーテッド

真空センサ『730シリーズ』

コンパクトサイズでローコスト。半導体製造ラインなどで活躍。静電容量型

セトラシステムズ社の真空センサです。静電容量の変化を検知して、 リニアな直流電圧信号に変換し出力します。 温度補償範囲が広く耐圧性能に優れるため、様々な用途に使用でき、 太陽光パネル、半導体、石油化学など幅広い分野のプロセス制御で 重要な真空圧力範囲の測定に活躍します。 【特長】 ■極めて低いノイズ影響 ■接ガス部にインコネルを採用 ■CEマーク対応／RoHS準拠 ■...

メーカー・取り扱い企業： エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

半導体製造装置（中古装置）の売買

中古装置活用で大幅なコストダウンができるだけでなく、導入後のアフターサ…

半導体製造装置の中古装置を売買しております。特にコーターデベロッパー、ＣＶＤ装置、エッチャー等は在庫もしております。中古装置は現状有姿渡しから改造、立ち上げ業務迄の一貫したソリューション等、ご要求内容に応じたご提案が可能です。国内でも多数の実績がございますのでお気軽にお問合せ願います。...

メーカー・取り扱い企業： エヴァンリード株式会社

多目的処理装置（スピンプロセッサー）

洗浄、現像、エッチング等カスタマイズ可能な、低価格多目的処理装置

ション：高圧ジェットノズル、薬液用ノズル、 　　　　　　及びフィルター各種対応ボディ、薬液循環、等 ■その他■卓上スピンコーター、露光装置、剥離装置、真空装置、測定装置 　　　　　など半導体関連装置を取り扱っています。 　　　　　◆◇詳細はカタログダウンロードから◇◆...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トービ

ICP エッチング装置

ヨーロッパ 発の技術から生まれた汎用性の高い装置！

8"工程用Pishowシリーズ： ・Pishow： シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に対応可能； 幅広く温度の工程に対応可能； エッチングの速度と均一性を精密制御； BOSOH工程に対応可能 ・Pishow A： HEMT工程のソリューションを提供、...

メーカー・取り扱い企業： 日星産業株式会社

実験用ドライエッチング、成膜装置

ヨーロッパ発の技術から生まれた汎用性の高い装置！実験～量産に幅広く対応…

は汎用性の高いエッチング装置や、低温低圧条件でも緻密に成膜できる堆積式の成膜装置を取り揃えております。 【ドライエッチング機種（一例）】 Pishowシリーズ： ■シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に対応可能 ■幅広い温度の工程に対応可能 ■エッチングの速度と均一性を精密制御 ■BOSOH工程に対応可能 【成膜機種（一例）】 Shale Cシリーズ： ■ICP...

メーカー・取り扱い企業： 日星産業株式会社

導電性フッ素樹脂コーティング『KPEシリーズ』

フッ素樹脂に導電性を付与したコーティングです。帯電を防止し、静電気によ…

ますが、フッ素樹脂に『導電性』をプラスした『導電性フッ素樹脂コーティングKPEシリーズ』は 従来のフッ素樹脂と同様に非粘着性や耐薬品性が向上するほか、防爆仕様や帯電防止の機能がプラスされるため、半導体関係やプラントなどで幅広く採用されております。 当社の導電性コーティング「KPEシリーズ」のラインナップは複数種類ありますので、ご使用の用途に合わせて最適な商品をご提案させていただきます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 関西ポリマー株式会社

静電気によるトラブル防止！導電性フッ素樹脂コーティング

フッ素樹脂に導電性を付与したコーティングです。帯電を防止し、静電気によ…

ますが、フッ素樹脂に『導電性』をプラスした『導電性フッ素樹脂コーティングKPEシリーズ』は 従来のフッ素樹脂と同様に非粘着性や耐薬品性が向上するほか、防爆仕様や帯電防止の機能がプラスされるため、半導体関係やプラントなどで幅広く採用されております。 当社の導電性コーティング「KPEシリーズ」のラインナップは複数種類ありますので、ご使用の用途に合わせて最適な商品をご提案させていただきます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 関西ポリマー株式会社

「導電性フッ素樹脂コーティング」帯電防止・防爆仕様の環境に最適！

使用温度が高く、非粘着性や耐薬品性が必要な部材に『導電性フッ素樹脂コー…

ますが、フッ素樹脂に『導電性』をプラスした『導電性フッ素樹脂コーティングKPEシリーズ』は 従来のフッ素樹脂と同様に非粘着性や耐薬品性が向上するほか、防爆仕様や帯電防止の機能がプラスされるため、半導体関係やプラントなどで幅広く採用されております。 当社の導電性コーティング「KPEシリーズ」のラインナップは複数種類ありますので、ご使用の用途に合わせて最適な商品をご提案させていただきます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 関西ポリマー株式会社

Ｃｕエッチング対応高密度プラズマエッチング装置

新プラズマ源ＨＣＤ（ホローカソード放電）電極搭載、各種メタルやＣｕ薄膜…

新開発HCD型ヘッドはスケールアップが容易で矩形基板や大型基板の高精度エッチングが可能。 ３００ｍｍウェハや積層基板、最大１ｍ□までの基板のメタルエッチングに対応。 近年ニーズが高まっている半導体周辺部材（フォトマスク、高密度実装基板）をカバーする従来のプラズマエッチングにとらわれない新型エッチング装置...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

枚葉式プラズマアッシング装置（ＳＷＰシリーズ）

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物…

チャージアップダメージを排除したダウンフロープラズマによるダメージレスアッシングを実現。表面波プラズマ（ＳＷＰ）によるハイレートアッシングと２室装備されたアッシング室によりハイスループットを実現。 アッシングだけでなくＲＩＥ室の装備により特殊レジスト・有機膜野除去にもまたイオン注入後の硬化レジスト除去に対応。表面部の硬化レジストの除去とレジスト下層のダメージレスアッシングの両立を実現。 コンパ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

枚葉式プラズマエッチング装置「ＥＸＡＭ－Σ」

ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや…

ッチング装置。マルチモードプラズマとステッププロセスで幅広いプロセスに対応 自然酸化膜除去から厚膜レジストアッシング・クリーニング・ディスカムまで。 ディスクリートＩＣ、パワーデバイス、化合物半導体・ＭＥＭＳなど多くのデバイスの量産現場で多様なプロセスで活躍中...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

小型・大流量PTFEガスフィルター「メガフロー」

最大1,000lpmまでの流量を確保

性能 ■0.003μm 以上の粒子を高い効率で除去致します。 ■優れた耐食性 フィルターメディアとサポート材は全てフッ素樹脂を採用し、ハウジングにはSUS316L材を使用しております。 ※半導体製造装置からＰＶ用バルクガス供給ライン等幅広い用途にご使用できます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ピー・ジェイ

PEEKプラばね（ポリエーテルエーテルケトン）

耐薬品・耐熱・絶縁・非磁・耐酸・耐アルカリ・耐油・耐溶剤・断熱・リサイ…

医学系装置や半導体製造装置・FPD製造装置・メッキ装置などに使用されるPEEK樹脂を使用したプラスチックばねです。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プラばね

プラズマ装置 プラズマクリーナー プラズマ洗浄装置カタログ

ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体デバイスの生産性を大幅に向…

当カタログは、ヤマトマテリアルが取り扱うプラズマ装置を掲載したカタログです。 デモ機や、プラズマ装置のラインアップの他、「RIE プラズマ処理のしくみ」や、 「DP プラズマ処置のしくみ」などもご紹介しています。 当社では、プラズマドライクリーナー、エッチャー（エッチング）、アッシャー（アッシング）の処理目的に合った プラズマ装置を、標準品以外にもカスタムメイドで対応。 企...

メーカー・取り扱い企業： ヤマトマテリアル株式会社

ＲＦフィルタ

高性能でコンパクトなＲＦフィルタ(高周波フィルタ)です。複数チャンネル…

に合わせたカスタム製品での提案が基本となっておりますので、ハイパス、ローパス、バンドリジェクションなど、いろいろな高周波フィルタを、装置開発の段階より仕様に合わせた提案が可能です。 米国内の大手半導体製造メーカーへの採用実績が多くあり、必ずご期待に応えることができます。 ・1MHz～50MHzの周波数範囲内で設計可能でコンパクトな、高インピーダンスのフィルター ・大電流・高電圧アプリケーシ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社グローブ・テック

焼付固着を防止できるボルト『SDCクリーンボルト』【潤滑剤不要】

潤滑剤・めっきを使わず焼付・カジリを防止！クリーン環境に最適な六角ボル…

着を起こしにくい六角ボルトです。食品工場など、潤滑剤やめっき・コーティングなどの焼付き防止対策が使用できない現場での利用に最適です。 【こんな現場での利用がオススメ！】 ◎不純物を極力嫌う半導体製造装置やクリーンルーム内 ◎食品・飲料関係 ◎医薬品・化粧品関係の製造装置や配管部 【特長】 ◆潤滑剤やめっきなどを使用せずに焼付き固着を防止 ◆アウトガスも発生しない 【詳...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＳＤＣ田中

卓上プラズマエッチング装置『TP-50B』

独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能な卓上プラズマエッチング装置

『TP-50B』は、電波法による設置許可申請も不要の50Ｗ型で、操作も簡単、 気軽にプラズマ加工が行える卓上プラズマエッチング装置です。 独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能で、半導体故障解析用試料の 前処理（配線の露出）から、各種プラズマ加工に幅広く対応致します。 また小型のため、スペースの限られた研究室で活躍します。 【特長】 ■卓上サイズでコンパクト ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三友製作所 テクノセンタ

[チラー]モジュール式チラー　M-Pakシリーズ

-70℃～+200℃まで幅広い温度管理を実現可能なチラ―！

ENシリーズ」のご案内です。 ■最大4種類のモジュールの組み合わせが可能（-70℃～+200℃） ■各種循環液に対応可能 ■各種インターフェースに対応 ATSジャパン(株）のチラーは半導体業界を中心に導入実績があります。これまでの数千台の導入実績に基づき、食品業界、医療業界、または理化学業界など他業種でのご利用につきましても、ご要望に応じたカスタマイズが可能です。ご利用環境、用途に...

メーカー・取り扱い企業： ATSジャパン株式会社

高電力RF同軸フレキシブルケーブルアセンブリ

高電力（20KW@60MHz）タイプのフレキシブルケーブルアセンブリ

ブルの開発製造に加え、ケーブル加工までの一貫生産をしております。そのため、総合品質・納期・価格対応に自信を持っており、お客様の開発段階～量産までご安心してご対応可能です。 EP-610Sは、半導体製造装置、高周波電源、プラズマ電源など高電力RF同軸接続を必要とするアプリケーションに最適なフレキシブルケーブルです。 現在、対応しているコネクタは、EIA 1-5/8、EIA 7/8ですが...

メーカー・取り扱い企業： アノイスンジャパン株式会社

【エッチング装置/アッシング装置部品の保護膜に】Y5O4 F7膜

Y5O4 F7膜は表面フッ素量変化が小さいのでエッチング装置のエージン…

半導体製造工程の一つであるドライエッチングプロセスにおいてウェハ処理を行うと、プロセスガス自体からの生成物やエッチング時の副生成物がチャンバ内壁やチャンバ内のパーツ表面に付着するといった現象が発生すします。これら堆積物の付着によってプロセスの初期と処理後のチャンバ内表面状態が変化することにより、プロセス条件の変動が発生します。このようなプロセス条件の変動を緩和するため、従来技術では製品処理前に類似ウェハ...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー