3分で分かる！マンガ「安全で効率的な液体用のサンプル採取方法」

PRサンプル採取の作業時間を大幅に短縮可能！ 安全性と利便性に追求したデザ…

「1時間程度かかる作業をもっと短縮して効率良くサンプル採取したい」、「作業者や環境への影響を考慮しつつ確実なサンプル採取を行いたい」など、既存設備における手作業でのサンプル採取にお困りの方必見です！ スウェージロックの『流体サンプリング・システム』ならサンプル品質を維持しつつ、安全かつ効率的なサンプル採取を可能にします。 主に石油化学、ファインケミカル、半導体向け電子材料・薬液のサンプル採取におけ...

メーカー・取り扱い企業： スウェージロック・ジャパン

もやもやを解決！エンコーダ付きステッピングモータの「使い分け」

PR【何となくで選んでいませんか？ 】エンコーダ付きステッピングモーターの…

一括りにされがちな”エンコーダ付きステッピングモータ”ですが、実は機能も種類も様々です。 本冊子ではエンコーダ付き2相ステッピングモータを「センシング化の歴史」 「メリット」「ラインアップと比較」の観点から、分かりやすくご紹介します。 初めてエンコーダ付きステッピングモータを使用する方にも、 何となく使用していたけど改めて知りたい方にも 活用のヒントになるお役立ち情報が詰まった一冊です。 【掲...

メーカー・取り扱い企業： ミネベアミツミ株式会社 回転機器

半導体向けドライポンプとオンサイトサービス

SEMICON Japan 2023でサブファブ向け最新ソリューション…

日本ブッシュは「Your Complete Sub Fab Partner（あなたのサブファブ・パートナー）」をテーマに SEMICON Japan 2023に出展し、半導体製造プロセスにおける安定性、安全性、効率性を支援するソリューションをご紹介します。 【みどころ-1】 ハーシュプロセスにおいて従来比２倍の耐久性を誇るドライポンプや、当社特許取得済みのガス...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

半導体用真空ポンプの世界市場シェア2023

『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバル半導体用真空ポンプのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」を10月20日に発行しました。本レポートでは、半導体用真空ポンプ市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する情報を提供...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

ドライポンプ COBRA Semicon ファミリー

SEMICON Japan 2023に出展！ハーシュプロセスにおいて従…

　2023年12月13日（水）～15日（金） 会場：　東京ビッグサイト 東3ホール 小間番号 3736 【製品説明】 COBRA Semiconファミリーはスクリュー式ドライポンプです。半導体、ソーラーモジュール、フラットスクリーンの製造や、様々なコーティング用途など、要求が極めて厳しいプロセスで使用する際に特に優れた効率を発揮します。半導体業界の複雑な条件のアプリケーションに特適用可...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

磁気浮上型ターボ分子ポンプ　STP-451

全翼回転翼を搭載した超高真空対応。電子顕微鏡検査と半導体アプリケーショ…

「磁気浮上型ターボ分子ポンプ　STP-451」は、電子顕微鏡検査と半導体アプリケーション用です。 業界トップクラスの性能と最大限のプロセス柔軟性を実現！ 科学機器、半導体、磁気媒体業界の主要機器メーカーに採用され、 高い信頼性を認められています。 詳しくは、カ...

メーカー・取り扱い企業： 丸菱実業株式会社

株式会社AlphaPlus　取扱製品紹介

真空部品や真空システムの販売などを行っています。

【取扱製品】 ○装置システム スパッタリング蒸着機 →薄膜太陽電池、ディスプレー、半導体などの製造に使用 → 一般的薄膜蒸着装備として多くの金属や無機物薄膜製造に使用可能 ○装置システム ベーパライゼーション蒸着機 →薄膜太陽電池の製造に使用されるCIGS蒸着用装備 →LED...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社AlphaPlus

*ドライポンプACG600G

業界トップクラスの基本性能

分析機器の開発・製造を行なっている企業です。同社は、50年以上も前に世界で初めてのターボポンプを開発いたしました。それ以降、技術革新を進めこの分野におけるリーダーカンパニーとして、世界各国における半導体、分析、コーティング、産業、R&Dなどの多種多様の分野において、お客様に最適な真空環境をご提供しています。...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

*ロータリーポンプHenaシリーズ／1 段式ステージ

業界トップクラスの基本性能

分析機器の開発・製造を行なっている企業です。同社は、50年以上も前に世界で初めてのターボポンプを開発いたしました。それ以降、技術革新を進めこの分野におけるリーダーカンパニーとして、世界各国における半導体、分析、コーティング、産業、R&Dなどの多種多様の分野において、お客様に最適な真空環境をご提供しています。...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

真空ポンプ用高性能オイル浄化装置『サン・オイルクリーナー』

特許技術であるマルチエレメントにより、真空ポンプ中の水・酸・汚染物を同…

大成技研の『サン・オイルクリーナー』は、半導体製造装置をはじめとする各種真空機器で、メーカー指定オプションにも選ばれている実績ある製品です。 特許取得済のマルチエレメントをベースにしており、油回転真空ポンプ用オイルに混入する酸を中和、ゴ...

メーカー・取り扱い企業： 高津伝動精機株式会社

*ドライポンプACPシリーズ

業界トップクラスの基本性能

分析機器の開発・製造を行なっている企業です。同社は、50年以上も前に世界で初めてのターボポンプを開発いたしました。それ以降、技術革新を進めこの分野におけるリーダーカンパニーとして、世界各国における半導体、分析、コーティング、産業、R&Dなどの多種多様の分野において、お客様に最適な真空環境をご提供しています。...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

*ターボ分子ポンプHiPaceシリーズ

圧縮比、到達真空度、ガス流量など、業界トップクラスの基本性能

分析機器の開発・製造を行なっている企業です。同社は、50年以上も前に世界で初めてのターボポンプを開発いたしました。それ以降、技術革新を進めこの分野におけるリーダーカンパニーとして、世界各国における半導体、分析、コーティング、産業、R&Dなどの多種多様の分野において、お客様に最適な真空環境をご提供しています。...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

*ドライポンプMVPシリーズ

業界トップクラスの基本性能

分析機器の開発・製造を行なっている企業です。同社は、50年以上も前に世界で初めてのターボポンプを開発いたしました。それ以降、技術革新を進めこの分野におけるリーダーカンパニーとして、世界各国における半導体、分析、コーティング、産業、R&Dなどの多種多様の分野において、お客様に最適な真空環境をご提供しています。...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

真空ポンプ対応ユニットVNPタイプ

小型・軽量ボディーで取り付スペースに制約のあるお客様に最適

チップマウンタ、ハンドラーなどの半導体関連装置に最適です。主弁に直動弁を採用し高速、且つ安定した応答性を実現しました。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本ピスコ

ドライスクリュー真空ポンプ COBRA DS シリーズ

半導体業界に最適。ドライスクリューポンプのご紹介

スクリューロータ式の為、排気パスが短いドライスクリュー式真空ポンプです。 ブッシュのドライポンプは重負荷から軽負荷プロセスまで幅広く対応できるドライポンプです。 真空ポンプ・ドライポンプに関してはお問い合わせください。 スクリューロータ式の為、排気パスが短いドライスクリュー式真空ポンプ 【特徴】 ○耐久性がありメンテ間隔が長くコスト低減を実現 ○コンパクト設計の為移動に便利 ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

*ターボ分子ポンプ排気システムHiCubeシリーズ

ターボ分子ポンプと粗排気ポンプがスイッチ一つで同時駆動

分析機器の開発・製造を行なっている企業です。同社は、50年以上も前に世界で初めてのターボポンプを開発いたしました。それ以降、技術革新を進めこの分野におけるリーダーカンパニーとして、世界各国における半導体、分析、コーティング、産業、R&Dなどの多種多様の分野において、お客様に最適な真空環境をご提供しています。...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

*スクリュー型ドライポンプHeptaDryシリーズ

業界トップクラスの基本性能

分析機器の開発・製造を行なっている企業です。同社は、50年以上も前に世界で初めてのターボポンプを開発いたしました。それ以降、技術革新を進めこの分野におけるリーダーカンパニーとして、世界各国における半導体、分析、コーティング、産業、R&Dなどの多種多様の分野において、お客様に最適な真空環境をご提供しています。...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

バキュームコントローラ

ドライ真空ポンプ使用環境サポート製品

印刷業界、半導体産業、各種製造工程、各種工作機械、食品業界、他...

メーカー・取り扱い企業： 東栄株式会社

ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）

熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…

プを封液循環式とし、循環式封液にアルカリ性溶液を使用し、塩素系ガスの排気と中和を両立。後段のガス処理装置の負荷を大きく削減。 特に表面処理用の熱ＣＶＤ装置の塩素系ガスの排気系に有効で工具や金型・半導体用治具の生産に多数使用中。 Ｓｉエピタキシャル成長時やエッチング時のの塩素系ガスの排気にも応用可能。 主ポンプのの水封式真空ポンプもALLステンレス製を採用し耐食性にも優れた専用真空排気システ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

COMPACT10E

1ユニット幅10mmのPiabのコンパクトポンプシリーズに、新たにCO…

結可能です。ユニットの連結時には、共通のサイレンサーもしくはクリーンルームに適した共通の排気口を構成可能。 以下のような業種で必要とされる高速ピックアンドプレース用途に適します 電子機器や半導体 ピックアンドソートまたは試験/検査 部品搬送装置：高速（サイクルタイム50msまで）、SMT（表面実装）機械。 家電組立て、自動車電子部品など。 小型ロボットアプリケーション 例えば携...

メーカー・取り扱い企業： ピアブ・ジャパン株式会社

メカニカルブースタポンプ PRC-A/PMB-C(M)シリーズ

水蒸気、溶剤などの蒸気に対しても安定した性能が得られます。【アルバック…

～ 0.1Pa の領域で排気速度をアップすることが可能です。 PRC-A シリーズは、PMB-C（M）同様、汎用型としての使用はもちろんのこと、特にポンプ外部および内部のクリーン度が要求される半導体・液晶製造プロセスで使用することを主用途に設計されたルーツ型ポンプです。 PMB-040C, PMB-060C は、熱処理炉、溶解炉や大型成膜装置などの大容量排気として最適です。 【ライン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

ドライ真空ポンプ『SDLシリーズ』

ハードプロセス向け！ウェハー・FPD基板の大型に対応する大排気量ポンプ

『SDLシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 ウエハー、FPDの大型化に対応します。 組合せにより大排気量化が可能で、15万L/min以上のご要...

メーカー・取り扱い企業： 樫山工業株式会社

ドライポンプ　ＧＸＳシリーズ

半導体プロセスでの経験と実績を基に、最新のテクノロジーを搭載した、工業…

パージ機能の選択や排気ポートの取り出し位置や洗浄オプションを装備しており、 アクセサリ等幅広い選択肢を準備しております。 また、堅牢構造で長期メンテナンスフリー。 高効率インバーターモーターの採用で電力消費量を低減。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...【主な特長】 ○コントロールパネル標準装備 →リモート/ローカルＯＮ/OFFやアラーム・ワーニングを...

メーカー・取り扱い企業： 丸菱実業株式会社

アプリケーションカタログ

これまでの経験やノウハウを活かした、アプリケーション毎の真空ソリューシ…

当カタログは、科学機器、研究開発用途から始まり、化学産業、一般産業、半導体やディスプレイに関連する真空ソリューションをご紹介しています。 エドワーズでは、これまでの経験・実績に基づくアプリケーションのノウハウとプロセスの豊富な知識により、ポンプ単体から、システムま...

メーカー・取り扱い企業： エドワーズ株式会社

クライオポンプ　CRYO-U 4H

4型の最高性能クライオポンプ

【特徴】 ○4型のクライオポンプで最高の排気特性を発揮します。 ○高い排気速度は、排気効率と生産性の向上に寄与します。 ○特に半導体製造装置のスパッタプロセスや小規模の装置に適しています。 ○１台のコンプレッサーで4台までのポンプを運転することが可能です。 ○ご使用の用途に合わせた設計、製作が可能です。 ●詳しくはお...

メーカー・取り扱い企業： アルバック・クライオ株式会社

東横化学株式会社 機器販売部 取扱製品一覧

減圧弁や漏液センサ、真空機器など豊富なラインアップを掲載した総合カタロ…

当カタログは、 東横化学株式会社 機器販売部の取り扱う製品について掲載しています。 半導体から一般産業まで様々な用途に対応する減圧弁をはじめ、 汎用型漏液センサやターボ分子ポンプなど、豊富なラインアップをご紹介。 写真とともに特長が書かれており、製品の選定に役立つ1冊です。 【掲載...

メーカー・取り扱い企業： 東横化学株式会社

株式会社コスモファクトリー　会社案内

自然環境と調和した事業活動を行い、社会の進歩と繁栄に貢献することを目指…

コスモファクトリーは、真空ポンプの点検・整備・メンテナンス サービスを行っております。 各種メーカーの生産工程に活きる当社の豊富な知識と確かな技術。 半導体プロセスラインを主体とした真空ポンプの点検、設備、 補修などのサポートサービスは、ひとつの技術商品として確立しており、 高い評価をいただいております。 さらに、より生産性の向上を目指した...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コスモファクトリー

【資料】真空集中排気システム『VIE-system』

真空排気省エネソリューション！半導体デバイス工場の真空ファシリティへの…

当資料は、ベックが取り扱う、真空集中排気システム『VIE-system』の ご紹介資料です。 現在の排気システムの問題点をはじめ、真空集中排気システムの紹介や VIE-system導入の効果などを掲載しています。 是非、ダウンロードしてご覧ください。 【掲載内容】 ■ロードロック室 現在の排気システム ■ロードロック室 現在の排気システム（例） ■ロードロック室 真空集...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ベック

真空ポンプコンプレッサ兼用エアーポンプ【医療機器組込み実績有】　

高性能・高耐久・省エネ性能！自動車・半導体・医療というものづくり分野か…

空気専用エアーポンプ　真空ポンプ、コンプレッサ兼用 各種機器の圧縮空気源、真空源として使用可能 ・大きなダイアフラムを使用⇒長寿命、低消費電力 ・電磁部と流路が分離⇒湿気を含んだ空気の取り扱い可能...TPM 仕様 ・TPM-30 12kpa時→吐出30L/min ・TPM-40 12kpa時→吐出40L/min ・TPＭ-50 12kpa時→吐出50L/min 製品詳細...

メーカー・取り扱い企業： 大晃機械工業株式会社 ＥＭ事業部

磁気浮上型ターボ分子ポンプ　STP-301

長時間の安定稼働、ハイドロカーボンを使用しないクリーンな排気。電子顕微…

「磁気浮上型ターボ分子ポンプ　STP-301」は、ミニマムメンテナンス、及び低振動が要求されるアプリケーションに最適です。 業界トップクラスの性能と最大限のプロセス柔軟性を実現！ 科学機器、半導体、磁気媒体業界の主要機器メーカーに採用され、 高い信頼性を認められています。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 丸菱実業株式会社

*ドライポンプAシリーズ

業界トップクラスの基本性能

分析機器の開発・製造を行なっている企業です。同社は、50年以上も前に世界で初めてのターボポンプを開発いたしました。それ以降、技術革新を進めこの分野におけるリーダーカンパニーとして、世界各国における半導体、分析、コーティング、産業、R&Dなどの多種多様の分野において、お客様に最適な真空環境をご提供しています。...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

*ロータリーポンプPascalシリーズ ／ 2 段式ステージ

業界トップクラスの基本性能

分析機器の開発・製造を行なっている企業です。同社は、50年以上も前に世界で初めてのターボポンプを開発いたしました。それ以降、技術革新を進めこの分野におけるリーダーカンパニーとして、世界各国における半導体、分析、コーティング、産業、R&Dなどの多種多様の分野において、お客様に最適な真空環境をご提供しています。...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

*ロータリーポンプDUOシリーズ ／ 2 段式ステージ

業界トップクラスの基本性能

分析機器の開発・製造を行なっている企業です。同社は、50年以上も前に世界で初めてのターボポンプを開発いたしました。それ以降、技術革新を進めこの分野におけるリーダーカンパニーとして、世界各国における半導体、分析、コーティング、産業、R&Dなどの多種多様の分野において、お客様に最適な真空環境をご提供しています。...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

*ルーツポンプHiLobeシリーズ

業界トップクラスの基本性能

分析機器の開発・製造を行なっている企業です。同社は、50年以上も前に世界で初めてのターボポンプを開発いたしました。それ以降、技術革新を進めこの分野におけるリーダーカンパニーとして、世界各国における半導体、分析、コーティング、産業、R&Dなどの多種多様の分野において、お客様に最適な真空環境をご提供しています。...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

*スクロールポンプHiScrollシリーズ

業界トップクラスの基本性能

分析機器の開発・製造を行なっている企業です。同社は、50年以上も前に世界で初めてのターボポンプを開発いたしました。それ以降、技術革新を進めこの分野におけるリーダーカンパニーとして、世界各国における半導体、分析、コーティング、産業、R&Dなどの多種多様の分野において、お客様に最適な真空環境をご提供しています。...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

真空ポンプの運用コストを削減『サン・オイルクリーナー』：大成技研

大成技研の特許技術であるマルチエレメントにより、真空ポンプ中の水・酸・…

半導体製造装置をはじめとする各種真空機器で、メーカー指定オプションにも選ばれている実績ある製品です。 特許取得済のマルチエレメントをベースにした、油回転真空ポンプ用オイルの浄化装置です。 油回転真空ポンプ用オイルに混入する酸をパーティクル中和、ゴミやパーティクル・水分を除去し、常にオイルをクリーンに保ちます。 特に連続運転され毎月のようにオイル交換をしている油回転真空ポンプでは劇的にコスト...

メーカー・取り扱い企業： 高津伝動精機株式会社

*ルーツポンプOktaシリーズ

業界トップクラスの基本性能

分析機器の開発・製造を行なっている企業です。同社は、50年以上も前に世界で初めてのターボポンプを開発いたしました。それ以降、技術革新を進めこの分野におけるリーダーカンパニーとして、世界各国における半導体、分析、コーティング、産業、R&Dなどの多種多様の分野において、お客様に最適な真空環境をご提供しています。...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

ドライ真空ポンプ『SDE-TXシリーズ』

あらゆるプロセスに対応する高耐久ドライ真空ポンプ！プロセス性能に特化

『SDE-TXシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 耐デポ性能に優れた縦型スクリューを採用し、構造材料や温度設定による 高い耐食性を発揮します。 ...

メーカー・取り扱い企業： 樫山工業株式会社

ドライ真空ポンプ『SDE-Xシリーズ』

あらゆるプロセスに対応する高耐久ドライ真空ポンプ！省エネに対応

『SDE-Xシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 消費電力1.3kW、多彩な設定で幅広いプロセスに対応。 SDEの耐プロセス性を継承した省エネモデル...

メーカー・取り扱い企業： 樫山工業株式会社

真空装置のプロが作った技術資料『真空基礎知識』※ダウンロード進呈

用語集、単位換算表、記号の意味、計算事例など、現場で使える知識を１冊に…

■真空用語 　・JIS真空用語 　・真空ポンプおよび関連用語 　・真空計および関連用語 　・真空技術に関する用語 　・漏れ捜しに関する用語 　・真空配管に関する用語 　・薄膜作成・半導体製造に関する用語 ■真空関係シンボルマーク 　・真空ポンプ 　・真空計 　・トラップ、バッフル 　・バルブ 　・配管、その他 ■気体の性質 　・気体の定数 　・諸量の計算...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.