資料『次世代半導体の今を説く～SiC・GaN解説～』【進呈中！】

PR次世代半導体SiC・GaNの新情報がここに！

エネルギーの効率的な利用と環境への配慮が今後ますます重要となる中で 従来のシリコン半導体よりも優れた特性を持つ次世代半導体が大きな注目を浴びています。 その中でSiC(シリコンカーバイト)・GaN(窒化ガリウム)の特徴や課題を解説しております。 次世代半導体に触れ、未来の製品開発のヒントとなれば幸いです。ぜひご活用ください。 技術革命の先駆けとなる情報が今すぐあなたの手に。お見逃しなく！ ...

メーカー・取り扱い企業： ジェルグループ【株式会社ジェルシステム／株式会社ナカ アンド カンパニー】

エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

小型空気圧サーボ弁『空圧サーボ弁　J814シリーズ』

1～200 NL/min定格流量の空気圧サーボ弁。高応答性、高精度に小…

精度な小型空気圧サーボ弁です。 指令信号対制御圧力の再現性が良いので、圧力、力、位置や振動の制御に適しています。真空状態を作り出すこともできます。 代表的なアプリケーションはロボット、半導体製造装置、アニマトロニクス、アクティブ除振装置、荷重試験機、内圧制御装置、押し付け力制御装置などです。 【特長】 ■トルクモータを用いた1段型ノズルフラッパ弁 ■高分解能と低ヒステリシス...

メーカー・取り扱い企業： 日本ムーグ株式会社

サーボモータ専用直行軸タイプ減速機『EVS』：ニデック

高剛性、大容量タイプ。半導体製造装置、工作機械など幅広いバリエーション…

テーパローラベアリングを採用し、高荷重容量を実現。 ■特長 ・省スペース 　スパイラルベベルギヤを使用した直交減速機モータの取付方向を90度曲げられるため、省スペース設計が可能 ・高剛性・高トルク 　総ころ形軸受を採用し、剛性・トルクを大幅にアップ ・高荷重容量 　主軸受にテーパローラベアリングを採用し、高荷重容量を実現 ・アダプタ・ブッシング方式 　世界中のモータに取...

メーカー・取り扱い企業： 高津伝動精機株式会社

VCM駆動空気圧サーボ弁（直動型空気圧サーボ弁）

ムービングコイル駆動による精密制御！軽量案内弁による高速応答を実現

当社で取り扱う『VCM駆動（直動型）空気圧サーボ弁』をご紹介します。 電気－機械変換部に可動線輪型フォースモータを用いたスプール型サーボ弁です。 ムービングコイル駆動による精密制御を行い、主に半導体製造設備の分野で活躍しています。（精密位置決めステージ等） 「流量制御 3方弁/5方弁」、「圧力制御 3方弁」をご用意しています。 【特長】 ■大流量 ■高い分解能、低いヒステリシス ■静圧軸...

メーカー・取り扱い企業： ピー・エス・シー株式会社

サーボモータ専用減速機『VRGF/VRGS』：ニデック

静音、高剛性な精密タイプ。半導体装置、工作機械など高精度をお求めのお客…

クロスローラベアリングを採用した、精密コンパクトの標準機です。 静音 振動、騒音低減に適した遊星歯車減速機構とはすば歯車を採用 その強みを最大限に生かし、静音化を実現 高剛性 高剛性クロスローラベアリングを主軸受に採用 コンパクト・頑強なボディから高い出力トルクを発揮 高精度 バックラッシ0.05(3分)の高精度シリーズ コンパクト 大口径クロスローラベアリング...

メーカー・取り扱い企業： 高津伝動精機株式会社

サーボモータ専用減速機『VRT』：ニデック

静音、高剛性、大容量のフランジ出力タイプ。半導体装置、工作機械など高精…

テーパローラベアリングを採用し、高荷重容量を実現したフランジ出力タイプです。 高精度 　バックラッシは3分以下、精密な位置決めに威力を発揮します。 　※サイズ042・047の2段のみ、5分 高剛性・高トルク 　総ころ形軸受を採用し、剛性・トルクを大幅にアップ。 高荷重容量 　主軸受にテーパローラベアリングを採用し、高荷重容量を実現しました。 　※サイズ042・047・0...

メーカー・取り扱い企業： 高津伝動精機株式会社

サーボモータ専用減速機『VRS』：ニデックドライブテクノロジー

静音、高剛性な大容量タイプ。半導体装置、工作機械など高精度をお求めのお…

テーパローラベアリングを採用し、高荷重容量を実現。 高精度 バックラッシは3分以下、精密な位置決めに威力を発揮 高剛性・高トルク 総ころ形軸受を採用し、剛性・トルクを大幅にアップ 高荷重容量 主軸受にテーパローラベアリングを採用し、高荷重容量を実現 アダプタ・ブッシング方式 世界中のモータに取付可能 グリース漏れ無し 高粘度で分離しにくいグリースを採用し、万...

メーカー・取り扱い企業： 高津伝動精機株式会社