ガスの切替”自動化”のご提案＜基礎知識と製品をまとめた資料進呈＞

PR「ガス自動切替器とは？」「ガスの切替を自動化するメリット」等、ガス切替…

当社は、ボンベ内のガスが無くなると、自動で別のボンベに切り替える『ガス自動切替器』を幅広く取り扱っています。本資料では「ガス自動切替器とは？」「ガスの切替を自動化するメリット」等ガス切替の自動化のために必要な知識と、製品ラインアップをご紹介しております。 【水素用Air作動弁のご紹介】 ■大口径、高圧、水素用Air作動弁 ■型式：AV-20NSC-70-80SW ■流体：水素を含む可燃...

メーカー・取り扱い企業： ヤマト産業株式会社

CNT分散に好適　常光超高圧ホモジナイザーNAGSシリーズ

PR切らずにほぐす　高粘度にも対応　CNT分散に好適な実験機をご提案～切換…

最新電池・最新電子デバイス分野でCNTは実用化段階に入りました。 ビーズミル機や超音波ホモジナイザーでは繊維長を維持した精緻な分散は困難。 ユーティリティ、スケールアップの観点からCNT分散では 超高圧ホモジナイザー一択となりつつあります。 《下記のような課題はございませんか》 ・アプリケーションに応じた適したの分散状態にコントロールしたい ・できるだけ切らずにほぐしたい ・詰まりにくく、利便...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社常光 ナノマテリオ・エンジニアリング事業部

低温レジスト剥離装置『AURORA（オーロラ）』

薬液洗浄工程をなくすことでウエットベンチの設置面積を削減可能！

ボット ■プラズマ処理装置 ■オゾン水処理装置 ■高濃度オゾン水発生装置 ■加熱ユニット 【仕様】 ■チャンバ数：2チャンバ（プラズマ処理1チャンバ、オゾン水1チャンバ） ■ウエハ口径：150, 200, 300mm対応 ■カセット数：2カセット ■用 力：DIW、N2、O2、CO2、CDA ■本体外形寸法：1100（W）× 2050（D）× 2000（H） ※詳しく...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

蒸気洗浄装置『ASTE（アステ）』

金属汚染のない半導体用の洗浄装置！単式蒸気噴射音速ノズル搭載

気発生装置 ■単式蒸気噴射音速ノズル ■アルキメデス制御方式 ■EFEM(搬送系) ■制御系 ■ガス・水流量制御系 ■排気・排水系 【仕様】 ■チャンバ数：2チャンバ ■ウエハ口径：150,200mm対応 ■カセット数：2カセット ■用 力：DIW、N2、CDA ■蒸気圧力制御範囲：0.05-0.2MPa ■本体外形寸法：1100（W）× 1800（D）× 2000（...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

蒸気洗浄装置『BEUGA（ビューガ）』

金リフトオフ工程で95％以上の回収率でコスト低減！LED用の洗浄装置

【基本構成】 ■蒸気発生装置 ■多連式蒸気噴射音速ノズル ■EFEM（搬送系） ■制御系 ■ガス・水流量制御系 ■排気・排水系 【仕様】 ■ウエハ口径：50-150mmΦ ■用 力：DIW、N2、CDA ■蒸気圧力制御範囲：0.05-0.2MPa ■本体外形寸法：1200（W）×　1500（D）×2200（H） ※詳しくは、お気軽にお...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社