サーボ駆動式ペール缶材料圧送ポンプ『PAL-SERVO』

PRギャップフィラーや放熱性グリスなど半固形状の高粘度材料を送液可能！ペー…

サーボ駆動式ペール缶材料圧送ポンプ『PAL-SERVO』は、 ペール缶から直接、材料を吐出できる材料圧送ポンプです。 サーボ駆動により、高精度の吐出を実現しており、 季節に合わせて吐出量を調整するといった手間も減らせます。 放熱ギャップフィラーや放熱性グリスなどの半固形状の高粘度材料などのスムーズな送液が可能になり、 塗布作業などの高品質化・作業効率向上などにつながります。 ...

メーカー・取り扱い企業： トミタエンジニアリング株式会社

組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

高圧ポンプユニット　KPWシリーズ（組込用）

エア圧調整器、エア圧力計、吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込…

ポンプに基本的に必要となる周辺機器をセットにして、専用量産装置以外の用途で利用しやすいように整えたユニットです。 エア駆動式プランジャーポンプ内蔵の高圧水発生ユニットでエア圧調整器､エア圧力計､吐出圧力計などが一体となった設計で装置組み込みに適しており、 高圧ジェット洗浄用としてウエハのIPA洗浄や溶剤による剥離等に用います。 【特長】 ■小型な組込用ポンプユニット（W194×H19...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

組込用小型高圧ポンプ『SSBL-XXシリーズ』

エア駆動式のため防火・防爆対策が必要な箇所でも使用可能な高圧ポンプ

M仕様）や カルレッツ（KLZ仕様）を採用しており、2000年から約20年におよぶ 市場供給を誇ります。 【特長】 ■コンパクト設計で組込みに好適 ■操作はエア供給圧を可変することで吐出圧を制御可能 ■エア圧力0.5MPaにて最高17.6MPaまで昇圧可能（SSBL-37.5A） ■昇圧部シール材としてフッ素系高分子ポリエチレン（FKM仕様）や カルレッツ（KLZ仕様）を採用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コンパクト設計で組込に好適 ■操作はエア供給圧を可変することで吐出圧を制御可能 ■電気を使用しないため、防火・防爆地区に適応 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

高圧ポンプユニット　KPM-40B

独立した圧力の異なる2出力を同時に吐出できる高圧ポンプユニット ＣＳ…

電動式のプランジャポンプを用いたポンプユニットです。 吐出圧力、流量についてはお客様のご要望に合わせて調整いたしますのでご相談ください。 【特長】 ■ポンプ1台で関連する複数の用途に対応 ■スケルトン筐体でお客様の装置に組込容易 ※製品...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

昇圧ポンプユニット　PU201A

運転中に外部負荷が締切状態になってもリリーフ弁の作動による内部循環が可…

『PU201A』は、工場の純水供給ラインの圧力が不足している場合や、建物で階上への供給で圧力が不足する場合に使用する昇圧ユニットです。 運転中に外部負荷が締切状態になってもリリーフ弁の作動による内部循環が可能です。 【特長】 ■水圧の低い純水を昇圧して装置に供給 ■外部締切運転時リリーフ弁により内部循環自動切換え ■循環水温度上昇検知（作動温度 50℃） ※製品の詳細は、下記の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

高圧ポンプユニット　KPM-5030

ポンプとモーターを縦に配置して床面積を縮小した高圧ポンプユニットです。

【特長】 ■インバータ内蔵により流量特性を可変可能 ■外部信号により運転、停止が可能 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。 ...【仕様】 〇サイズ 　・W598×D548×H1224（mm） ○重量　150Kg ○吐出流量、圧力 　・33.5L/分、5MPa ○供給エア圧：0.4～0.7MPa ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

昇圧ポンプユニット　PU300A

各種洗浄装置、スピンドルモータ冷却、バリ除去などに

【仕様】 〇ポンプ：カスケードステンレスポンプ　400W 〇吐出流量：13L毎分/16L毎分　50/60Hz 0.5MPa時 〇適用流体：純水 〇表示：吐出圧力計 0～0.6MPa 　　　吐出圧調整バルブ（リリーフ方式） 〇リモート機能：ポンプ運転/停止指令　DC24V 〇安全動作： 　・外部締切運転時リリーフ弁による内部循環自動切換え 　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

高圧ポンプユニット　KPM-5030　※カスタマイズ可能

ポンプとモーターを縦に配置して床面積を縮小！研磨ウエハ洗浄に好適

KPM-5030はポンプとモーターを縦に配置して床面積を縮小した高圧ポンプユニットです。インバータ内蔵により流量特性を可変でき、外部信号により運転、停止ができます。半導体業界をターゲットとし研磨ウエハの洗浄に適しています。 【特長】 ◆設置面積が小さくコンパクト設計 ◆ポンプの選定により本仕様以外の流量、圧力に対応可能 ※ご要望に応じたカスタマイズが可能です。半導体産業のみならず洗...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト