【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

耐熱ホース CPシリーズ

PR耐熱最高1,100℃！耐高温、耐摩耗、ケミカル耐性に優れたフレキシブル…

耐熱ホース「CPシリーズ」は最高1,100℃の高温排気ガスに対応可能なフレキシブルホースをはじめ多数製品を揃え、エンジン試験・車両試験・高温炉や鋼管ジョイント部での使用など多様なシーンで活躍しています。...・耐高温性、耐炎性に優れた耐熱用ホース ・スチールガイドをらせん状に編み込み、耐摩耗性の向上（引きずりに強い）を実現 ・独自の技術により、ホースとスチールガイド間の抗張力性の向上を実現（脱落し...

メーカー・取り扱い企業： エフ・アイ・ティー・パシフィック株式会社

プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』

真空チャンバの到達圧力から、スパッタプロセス圧力までの広範囲（1～80…

プロセスガスモニタ『M-080QA-HPM』は、測定質量範囲1～80amuであり、2.0Pa以下（差動排気系不要）の圧力から測定可能な四重極型質量分析計です。 プロセス中のガス分圧を監視し、プロセスガス異常・リークなどの不具合を検知し、プロセス安定性を提供いたします。 プロセス中の品質管理や残留...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社