FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

水洗浄なし、エアーブローだけで徹底洗浄『エアースクリューノズル』

水洗浄不要!! 頑固な汚れから付着ダストまで風だけでエアーブロー洗浄

もう水洗浄は要りません！ 頑固な汚れから付着ダストまで風だけでエアーブロー洗浄 特許取得の当エアーノズルはエアーの噴出力が桁違い。 強力なエアーブローにより、こびり付いた汚れや付着したダスト、キズに入り込んだ頑固な汚れも『水なし』で落ちていきます。 また、汚れだけでなく、粉塵や切粉の除塵能力においても他のノズルとは一線を画しています。（クリーンルーム対応） ※ものによっては脱脂や薬液洗浄は必要 ...

メーカー・取り扱い企業： ピュアトラスト株式会社

エアーノズルで完全水切りがついに実現『エアースクリューノズル』

エアーブローでの完全水切りがついに実現！瞬時な100％水切り・完全乾燥…

【とにかく動画が証拠です。必ずご覧ください！】 従来のエアーノズルでは、洗浄後にエアーブローのみで100％水切りすることは不可能であり、完全乾燥させるには別途乾燥工程が必要でした。 それどころか「エアーノズルでは完全な水切りは不可能」というのが製造業の常識にすらなってしまっています。 しかし、当エアーノズルは独自の特許技術により100％水切りを実現。 瞬時に100％水切り・完全乾燥が可能となりまし...

メーカー・取り扱い企業： ピュアトラスト株式会社