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PR【超高圧ジェットでメタル&レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…
【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし! ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム (オプション) 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能! 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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可変型洗浄ヘッドで適した姿勢で作業が可能!洗浄時間はタイマー設定
【仕様】 ■処理能力:~30個/分 ■洗浄ノズル:2本立て ■フィルター:洗浄エアー用 0.01μ ■吸引:リングブロワー ■排気エアー:集塵フィルター及びHEPAフィルターを通して本体外に排気 ■必要圧空:0.5Mpa-100L/分...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社シバタエンジニアリング
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