• 高圧ジェットで高速レジスト剥離!半導体製造用リフトオフ装置 製品画像

    高圧ジェットで高速レジスト剥離!半導体製造用リフトオフ装置

    PR【超高圧ジェットでメタル&レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

    【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし! ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム (オプション) 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能! 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

  • FOUP洗浄装置 製品画像

    FOUP洗浄装置

    PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

    【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能(常温→65℃まで3秒)  ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa(15...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダルトン

  • 内面研磨技術『精密特殊研磨技術』 製品画像

    内面研磨技術『精密特殊研磨技術』

    内径・内面の精密研磨が可能!特殊精密研磨でminφ0.05mmの内径ま…

    各種部品の内径・内面の面粗度にまつわるこんな悩みはございませんか? ・充填ノズルの洗浄性を上げたい ・内面の面粗度が品質に影響する ・パーティクルを削減したい 特に細径かつ長尺・複雑形状になる程、 手の施しようがなく、諦めていませんか? 【千代田交易の『精密特殊研磨技術』でできること】 ■内径φ0.1mmであれば1,000mmまで均一に精密研磨が可能 ■minφ0.05mm...

    メーカー・取り扱い企業: 千代田交易株式会社

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