FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化（No.2220）

PR【試読できます】－成膜技術、リソグラフィ、エッチング、CMP、洗浄－

書籍名：先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか！ 　　新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ■　本書のポイント　1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題 ・これ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社技術情報協会

ダイシング水リサイクル装置『AR-927水リサイクル装置』

ダイシング水の水問題を解決！産業廃棄物・運用コストを削減！

グ水の水問題を解決する、 ダイシング水リサイクル装置です。 適した水質、温度、水量を保証。水消費の削減を実現します。 さらに、産業廃棄物や運用コストを削減するほか、 純水モジュールやUV洗浄などのオプションもご用意しております。 【特長】 ■水消費の削減 ■適した水質、温度、水量を保証 ■産業廃棄物の削減 ■運用コストを削減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お...

メーカー・取り扱い企業： 日本技術産業株式会社