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【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化(No.2220)
PR【試読できます】-成膜技術、リソグラフィ、エッチング、CMP、洗浄-
書籍名:先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 --------------------- ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか! 新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊 --------------------- ■ 本書のポイント 1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題 ・これ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社技術情報協会
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金型などの洗浄「ドライアイス洗浄とは?」※ホワイトペーパー進呈中
PR母材を傷つけない、高効率・低コストの新しい洗浄技術。6種類の洗浄方法の…
『ドライアイスブラスト洗浄』は、圧縮エアで噴射したドライアイスが 母材と汚れの間に入り込み、昇華時に約800倍に膨張する爆発力を用いて、 母材を傷つけることなく汚れを除去できます。 【特長】 ■非研磨なので母材を傷つけない ■薬剤不使用なので環境負荷が低い (二次廃棄物がなく、有害物質などもない) ■効率よく洗浄できるのでダウンタイムなし ★現在、プラスチック・ゴム部品な...
メーカー・取り扱い企業: Cold Jet
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--超音波プローブによるスイープ発振と、超音波洗浄器の組み合わせ技術-…
超音波システム研究所は、 超音波洗浄器に関して、 ファンクションジェネレータと超音波プローブを応用することで、 100MHz以上の超音波伝搬状態を利用可能にする 超音波発振制御技術を開発しました。 超音波伝搬状態の測定・解...
メーカー・取り扱い企業: 超音波システム研究所
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オリジナル超音波プローブによる、スイープ発振制御技術
超音波発振による、発振部が発振による影響を インパルス応答特性・自己相関の解析により 対象物の表面状態・・に関して 超音波振動現象の応答特性として解析評価します 3)発振と対象物(洗浄物、洗浄液、水槽・・)の相互作用を パワー寄与率の解析により評価します 4)超音波の利用(洗浄・加工・攪拌・・)に関して 超音波効果の主要因である対象物(表面弾性波の伝搬) あるい...
メーカー・取り扱い企業: 超音波システム研究所
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メガヘルツの超音波システム(洗浄、攪拌、加工、表面処理・・)
超音波の非線形現象をコントロールするスイープ発振制御技術の応用
波発振制御プローブを利用することで、 1-100MHz以上の超音波伝搬状態制御を可能にする 超音波システム技術を開発しました。 超音波伝搬状態の測定・解析・評価・技術に基づいた、 精密洗浄・加工・攪拌・溶接・めっき・・への新しい応用技術です。 各種材料の音響特性(表面弾性波)の利用により 20W以下の超音波出力で、1000リッターの水槽でも、 数トンの対象物への超音波刺...
メーカー・取り扱い企業: 超音波システム研究所
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超音波の相互作用を考慮した、非線形伝搬制御技術ーー超音波の最適化技術ー…
が、可能になりました。 注:自己相関、バイスペクトル、パワー寄与率、インパルス応答 特に、 高調波に関する超音波と対象物の相互作用を検出・確認することで 複雑な形状や、精密部品の洗浄に対する効果的な 制御(液循環、治工具、洗浄物の固定方法、・・・)が明確になります。 従って、適切な 超音波周波数の選択や 異なる超音波周波数の振動子の組み合わせ・・ 対象物に...
メーカー・取り扱い企業: 超音波システム研究所
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オリジナル超音波発振制御プローブの発振制御による、超音波振動の共振現象…
発振の発振条件の設定(注)により 高い音圧レベルの共振現象と、 高調波の発生現象(10次以上の非線形現象)による、 900MHz以上の高周波伝搬状態を、ダイナミック制御します。 注:精密洗浄事例 スイープ発振 700kHz~20MHz 15W パルス発振 13MHz 8W 超音波の伝搬特性 1)振動モードの検出(自己相関の変化) 2)非線形現象の検出(バイスペクトルの変...
メーカー・取り扱い企業: 超音波システム研究所
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オリジナル超音波プローブによるメガヘルツ超音波の発振制御装置
超音波プローブの超音波素子表面処理による、表面弾性波をコントロールする…
して、 「非線形振動現象をコントロールする超音波制御技術」を開発しました。 超音波伝搬状態の測定・解析・評価技術に基づいた、 オリジナル非線形共振現象(注1)の制御技術です。 精密洗浄・加工・攪拌・・・・への新しい応用技術です。 注1:オリジナル非線形共振現象 オリジナル発振制御により発生する高調波の発生を 共振現象により高い振幅に実現させたことで起こる 超音波...
メーカー・取り扱い企業: 超音波システム研究所
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音圧測定解析(自己相関、パワースペクトル、バイスペクトル)技術の利用
により、 メガヘルツの超音波を効率よく伝搬制御することが可能になります。 詳細は、具体的な対象により異なる設定になるため 単純に説明できませんが 樹脂とメガヘルツの超音波による 洗浄・加工・化学反応・攪拌・・・による 新しい成果が増えています。 これは、新しい方法および技術です、 これまでの実施結果から 樹脂の様々な音響特性は、 金属・ガラス・・では難しい...
メーカー・取り扱い企業: 超音波システム研究所
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時系列データの多変量自己回帰モデルによるフィードバック解析
超音波発振による、発振部が発振による影響を インパルス応答特性・自己相関の解析により 対象物の表面状態・・に関して 超音波振動現象の応答特性として解析評価します 3)発振と対象物(洗浄物、洗浄液、水槽・・)の相互作用を パワー寄与率の解析により評価します 4)超音波の利用(洗浄・加工・攪拌・・)に関して 超音波効果の主要因である対象物(表面弾性波の伝搬) あるい...
メーカー・取り扱い企業: 超音波システム研究所
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超音波の表面弾性波による表面処理
に、皮膚に接触する金属部品のエッジ処理の状況により 超音波の音圧レベル・伝搬周波数は大きく変わります。 均一化処理を行うことで、 安定した再現性のある長寿命化が実現します。 (超音波洗浄での実績から応用発展させました) この技術を コンサルティング対応として提供します ...
メーカー・取り扱い企業: 超音波システム研究所
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超音波の音圧測定解析に基づいた、超音波のダイナミック制御事例
音圧測定データについて、時系列データのフィードバック解により、超音波の…
超音波発振による、発振部が発振による影響を インパルス応答特性・自己相関の解析により 対象物の表面状態・・に関して 超音波振動現象の応答特性として解析評価します 3)発振と対象物(洗浄物、洗浄液、水槽・・)の相互作用を パワー寄与率の解析により評価します 4)超音波の利用(洗浄・加工・攪拌・・)に関して 超音波効果の主要因である対象物(表面弾性波の伝搬) あるい...
メーカー・取り扱い企業: 超音波システム研究所
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--オリジナル超音波プローブの発振制御による、非線形振動現象をコントロ…
発振、パルス発振の発振条件の設定により 高い音圧レベルの共振現象と、 非線形現象(10次以上の高調波の発生)による、 100MHz以上の高周波伝搬状態を、ダイナミック制御します。 超音波洗浄・加工・攪拌・化学反応・・・各種応用実績が増えています。 ...
メーカー・取り扱い企業: 超音波システム研究所
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オーダーメード対応超音波発振制御プローブの製造技術(特性テスト)
超音波による音響特性テスト
音響特性>を把握することで 発振制御により、音圧レベル、周波数、ダイナミック特性について 目的に合わせた伝搬状態を実現します 超音波伝搬状態の測定・解析・評価技術に基づいた、 精密洗浄・加工・攪拌・検査・・への新しい基礎技術です。 ...
メーカー・取り扱い企業: 超音波システム研究所
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超音波テスターによる<測定・解析・制御>の応用技術
低出力(50W以下)の超音波プローブの発振制御による 5mサイズの水槽(5-6000リットル)へのメガヘルツ超音波伝搬 (超音波の伝搬効率を高くする技術) ガラス・レンズ部品・・・の精密洗浄 (超音波ファインバブルシャワー技術) 複雑な形状・線材・真空部品・・・の表面改質 (非線形共振現象の制御技術 ::メガヘルツのショットレスピーニング技術) 溶剤・洗剤・・加工油・...
メーカー・取り扱い企業: 超音波システム研究所
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メガヘルツの超音波伝搬状態に関する非線形現象を利用
に関する非線形現象を利用することで 対象物の表面状態に関する新しい特徴を検出することが可能です。 特に、発振・受信の組み合わせによる 応答特性を利用した 基板部品の表面検査や、精密洗浄部品の事前評価・・・に関して、 超音波振動の新しい評価パラメータとなる基本技術です。 表面弾性波の伝搬現象に関する、超音波のダイナミック特性を 測定・解析・評価に基づいて 論理モデ...
メーカー・取り扱い企業: 超音波システム研究所
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音と超音波の組み合わせ技術
たことで起こる 超音波振動(高調波10次以上)の共振現象 この技術の応用事例として、 各種部品・材料の状態(空中、水中、弾性体との接触・・)に合わせた、 超音波の効果的な利用(洗浄・表面改質・攪拌・化学反応促進・・・ 各種システムの振動制御)を実現させています。 ...
メーカー・取り扱い企業: 超音波システム研究所
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--非線形発振制御による表面改質(表面残留応力の緩和)技術 --
定可能にする 超音波プローブ・音圧測定解析システムの製造・開発技術を、 コンサルティング提供します。 超音波の音圧測定解析システム(超音波テスター:標準システム) 1.内容 超音波洗浄機の音圧測定専用プローブ 1本 超音波測定汎用プローブ 1本 オシロスコープセット 1式 解析ソフト・説明書・各種インストールセット 1式(USBメモリー) 2.特徴(標準...
メーカー・取り扱い企業: 超音波システム研究所
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超音波の発振制御技術の応用
超音波発振制御プローブを利用することで、 1-100MHzの超音波伝搬状態制御を可能にする 超音波システム技術を開発しました。 超音波伝搬状態の測定・解析・評価・技術に基づいた、 精密洗浄・加工・攪拌・溶接・めっき・・への新しい応用技術です。 各種材料の音響特性(表面弾性波)の利用により 20W以下の超音波出力で、1000リッターの水槽でも、 数トンの対象物への超音波刺...
メーカー・取り扱い企業: 超音波システム研究所
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超音波の送受信特性を利用した表面検査技術
に関する非線形現象を利用することで 対象物の表面状態に関する新しい特徴を検出することが可能です。 特に、発振・受信の組み合わせによる 応答特性を利用した 基板部品の表面検査や、精密洗浄部品の事前評価・・・に関して、 超音波振動の新しい評価パラメータとなる基本技術です。 表面弾性波の伝搬現象に関する、超音波のダイナミック特性を 測定・解析・評価に基づいて 論理モデ...
メーカー・取り扱い企業: 超音波システム研究所
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