流量 | イプロスものづくり

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小型でも目詰まりしない超微細粒子の噴射用スプレーノズル

PR【アトマックスノズルAM６型】極めて少ない流量の液剤を微細な粒子で…

アトマックスノズルAM6型は、極めて少ない流量の液剤を微細な粒子で噴射する作業に適しております。噴射の圧縮気流量も、従来型のスプレーノズルに比較し小流量で細かな粒子を得ることができます。主な使用用途として、半導体ウェハへ精密スプレイ・電子部品・機能部品材料の製造過程において極少量の噴射・散布、コーティングが挙げられます。 ※詳しいスプレーノズルの詳細は、PDFをダウンロードいただ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アトマックス
高性能ブレードタイプミスト分離装置　ミストエリミネーター

PR長寿命！低コスト！特殊形状のブレードが20μm以上のミストを99.9％…

eブレードは、ミスト分離に優れた特性を持つ納入実績の多い装置です。特殊形状のミストエリミネーターブレードを使用しているため、20μm以上のミストを99.9％以上除去、回収する性能を持っています。また、圧力損失も低く、最大風速時でも300Pa以下です。【特長】 ■風速が8m/secまでとれるため、コンパクト設計。 ■耐蝕FRP及びプラスチック製のため優れた耐蝕性。 ■特別な設計費等の発...

メーカー・取り扱い企業：イーテクノ株式会社本社
真空炉『Mini-BENCH-prism 超高温実験炉』

最高使用温度2000℃ セミオート制御超高温実験炉（カーボン炉、…

外の全ての操作を行います。煩わしいバルブ開閉・ポンプ起動操作が不要、焼成作業前の「真空/パージ」サイクルと焼成作業後の「ベント」を1ボタンで自動シーケンスで行います。 ◉MFC最大3系統自動流量制御（又は手動調整） ◉APC自動圧力コントロール ◉作業中の安全を確保冷却水異常・チャンバー温度異常・過圧異常を監視SUS製堅牢な水冷チャンバー、最高温度で連続使用中でも安全にご使用いた...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
MiniLab-WCF 超高温ウエハーアニール炉2000℃

Φ6〜8inch超高温ウエハーアニール装置研究開発から小規模生産ま…

/パージサイクル、ベントの自動シーケンス制御・フルオート自動運転（オプション）・タッチパネル操作、操作が分散せず一元管理が可能です。 ◾️ プロセス圧力制御・APCコントロール（MFC流量、又は自動開度調整バルブ PIDループ制御）・MFC最大3系統流量自動制御、又はフロートメーター/ニードルバルブの手動調整 ◾️ PLOT画面グラフ表示、CSVデータ出力...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
【Nanofurnace】BWS-NANO 熱CVD装置

【ホットウオール式熱CVD装置】基礎研究に最適なコンパクトサイズ高性能…

【特徴】 ◉ コンパクトなシステムでハイクオリティな成膜実験が可能 ◉ ホットウオール式反応管内を均一に加熱 ◉ 4系統（CH4, Ar, H2, バブラー用）MFC高精度流量制御：精度±1% F.S. ◉ キャパシタンスマノメータ（バラトロンゲージ）による高精度APC圧力制御 ◉ Lab Viewソフトウエア（オプション）によるリモート制御, データ解析【主仕様...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
スパッタリング装置『nanoPVD-S10A』

高機能コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式…

◉ 装置運転・レシピ管理などの全てを7"タッチパネルで一元管理。 ◉ ユーザの登録したフィルムレシピ、プロセス制御（真空引/ベント、成膜時間、出力/時間、MFC流量圧力自動制御、カソード切替、シャッター開閉、加熱・昇降回転調整など）を全自動運転（手動も可能）〜Windows PCでデータロギングができます。【主な仕様】・RF/DCマグネトロン方式 ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
多機能スパッタリング装置【MiniLab-S060】

コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

Lチャンバー）基板加熱：Max500℃, 800℃, 又は1000℃（C/C、又はSiCコート）基板回転・上下昇降（ステッピングモーター自動制御） APC自動制御：アップストリーム（MFC流量調整）又はダウンストリーム（排気側バルブ自動開度調整）寸法：1,120(W) x 800(D) ●プラズマエッチングはメインチャンバー、ロードロックチャンバーのいずれへも設置可能です。 ●抵...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
アニール炉『MiniLab-WCF 超高温ウエハーアニール炉』

Φ6〜8inch超高温ウエハーアニール装置研究開発から小規模生産まで…

/パージサイクル、ベントの自動シーケンス制御・フルオート自動運転（オプション）・タッチパネル操作、操作が分散せず一元管理が可能です。 ◾️ プロセス圧力制御・APCコントロール（MFC流量、又は自動開度調整バルブ PIDループ制御）・MFC最大3系統流量自動制御、又はフロートメーター/ニードルバルブの手動調整 ◾️ PLOT画面グラフ表示、CSVデータ出力...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
アニール炉『Mini-BENCH-prism 超高温実験炉』

最高使用温度2000℃ セミオート制御超高温実験炉（カーボン炉、…

外の全ての操作を行います。煩わしいバルブ開閉・ポンプ起動操作が不要、焼成作業前の「真空/パージ」サイクルと焼成作業後の「ベント」を1ボタンで自動シーケンスで行います。 ◉MFC最大3系統自動流量制御（又は手動調整） ◉APC自動圧力コントロール ◉作業中の安全を確保冷却水異常・チャンバー温度異常・過圧異常を監視SUS製堅牢な水冷チャンバー、最高温度で連続使用中でも安全にご使用いた...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社
スパッタリング装置多機能スパッタ装置MiniLab-S060A

コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

Lチャンバー）基板加熱：Max500℃, 800℃, 又は1000℃（C/C、又はSiCコート）基板回転・上下昇降（ステッピングモーター自動制御） APC自動制御：アップストリーム（MFC流量調整）又はダウンストリーム（排気側バルブ自動開度調整）寸法：1,120(W) x 800(D) ●抵抗加熱蒸着・有機材料蒸着・EB蒸着などの混在仕様も構成可能です。...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社