FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

ミストリーナー　※とよたビジネスフェアに出展いたします

PR製造現場のオイルミスト環境を劇的に変える！ミストコレクターのご紹介

『ミストリーナー』は、独自のコアレッシングフィルターにより、 高い除去率が一年間続く製品です。 吸引したミストを筒状の特殊フィルター(3～8本)に導入。 捕集されたオイルが下部へ排出されることにより、フィルター上部に ろ過空間がうまれ、高い除去能力・処理風量を維持します。 捕集したオイルを排出し再利用も可能です。 また、当社はスカイホール豊田で開催される「とよたビジネスフェ...

メーカー・取り扱い企業： 豊田汽缶株式会社

アルカリ対応スピン洗浄装置

有機EL基板洗浄に最適！アルカリ対応スピン洗浄装置

本装置はワークを本体に手動でセットし、真空吸着させスピン回転させながら二液体洗浄、超音波洗浄、N2ブロー乾燥を行う装置です。...洗浄ワーク　 ●PETフィルム及びガラス基板　50～300角　ｔ＝0.7、1.1mm　　　　　　　　　　　　　 ●8,12インチウエハ 各種ワーク対応（オプション） 洗浄水 ●アルカリ　●純水　●水素溶解水　●オゾン水 対応回転数　　　MAX　3000rpm...

メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター