【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

ハーメチックコネクタ

PR高真空で使用できる ハーメチックコネクタです！

D-Sub・USB・LAN・HDMI・BNC/SMA/SHV同軸等、各種端子を取り付けたハーメチックコネクタです。オーダーメイドにも対応いたします。 ■高強度・ローアウトガスのエポキシ樹脂で密封し、気密性を保ちます。 ■中高真空～加圧環境で使用できます。 ■D-Subタイプや同軸タイプ、LAN・USB・HDMI・同軸コネクタタイプは標準品でご用意しています。 ■ご希望のケーブル、ハウジ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社テクサム

【資料】真空EFEM

酸素フリー、高効率のウェーハプロセス！図を用いて分かりやすく説明してい…

当資料は、有限会社ベックが取り扱う『真空EFEM』の資料です。 真空ロードポートVLPの構成をはじめ、真空EFEMの構成や多数の 真空EFEMのオペレーション、真空EFEMとプロセス装置を掲載。 また、カラーで図を用いて分か...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ベック

【資料】真空集中排気システム『VIE-system』

真空排気省エネソリューション！半導体デバイス工場の真空ファシリティへの…

当資料は、ベックが取り扱う、真空集中排気システム『VIE-system』の ご紹介資料です。 現在の排気システムの問題点をはじめ、真空集中排気システムの紹介や VIE-system導入の効果などを掲載しています。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ベック

真空ポンプリザーバ超高速排気システム『エコバックシステム』

連通する時間はわずか10秒！アイドリング中にリザーバを排気するシステム

『エコバックシステム』は、真空ポンプのアイドリング中に複数のリザーバを排気する超高速排気システムです。 ポンプのアイドリング中の電気を有効に活用することができます。 大気圧⇒1kPa(7.6Torr)まで10秒以内、ポンプを...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ベック

真空デシケーター『FVD-BU』

300mmウェーハのFOUP、FOSB用！シンプルなベーシックユニット…

『FVD-BU』は、ウェーハをFOUP・FOSB（パージポート付）に入れたまま真空保管、 脱ガス、乾燥、ガス置換など多目的に使える真空デシケーターです。 ウェーハはFOUPの気密性に影響されず、長期間保管可能。チャンバーはFOUPの 大きさに合わせたコンパクトなサイズ。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ベック

【資料】FOUP用 真空ガス置換システム『VGX-system』

多数のVGXオペレーションや、特長などを分かりやすく掲載しています！

当資料は、有限会社ベックが取り扱う、FOUP用真空ガス置換 システム『VGX-system』のご紹介資料です。 現在のパージシステムの概要をはじめ、方法や問題点、VGXの 概要、多数のVGXオペレーションなどを掲載。 是非、ダウンロ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社ベック