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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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メーカー・取り扱い企業: 株式会社太陽イービーテック
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基本ステップ角度は0.72°!正確な位置決め、安定停止など幅広い用途に…
・AC入力(マイクロステップ) ・DC入力(マイクロステップ、フル/ハーフステップの2種類) ■ステッピングモータ ・ステッピングモータ単体 ・リニア駆動ステッピングモータ ・真空用ステッピングモータ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 新光電機株式会社
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