【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

【高コスパ】キャパシタンスゲージ/コールドカソードピラニゲージ

PR各種真空システム搭載に好適な真空計

■『キャパシタンスゲージ』は、高精度で安定した絶対圧力を測定できる温度補正型の隔膜真空計です。 　　優れたゼロ点の安定性、低温度依存性、優れた対振動性が特長です。 ■『コールドカソードピラニゲージ』は、堅牢なコールドカソードゲージ(冷陰極電離真空計)とピラニゲージを組み合わせ、 　　大気圧から高真空まで広い圧力測定範囲を持つコンビネーションゲージです。 ※詳しくはPDF資料をご覧い...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

インライン測定システム『X-RAY 5000』

大きな測定エリアを持つ量産品の薄膜測定や合金分析を連続して行うシステム…

インに直接組み込むことができます。 【特長】 ■大きな測定エリアを持つ量産品の薄膜測定や合金分析を非破壊で連続測定 ■表面温度が非常に高温な物まで(最大500℃まで)測定可能 ■大気中と真空中の両方の雰囲気中で測定可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フィッシャー・インストルメンツ