FPD・半導体用 ガラス基板搬送ケース※1個から生産可能

PRG１～G６ｈの様々なサイズにも対応。精密・高品質なガラス搬送ケースの製…

当社の『ケース事業』では、お客様のニーズに合わせて、ケースの製作・ 修理・洗浄・保管から輸送までトータルシステムをご提案します。 精密・高品質なガラス搬送ケースの製造・クリーンルーム洗浄から物流 支援まで幅広く手掛けています。 また、長年培ってきたガラス精密加工技術をベースに、フラットパネル ディスプレイ用（LCD・OLED）フォトマスク用・メタルマスクのケースなどの 先端分野...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディー・アール・エス（DRS)

TCGランナー『CRS&CPSシリーズ』＜ステンレス仕様＞

PRステンレス製の耐食性に優れ、高い防錆効果を有したノンバックラッシラック…

『CRS&CPSシリーズ』＜ステンレス仕様＞は、TCGシリーズの ノンバックラッシ、高精度、低摩耗・低発塵等の特長そのままに、 ステンレス鋼を用い製作したTCGランナーです。 製品オプションにて、封入/塗布するグリースを指定品に変更することや、 微粒子やイオン状物質を除去する精密洗浄の実施も対応可能です。 継足し治具を使った長尺使用や180m/min以上の高速走行も可能です。 送り精度と位置決...

メーカー・取り扱い企業： 加茂精工株式会社 本社

メガヘルツの超音波発振による、新しい表面検査技術

超音波プローブ（発振型、測定型、共振型、非線形型）の超音波発振による、…

態に関する非線形現象を利用することで 　対象物の表面状態に関する新しい特徴を検出することが可能です。 特に、発振・受信の組み合わせによる 　応答特性を利用した 　基板部品の表面検査や、精密洗浄部品の事前評価・・・に関して、 　超音波振動の新しい評価パラメータとなる基本技術です。 表面弾性波の伝搬現象に関する、超音波のダイナミック特性を 　測定・解析・評価に基づいて 　論理モ...

メーカー・取り扱い企業： 超音波システム研究所

発塵検査装置

清浄度検査に新提案、エアブローで発塵・付着粒子を迅速検査

発塵検査装置PARTi（PERSYS社製）は、クリーンルーム内で使用する（クリーンルームに持込む）物の清浄度を迅速に検査することができる新提案の発塵検査装置です。精密加工部品・試料容器・無塵衣・グローブ類などを専用チャンバー内に設置して、HEPAフィルターを通過さえたクリーンなエアーでブローして付着粒子を吹き飛ばし、装置下部搭載のパーティクルカウンターで発塵を計測します。検査物の前処理は不要で、専...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東京インスツルメンツ