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PRエッチング工程、CVD工程への使用に。高い熱伝導率の「窒化アルミ」、耐…
当社は、半導体製造の分野における、 熱特性や異物発生防止のニーズに応える特殊セラミック部品を提供しています。 窒化アルミは、最高220W/m・Kの熱伝導率で、最大φ500のプレートを提供可能です。 イットリアは、高い耐プラズマ性を備え、焼結材部品と溶射材をラインアップ。 溶射時には高い密着性により、パーティクル低減のニーズに対応可能です。 【特長】 ■窒化アルミは、半導体装置向...
メーカー・取り扱い企業: 千代田交易株式会社
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真空機器用 電流導入端子『MSコネクター』※真空展に出展します
PRMS(MIL-C-5015)規格のプラグに勘合するガラスハーメチックシ…
当社では、D-subをはじめ、MS(MIL-C-5015)規格のプラグに勘合する ガラスハーメチックシールの製造販売をしております。 フランジへの溶接等も行っておりますので、お好みのサイズで 真空容器の電流導入端子として使用して頂けます。 芯数のバリエーションは3・4・10・14・19・24・48と一般的なものからカスタム品まで対応可能です。 【特長】 ■MS(MIL-C-5015)規格のプ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社フジ電科
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搬送装置のリニアガイドへの給脂作業に苦労されていませんか?稼働時近づけ…
よるグリス汚染を防げます。 また「LINCOLN」単管式集中潤滑装置はスペースの無いリニアガイド廻りの給脂箇所に設置するための最適な単管式集中潤滑システムです。スパッタの飛散する溶接領域での使用に耐えうる堅固さを備え、またそのような環境の中でも使用可能な配管施工を容易にするための耐スパッタ型フレキシブルチューブもラインナップされております。 自動給油装置は設備の故障を防ぐことに加え、オペレー...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社シー・エス・シー 本社、大阪支店、福岡出張所
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株式会社鎌倉製作所