フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

防爆スポットクーラー　DGR-1A/3A-SP/SPS

PR産業安全技術協会（TIIS）検定合格品でゾーン１（第一類危険箇所）とゾ…

防爆スポットクーラーは、危険場所のうちゾーン１（第一類危険箇）とゾーン2（第二類危険箇所）で使えます。 電源は三相200V、単相100Vの2種類。 冷媒回路は内圧防爆構造、制御回路は耐圧防爆構造、ユニットの装置はすべて防爆構造。 装置下部にドレンタンクを装備。 オプションにて電源コードの長さの変更可能(標準3ｍ)本体の移動や固定に便利なキャスター・ストッパー付きです。 【特徴】 ○ゾーン１（第一...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大同工業所 楠根工場

【表面処理】耐プラズマエロージョン　半導体製造装置関連

半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、イット…

■溶射材料：イットリア ■溶射方法：プラズマ溶射 ■施工方法：耐プラズマエロージョン ■施工実績：半導体製造装置関連...

メーカー・取り扱い企業： 富士岐工産株式会社

【表面処理】発塵防止付与　半導体製造装置関連

半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、真空蒸…

■溶射材料：アルミニウム ■溶射方法：アーク溶射 ■施工効果：真空蒸着時のシールドからの発塵防止...■溶射材料：アルミニウム ■溶射方法：アーク溶射 ■施工効果：真空蒸着時のシールドからの発塵防止...

メーカー・取り扱い企業： 富士岐工産株式会社

【表面処理】耐プラズマ性付与　イットリア溶射

半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、イット…

■溶射材料：イットリア ■溶射方法：プラズマ溶射 ■施工方法：耐プラズマ性付与...■溶射材料：イットリア ■溶射方法：プラズマ溶射 ■施工方法：耐プラズマ性付与...

メーカー・取り扱い企業： 富士岐工産株式会社

【表面処理】発塵防止付与　アルミニウム溶射

半導体製造装置関連の真空チャンバー内等で使用される部品に対して、真空蒸…

■溶射材料：アルミニウム ■溶射方法：アーク溶射 ■施工効果：真空蒸着時のシールドからの発塵防止...■溶射材料：アルミニウム ■溶射方法：アーク溶射 ■施工効果：真空蒸着時のシールドからの発塵防止...

メーカー・取り扱い企業： 富士岐工産株式会社