【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

薄くて軽い！ ケイドン「超薄型ボールベアリング」

PRわずか4.76mmの断面寸法を実現。省スペース・軽量化により、設計自由…

ケイドンの『超薄型ボールベアリング』は断面寸法が小さく、省スペース化と軽量化を実現しており、設計の自由度が向上します。 内径は25.4~1016mm、断面寸法は4.76~25.4mmまで幅広くラインアップ。 4点接触型、アンギュラコンタクト型、深溝型があり、特殊環境での使用も可能です。 【特長】 ■専門メーカーとして量産体制を確立しており、短納期にも対応 ■ボールベアリングのため...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社木村洋行

超高真空形　磁気軸受形複合分子ポンプ(高圧縮タイプ)TG-MU

超高真空仕様ターボ分子ポンプ

超高真空形　磁気軸受形複合分子ポンプ(高圧縮タイプ)TG-MUシリーズ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形複合分子ポンプ　TG1300M

低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ

ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。 反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様 ...【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○急速起動・停止 ○チューニングフリー ○回転数コントロール ○シリアル通信可能 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

姿勢自在形　複合分子ポンプ(TG-Fシリーズ)

低～超高真空まで広領域の排気に対応した取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型タ…

○取付姿勢自由自在 取付姿勢が360度自由自在なので、装置設計の自由度が拡大！ ○優れた耐久性 独自の軸受構造の採用により、大気突入による急な圧力上昇に強い！ ○急速ベント停止 ベントポートを利用して、エアーブレーキの要領でポンプを急停止させることができます。 ※一部対応外の機種があります。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ　TG60F

取付姿勢は自在！コントローラ一体型でコンパクトサイズの複合分子ポンプ！

グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ　TG60Fはコントローラ一体型のコンパクトサイズ。取付姿勢が自在なので装置設計の自由度が拡大します。電子銃排気や分析装置、研究開発用などの用途に最適です。 【特長】 ■急...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形複合分子ポンプ　TG2400M

大流量 排気・低振動に対応したターボ分子ポンプ

反応生成物対策仕様 TG2400MI もラインナップしています。...【製品の特長】 ○大流量排気 ○取付姿勢自在 ○急速起動・停止 ○チューニングフリー ○回転数コントロール ○シリアル通信可能 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

反応生成物対応　磁気軸受形複合分子ポンプ　TG-MIシリーズ

独自の生成物対策により、プロセスで発生する反応生成物のポンプへの堆積を…

外部ヒータによる昇温に加え、ポンプ内部で発生する吸引ガスとの摩擦熱を有効利用して、接ガス部を効率よく昇温 ■ 外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上！！ ■ 主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへのダメージを低減。 ...【製品の特長】 ○外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上 ○ロータなど主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへの熱ダメージを低減 ○排気...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形　複合分子ポンプ(TG-Mシリーズ)

広領域排気　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。

標準型、ケミカル型に加え、各種特殊仕様（極低振動、反応生成物対策仕様、超高真空仕様、耐放射線仕様）もラインナップ！...【製品の特長】 ○300～3400L/Sまでラインナップ(ケミカル形あり) ○フルデジタルコントローラーの採用により、振動が大幅に低減 ○ポンプ接続時および電源投入時にセンサの自動調整を行います ○回転速度を変更でき、プロセスに応じた排気性能を実現可能 ●その他機能...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

極低振動　磁気軸受形複合分子ポンプ　TG-MLシリーズ

ポンプの振動値を1nm以下に抑えた低振動ポンプ。防振ダンパーを装着する…

高性能な電子顕微鏡、微細描画装置、分析装置に最適です。...【製品の特長】 ■ ポンプ本体の振動値を１nm以下に抑えることに成功！ ※弊社測定方法による ■ 専用防振ダンパーを装着して、更に一桁振動値を低減！ ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

耐放射線仕様　磁気軸受形複合分子ポンプ　TG-MRシリーズ

放射線環境下で使用するために開発されたターボ分子ポンプ！

放射線に対する耐久性を高め、過酷な環境下での運転を可能にしました。 大強度陽子加速器施設（J-PARC）などに納入！...【製品の特長】 ○放射線に対する耐久性を高めています ○放射線環境下での運転を可能にしました ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

コンパクトドライ真空ポンプ　DSP250/DSP500

冷却水不要なのでコンパクトな自由設計！20000時間以上の長寿命！

コンパクトドライ真空ポンプは小型、軽量、外乱に強いポータブルタイプの真空ポンプです。運搬に便利なコンパクト設計でスペースを取らないため自由な設置が可能です。軸受寿命は20000時間以上の長寿命です。SEM、医療機器、分析機器、加速器など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ○排気速度230L/minと500L/minをラインナップ ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

姿勢自在型複合分子ポンプ　TG2400F

大気突入に強く、取付姿勢自在も可能なターボ分子ポンプ

グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在。大気突入に強い構造設計です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

株式会社大阪真空機器製作所 製品案内

取り扱いが容易な液封式真空ポンプや故障しにくいエジェクタなどをラインア…

当カタログでは、低真空や超高真空までの幅広い真空製品を掲載しています。 ベルト駆動型油回転真空ポンプ「Pシリーズ」をはじめ、磁気軸受形複合分子 ポンプ「TG-Mシリーズ」やコンパクトドライ真空ポンプ「DSPシリーズ」など 多数製品を用途別に分けてご紹介。 製品の選定にぜひご活用ください。 【掲載製品(抜粋)】 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形複合分子ポンプ　TG420M

広領域排気：低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子…

ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。 反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様 ...【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○急速起動・停止 ○チューニングフリー ○回転数コントロール ○シリアル通信可能 ○オイルフリー ○安全規格適合　NRTL/SEMI－S2/CE ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形複合分子ポンプ　TG900M

低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ

ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様 ...【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○急速起動・停止 ○チューニングフリー ○回転数コントロール ○シリアル通信可能 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形複合分子ポンプ　TG390M

広領域排気：低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子…

ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。 反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様 ...【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○急速起動・停止 ○チューニングフリー ○回転数コントロール ○シリアル通信可能 ○オイルフリー ○大流量排気 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所