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PR【技術資料進呈中!】試作から小中ロット(1個~3,000個程度)のプラ…
テクノマートの簡易金型についての紹介です。 高強度の型用のアルミ材を使い入れ子(製品形状)部分を製作し、 モールドベースは共用していますので、低コストを実現しています。 また24時間体制で製作を行うため、平均して納期も1/3を実現しております。 お客様のご要望に応じて、金型の構造を決定。数量の多いものは、 スライド機構でのご提案、数量の少ないものは置き駒でのご提案と、お客様と 綿密に打ち合わせ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノマート
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1D CAE による熱設計向けシミュレーション【解説資料を進呈】
PR構想設計など設計上流段階で有効な1D CAEを活用した熱解析を行うメリ…
製品開発に対する要求が複雑化、高度化する中、 設計の上流段階における解析技術を用いたより緻密な設計が重要になっています。 1D CAE はそれを強力に支援する手法です。 メイプルソフトの提供するソフトウェア「MapleSim」および「MapleSim Heat Transfer Library」は 1D CAEを熱設計に適用することをサポートします。 【このような方におススメの資料です】 ◆幅...
メーカー・取り扱い企業: Maplesoft Japan株式会社
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蛍光検出器付HPLC法(公定法)による含有量の検査
豚肉や卵などの食品中にはビタミンB1(チアミン、HET)およびビタミンB2(リボフラビン)が豊富に含まれています。これらは多くの場合、リン酸エステル等の誘導体として存在しています。ビタミンB1、ビタミンB2の含有量は前処理として酵素処...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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各成分の毛髪への浸透状態を可視化
日常生活でヘアケア剤を用いていない毛髪であるヒゲを、コンディショナーもしくはトリートメントに浸し、各浸漬条件における成分の浸透状態について調査しました。 コンディショナーに浸漬したヒゲでは、シロキサンが浸漬時間と共に毛皮質まで浸透する一方、高級脂肪酸は抜けている様子が見られました。トリートメントに浸漬したヒゲでは、含窒素有機物は毛皮質には浸透せず毛小皮(キューテクル)周辺にのみ分布している様子が...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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極浅い領域においてもドーパント分布・接合の評価が可能
デバイスの微細化により、極浅い領域における不純物の深さ方向分布評価の必要性が高まっています。 正確な評価を行うためには、通常よりも低いエネルギー(1keV以下)の一次イオンビームを用いたSIMS分析が必要になります。図1にBF2+ 1keV, P+ 1keV, As+ 1keVで注入されたSiウエハを一次イオンビームエネルギー250eV~300...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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SIMS分析によりH, C, N, O, Fなどを1ppm以下まで評価…
他手法では評価が難しい半導体基板中のH,C,N,Oを1ppm(約5E16atoms/cm3)以下まで、Fを1ppb(約5E13atoms/cm3)以下の濃度まで検出可能です。実際のFZ-Si中における測定例(図1)とIII-V族半導体のバックグラウンド...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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リアルタイムPCR法(プローブ法)により、SNPの解析が可能です
リアルタイムPCR法とは、PCR反応によるDNA断片の増幅を1サイクルごとに蛍光シグナルとして検出する方法です。リアルタイムPCR法のうちプローブ法を利用するSNP(※)解析を紹介します。 レポーター(蛍光色素)とクエンチャー(消光物質)を標識した特異的な塩...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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技能試験FAPASに参加し、分析値の精度を保証しています
炭水化物を多く含む食品を120℃以上の高温で加熱調理した際に、発がん性を有する可能性のあるアクリルアミドが生成することが2002年に発表され(図1)、注目を集めています。農林水産省HP(※1)によると、アクリルアミドはじゃが...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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SIMS:二次イオン質量分析法
■極浅深さ方向分布の測定法 (1)斜入射法における深さ方向分解能の限界 斜入射法における深さ方向分解能の一次イオンエネルギー依存性をδドープ試料を用いて調査しました(図1)。斜入射法においては、クレータ底面の粗れにより深さ方向分...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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千歳営業所を拠点とし、北海道エリアのお客様へ更なるサービス向上を目指し…
千歳営業所を拠点とし、北海道エリアのお客様へ更なるサービス向上を目指します。 また東京本部(ラボ)との密接な連携で納得の品質・納期を実現します。 ご期待ください! 開所日:2024年4月11日(木) 住所:北海道千歳市柏台南1-3-1 千歳アルカディア・プラザ 160 号室 ※サンプルのご送付は、東京都世田谷区の本部宛てにお願いします。 本部住所:東京都世田...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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TEM-EELSにより、微小領域の元素同定・化学状態分析が可能です
料・触媒材料・紫外線吸収剤・光触媒などに用いられる酸化チタン(TiO2)には組成が同じで結晶構造の異なるアナターゼ型とルチル型が存在します。Si基板上に成膜した厚さ20nmの多結晶TiO2試料(写真1)について電子線プローブを約1nmΦ(FWHM)まで絞って測定を行いました。試料から取得したEELSスペクトルは、Ti, Oともにアナターゼ型TiO2の標準スペクトルと一致しています(図1, 2)。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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NMRで有機物から無機物まで、組成や分子構造を幅広く分析! 検討から…
○感度良く分析できます! ・共鳴周波数600MHz (1H) での高感度測定により、不純物レベルでの分析が可能。 ・超低温プローブを用いることで、1H で約2 倍、13C で約3 倍の感度で測定可能。 ○固体でも液体でも分析できます!多核分析もお...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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イオンクロマトグラフ法は液体試料中のイオン成分を検出する手法です
イオンクロマトグフ法(IC法)は液体クロマトグラフ法(表1)の1種に分類され、液体試料中のイオン成分を検出する手法です。 溶離液と呼ばれる移動相に液体試料を導入し、試料中のイオン成分を固定相である分離カラム内で分離させます。イオンクロマトグラフ法には...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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発光寿命からSiCのキャリアライフタイムについて知見が得られます
キャリアライフタイムとは、電子デバイスの動作の際に生じる過剰キャリアの内、少数キャリアが1/eになるまでの時間です。これを適切に制御することがデバイスの電気特性をコントロールする上で重要です。 一方、発光寿命とは試料からの発光強度が1/eになるまでの時間を示し、発光減衰曲線から算出可能...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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TEM_SEMによる有機EL_OLED_ゲート酸化膜の断面観察
低加速STEM観察により、低密度な膜でもコントラストがつきます
密度が低い膜について、高加速電圧(数百kV)では電子線の透過能が高いためにコントラストをつけることは困難ですが、低加速電圧のSEM-STEM1)像では、わずかな密度の違いを反映し、組成コントラストをはっきりつけることができます。密度差・平均質量差・組成差が小さい有機EL膜・Low-k膜・ゲート酸化膜・TEOS膜・BPSG膜などに適用できま...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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2022年4月15日(金)MST熊本営業所がオープン致しました!
熊本営業所を拠点とし、九州地区のお客様へ更なるサービス向上を目指します…
サービス向上を目指します。 貴社へ訪問してのお打ち合わせ、営業所での分析相談も可能です。 東京本部(ラボ)との密接な連携で納得の品質・納期を実現します。 ご期待ください。 開所日:2022年4月15日(金) 住所:熊本県菊池郡大津町室161-1 ステーションM 102 ※サンプルのご送付は、東京都世田谷区の本部宛てにお願いします。 本部住所:東京都世田谷区喜多見1-18-6...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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高い再現精度で評価可能
デバイスの微細化により、極浅い領域における不純物の深さ方向分布評価が必要とされています。正確な評価を行うためには、通常よりも低いエネルギー(1keV以下)の一次イオンビームを用いたSIMS分析が必要になります。今回、B+を低エネルギーでイオン注入したSiウエハを1keVの酸素イオンビームを用いて、日をまたいで、6回測定した結果から算出した...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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水溶性ビタミン5種(B1・B2・B6・B12・ナイアシン)の一斉分析
水溶性ビタミンは体への機能によって約10種類に分けられます。例えば、ビタミンB1は同じ機能を持つ複数の成分(チアミン・ヒドロキシエチルチアミンおよびその類縁体)で構成され、それらの総量で含有量が決定されます。本事例ではマルチビタミンサプ...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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固定方法の工夫により特殊な形状でも分析可能
通常、SIMS測定では数mm角で表面が平坦なチップを用いて分析を行いますが、1mm 角以下の小さなチップや特殊な形状の試料についても固定の前処理を施すことで分析が可能です。 微量成分を調べたい試料の中には、微小チップやワイヤー状試料など、通常では分析には適さない形状のものが...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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C1s波形解析を使用したsp2/(sp2+sp3)比の評価
ラファイト構造)とsp3(ダイヤモンド構造)を分離して求められるsp2/(sp2+sp3)比は、膜の特性を決定する重要な要因の一つとなります。 このsp2/(sp2+sp3)比について、XPSのC1sスペクトルを波形解析することで評価した例をご紹介します。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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ハロゲン(F、Cl、Br)、硫黄の分析が可能です
燃焼-イオンクロマトグラフ(IC)法では、プラスチックや樹脂等の固体材料や、有機溶媒等の液体材料に含有するハロゲン(F、Cl、Br)や硫黄の含有量を調査することが可能です。 図1に示す通り、サンプルを燃焼炉で燃焼分解させることにより発生したガスを吸収液に捕集します。この吸収液をイオンクロマトグラフ法で測定することで、水に溶けない固体サンプル中のハロゲンや硫黄含有量を測定する...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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機能性表示食品の販売申請を3つのステップでサポートします!
は食品中に含まれる機能性成分の分析を通して、食品のブランド化を支援するサービスを開始しました。 お客様の課題に応じて下記の3つのステップで機能性表示食品の販売申請をサポートします。 Step1:含有成分調査 ↓ Step2:商品化に向けた分析 ↓ Step3:機能性表示認定手続き...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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血液中レスベラトロールの濃度評価事例
レスベラトロールのサプリメントを摂取した被験者から血液を採取し、血液中のレスベラトロールを測定しました。その結果、レスベラトロールは摂取1時間後の血液中から検出されましたが、摂取後2時間後以降は検出されませんでした。レスベラトロールは体内で速やかに代謝される物質であると考えられます。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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・ナノスケールでの周期構造・配向性を評価可能
SAXSは、X線を物質に照射して散乱したX線のうち、2θ<10°以下の低角領域に現れるものを測定し、物質の構造を評価する分析手法です。通常、数nm~数十nm程度の大きさの構造を評価できます。 ・ナノスケールでの周期構造・配向性の評価が可能 ・微粒子や...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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サンプルについて、よくお問い合わせいただくご質問を、FAQ形式でまとめ…
加工を施したサンプルについては一部返却できないものがあります。 ◆サンプルはどこに送ればよいですか? →担当宛にお送りください。担当が不明の場合にはサンプル受付係宛てにお送りください。 〒157-0067 東京都世田谷区喜多見1-18-6 ◆サンプルを取りに来てもらうことはできますか? →日程を調整して担当者がお預かりに伺います。調整がつかない場合はご送付いただくようにお願いし...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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機械研磨を行った後低加速Arイオンビームで仕上げ加工を行うことで厚さ5…
1.貼り合わせ サンプル同士もしくは支持基板とを接着剤で貼り合わせます。 2.切断 数mmの厚みで切り出します。 3.研磨 機械研磨を行い、貼り合わせ界面が中心になるように薄くします。 4.Arイオンミリング 低加速Arイオンを照射し、薄片化を行います。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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2液性エポキシ樹脂の硬化剤成分の構造推定
2液性エポキシ樹脂は主剤と硬化剤を混合することで硬化します。1液性と異なり加熱不要で硬化するという利点から、接着剤や塗料、レジンとして広く利用されています。その定性分析において、溶媒に不溶である硬化後の樹脂は、熱分解GC/MSで主に主剤を評価できます。一方、硬...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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電池セルの作製・劣化試験・解体・劣化による状態変化の調査まで一貫評価
正極にLiCoO2、負極にグラファイト、電解液にLiPF6/EC:DECを用いて作製した電池セルを60℃の恒温槽にて4.2V充電状態で約1週間放置する劣化試験を行いました。その後、Ar雰囲気中で解体・洗浄し、負極グラファイトのTOF-SIMS分析を行いました。 試験前ではバインダおよび電解質塩由来のフラグメントが確認され、試験後では...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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FFTM法による格子像解析
st Fourier Transform Mapping法は、高分解能TEM像をフーリエ変換し、FFTパターンのスポット位置から結晶の微小な格子歪みを解析、可視化する方法です。FFTM解析により、(1)画像のx, y方向の格子歪みの解析、(2)結晶面方向の格子歪みの解析、(3)結晶面間隔分布、結晶面方位分布の解析、(4)データ分布のヒストグラム表示、(5)空間分解能5nmで0.5%の歪の検出、が...
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【分析事例】リチウムイオン電池電解液中のフッ化物イオン濃度評価
NMRを用いてフッ化物イオンの定量分析が可能です。
電池の電解液主成分であるLiPF6(六フッ化リン酸リチウム)は、水分との反応で加水分解を起こし、フッ化物イオンを発生させることが知られています。本資料では、対象化合物の標品を用いずに絶対定量が可能な19F-NMRを用いて、電解液(1M LiPF6 , EC:EMC = 3:7 v/v)の大気曝露によって生成したフッ化物イオン濃度を評価した事例を示します。 測定法:NMR 製品分野:二次電池・...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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熱分解・熱劣化等による経時変化の分析評価が可能です。
N(β-ニコチンアミドモノヌクレオチド)は長寿遺伝子とも呼ばれるサーチュイン遺伝子の働きに関与することが知られており、近年注目されている成分です。本資料ではNMNを対象として、水中での加熱処理による1H-NMRスペクトルの推移をモニタリングし、熱によるNMNの分解・変化について分析した事例を紹介します。 測定法:NMR 製品分野:バイオテクノロジ・医薬品・化粧品・食品 分析目的:組成評価・...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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茶カテキンとカフェインの濃度評価および製品比較
MSTではLC/MS/MSを用いて茶カテキンの定性・定量分析が可能です。本資料では、お茶を入れる温度・時間によるEGCGの濃度変化を観察しました(図1)。温度が高いほどEGCGの抽出効率が高く、抽出5分後までの抽出量が大きいことが分かりました。また、市販のお茶6製品に含まれる茶カテキン量を比較し、紅茶や烏龍茶よりも緑茶に多く含まれていることを確認...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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微小領域の面分析による分布の均一性評価と有機物の同定・推定
イランド状)に分布しているか均一に分布しているかの違いで異なります。そこで、TOF-SIMSを用いて、フッ素系化合物の分布の観察を行いました。その結果、不均一に分布していることがわかりました。また、1μm角の領域で定性分析を行うこと で、フッ素系膜はKrytoxであることがわかりました。 測定法:TOF-SIMS 製品分野:電子部品・日用品 分析目的:組成評価・同定・組成分布評価 ...
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Slope面出し加工された有機多層構造試料のTOF-SIMS成分分析
XPSで4層の異なる有機化合物(或いは有機金属錯体)で形成されていると推定された有機EL素子(図1)について、TOF-SIMS分析を行いました。多層構造試料についてはスパッタを併用した深さ方向分析も行われますが、今回は構成成分の結合を壊さずに測定するために、Slope面を作製して各層を露出させま...
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DSC(示差走査熱量)測定による熱物性評価
二液混合型のエポキシ樹脂について、DSC(示差走査熱量測定法)を用いて硬化温度及び耐熱性の指標となるガラス転移温度(Tg)を調査しました。硬化前の樹脂をDSC測定したところ、約103℃付近から急激な発熱反応が開始するのが確認されました(図1)。これは昇温加熱により樹脂の重合(硬化)が起きたためです。更に、硬化後の樹脂を室温まで空冷した後、再度DSC測定したところ、樹脂のガラ...
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雰囲気制御下でのGCIBを用いた有機EL層構造および劣化層の成分評価
実験には有機EL原料のルブレンを用いました。大気暴露したサンプルをTOF-SIMSで測定をした結果、ルブレンペルオキシドと推定される質量(m/z 564)や、低分子のベンゼン系の質量(m/z 77,105)が検出されました。これらの劣化に起因する成分は、表面から約1μm以上の深さにわたって存在していることを確認しました。※GCIB:Gas Cluster Ion Beam...
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1画素ごと、各層ごとに成分を同定することが可能です
今後需要が拡大する有機ELの信頼性向上のため、詳細な構造解析や状態分析、劣化原因の特定がさらに重要となります。TOF-SIMSとLC/MSを用い、層構造や材料を評価した事例をご紹介します。 TOF-SIMSにより、層構造と各層の成分情報を評価できました。TOF-SIMSで明らかになった質量Eの成分についてLC/MSおよび蛍光検出器による分析を行い、発光波長の評価と成分の構造を把握することができま...
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局所熱分析システム(Nanoscale Thermal Analysi…
試料表面の局所における、熱特性(ガラス転移,軟化温度,融解温度,膨張傾向)を測定する熱分析法です。試料表面に接地するプローブを加熱し、試料表面の温度を変化させます。図中では1. 昇温時試料膨張がはじまり、2. 転移温度に到達するまでDeflectionが変化、3. 転移温度後変化した試料へプローブの侵入を示しております。温度変化時のDeflectionをモニタリングし、...
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食品中に農薬・薬物が混入していないかを高精度に分析します
食品への異物混入事件が度々世の中を騒がせており、平成26年1月に実施された内閣府の「消費者行政の推進に関する世論調査」で最も関心が高い消費者問題は「食品の安全性」という結果となりました。 食品の安全性を担保するためにMSTでは原因調査のための精度の高い分析...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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イメージングSIMSによって局在する元素の評価が可能
NPT-IGBTエミッタ側の50μm角の領域についてイメージングSIMS測定を行いました。図1に分析によって得られた11B,Asのイオンイメージを示します。11BとAsは同じ領域に注入されていることがわかります。 また、通常の分析では検出領域全体の各元素の平均濃度が算出されてしまいますが、...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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様々な素材の繊維製品の検査が可能です
ノニルフェノールエトキシレート(NPnEO)は工業用の洗浄剤等に使用されていますが、2016年1月、欧州のREACH規制(化学物質の登録、評価、認可及び制限に関する規則)で繊維製品を対象としたNPnEOの使用制限が追加されました。今後、NPnEOを含有(0.01重量%以上)する特定の繊維...
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OPAポストカラム法により高感度かつ選択的なアミノ酸分析が可能
OPAポストカラム法は、アミノ酸をカラムで分離後に蛍光試薬OPAと反応させ、蛍光を検出する方法です(図1,2)。この方法ではニンヒドリン法に比べて高感度の分析が可能です。蛍光試薬OPAは一級アミンと選択的に反応するため、夾雑成分の影響を受けにくく選択性の高い分析が可能です。プロリンは二級アミノ酸ですが...
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薄膜の表面吸着ガス、膜中からの脱離ガスを評価可能
Si基板上SiN膜に関するTDS分析結果を示します。 100℃近傍までの低温域では脱ガスが少なく、試料の表面に吸着成分が少なかったことが分かります。 一方、試料の温度が上昇するに従い、m/z 2(H2)、m/z 18(H2O)、m/z 27(C2H3:...
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パフ表面のデジタルマイクロスコープ観察
評価しました。 デジタルマイクロスコープは光学顕微鏡と比べて被写界深度があり、顕微鏡ではピントが合わなかった凹凸の大きな対象物も正確に観察することが可能です。 市販の海外製パフ表面の観察結果を図1~4に示します。パフの表面形状とファンデーションの付き具合が確認できます。また、図5のように手の表面を直接観察することも可能です。...
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TOF-SIMSを用いてPETボトルの層ごとの成分を特定可能
PETボトルはわずかな空気(酸素)を透過するため、PETボトル内の飲料は、外部からの酸素侵入の影響を受けやすくなり、品質が劣化します。そのためにPETボトルには様々な工夫がなされており、例えば図1のように酸素吸収層をPET間に挟むことで飲料の劣化を防ぎ、おいしいさが保たれています。 本資料では、酸素吸収層がどのようなものから構成されているのかを確認するために、TOF-SIMSで分析した結果...
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複合解析により特定の有機成分の脱離について温度依存性評価が可能です
TDS(昇温脱離ガス分析法)は真空中(1E-7 Pa)で試料を昇温しながら脱離成分と脱離温度を確認できる手法です。さらに有機物を同定できるGC/MS(ガスクロマトグラフィー質量分析法)とTDSの結果を組み合わせて解析することで、真空中にお...
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真空中での有機物からの脱ガス挙動を調査可能です
置内外で接着剤や真空リーク対策として使用されています。しかし硬化後であっても加熱により脱ガスが発生する場合があり、製品や装置に悪影響を及ぼす可能性があります。TDS(昇温脱離ガス分析法)は高真空中(1E-7 Pa)で試料を昇温、または温度を保持しながら、脱ガス成分をモニターすることが可能です。以下にエポキシ樹脂についてTDSで温度保持を行い、脱ガスの挙動を調査した事例を示します。...
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ppb~pptレベルのバルク濃度を評価します
能な超高耐圧・低損失SiCパワーデバイスの開発においては低キャリア濃度の制御が必要となり、SIMS分析で極低濃度の不純物評価を行うことが有効です。 SIMS分析では多元素を同時に取得せず、不純物を1元素に限定することで極低濃度を評価することが可能です。本資料ではSiC中の不純物について従来では評価が困難であった極低濃度領域を超高感度に評価した分析事例をご紹介します。...
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TDS:昇温脱離ガス分析法
TDSは高真空中(1E-7 Pa)で試料を昇温させ、脱離したガスを検出する手法です。高真空中で試料を等速昇温するため微量な脱ガス(単原子層レベル)についても温度依存性を確認することができます。また一部の成分については脱...
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TDSにより有機膜からの脱ガス成分評価、温度依存性評価が可能です
TDSは高真空中(1E-7 Pa)で試料を昇温し、試料から脱離するガスを質量分析計を用いて調査する手法です。真空装置であるため有機物の多量の脱離を嫌いますが、試料量を調整することによりTDSで評価が可能です。 レジス...
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非晶質(ガラス)二酸化ケイ素(SiO2)のラマン散乱分光法による構造解…
学材料・医療機器から装身具に至るまで幅広く用いられていますが、非晶質であるガラスとして構造解析を行うことは非常に困難です。ガラス中でSiO2が環状に結合することに着目し、ラマン測定を行いました。(図1) 単結晶石英ではガラス状態のスペクトルとは著しく異なり、長距離秩序によるフォノンバンドが観測されます。(図2, 図3)...
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超音波顕微鏡による内部空隙の観察事例
る、貼り合わせシリコンウエハを作成する際、貼り合わせ工程において界面に局所的に空隙が発生する事があります。 300mm貼り合わせウエハ内部を超音波顕微鏡を用いて観察しました。その結果、複数箇所にて1mm~20mm程度の複数の空隙があることを確認しました。本手法によって、貼り合わせウエハ内部の密着性評価が可能となります。...
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【分析事例】燃料電池等の窒素ドープカーボン材料窒素の置換位置評価
ケミカルシフトを利用して窒素の置換位置の同定や定量的な分離が可能です
)原子を導入したカーボン材料が注目を集めており、その触媒活性にはカーボン材料中に存在するNの置換位置が大きく関わっています。XPS分析では、Nの結合状態や置換位置の違いによりケミカルシフトが生じるN1sスペクトルの評価を行うことで、Nがどの位置のCと置換されたのかの同定や定量的な分離が可能です。...
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ドーパントの活性化率に関する評価が可能
SRA(Spreading Resistance Analysis)はサンプルを斜め研磨し、その研磨面に2探針を接触させ、広がり抵抗を測定する手法です(図1)。 キャリア濃度分布を評価することで、ドーパントの活性化状況についての知見を得ることが可能です。 一例として、パッケージ開封後のダイオードチップ表面中央部と外周部(図2)についてSRAを行った...
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イメージングSIMS分析により面内分布を可視化
デバイス作成の要素の一つである膜組成の均一性と不純物の分布状態をイメージングSIMS分析により評価しました。 測定後のデータ処理により、平面イメージ(図1)・断面イメージ(図2)・任意箇所の深さ方向分布プロファイル(図3, 4)・ラインプロファイルを得ることができます。構成材料・不純物の分布から、プロセス・膜質改善に繋がる情報を得ることができます。...
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TOF-SIMS:飛行時間型二次イオン質量分析法
TOF-SIMSの深さ方向分析では平面上の位置情報(x,y)を無視すると、各深さ(z)で質量スペクトルが存在するため、深さ・質量・スペクトル強度の3次元データが得られます。この3次元データを1枚の画像として可視化したものが、MSDM(Mass Spectra Depth Mapping)表示です。...
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最表面、単原子層の水素をTDSで評価可能です
TDSは試料を昇温し、脱離したガスをイオン化して質量分析を行う手法です。高真空中(1E-7 Pa)で、質量電荷比(m/z) 2~199について分析可能です。 今回は水素終端処理を施したSiチップについて、TDS分析を実施した例をご紹介します。TDSにて、水素終端の水素の脱離を捉え...
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構造特定・結晶性・sp3性の評価
ューブ、グラフェンなどの結晶構造を持つものとダイヤモンドライクカーボン(DLC)のようにアモルファス構造のものがあります。ラマン分光法はこれらの物質の構造特定や結晶性、sp3性の評価などに有効です[1][2]。...
メーカー・取り扱い企業: 一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
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食品の内部構造をX線CTによって非破壊観察
食品の食感を科学的に評価する上で、内部の空隙は柔らかさを評価するための指標となります。 パンケーキ内部の空隙を評価するため、材料となる卵を通常量使用したパンケーキ[1]と倍量使用したパンケーキ[2]を準備し、X線CTにて内部空隙の観察を行いました。...
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TOF-SIMSによるミクロンオーダーのイメージ測定
ポリエチレン表面に分散した青色色素「Cuフタロシアニン」の分布を調べました。 TOF-SIMS分析にて、1μmの色素系有機物の分布を捉えることが可能です。...
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SXESは、物質から発光される軟X線を用いて化学結合状態を評価する手法…
トル(XAS)との同時測定によってバンド構造の評価も可能 ・バルクの情報が得られるため、表面近傍数nmの影響を受けにくい ・絶縁物に対しても帯電の影響を受けずに評価が可能 ・検出下限が低く(<1atomic%)、微量成分であっても評価が可能...
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導結合プラズマ(ICP)を励起源として用いた無機元素分析の手法です
量する場合に頻繁に用いられています。 ・高感度・低バックグラウンドな測定が可能なため、無機元素分析用装置としては最も低い含有量(ppt*あるいはサブpptレベル)を検出できます。(*:ppt:10-12g/g) ・定量分析の比較基準となる標準試料(標準溶液)の調製を柔軟に行うことができるため、不確かさの小さな結果を得ることができます。 ・周期表の多くの元素を同時に測定可能なため定性分析...
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