高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

【Lechler】レヒラー社製二流体内部/外部混合スプレーノズル

≪Lechler≫様々なデザインの二流体スプレーノズルをご用意しており…

レヒラー社製二流体微噴霧スプレーノズルは高精密な噴霧を得るために定量のエアーを使用します。 空気圧を利用して噴霧する為、粘度の高い液体の噴霧に利用される事もあります。 二流体微噴霧スプレーノズルの液体搬送システムは3通りあります。 ○サイフォン型 ○重力型 ○圧力（加圧）型 これら液体搬送の方法は必要な粒子径に応じて手動または自動で増強されます。 スプレー形状はフラット（扇形）、...

メーカー・取り扱い企業： ティックコーポレーション株式会社

超音波メガソニック洗浄装置（枚葉洗浄 / バス・タンク式洗浄）

最新の超音波洗浄はソノシスにお任せください

超音波洗浄スプレーノズル 非接触単一基板の洗浄にはシングルノズル、デュアルノズル、トリプルチャネルのいずれか、および周波数の任意の組み合わせを備えた600kHz から最大9MHzまでのメガソニックノズルがございます。 このメガソニックノズルのトランスデューサーはメガソニックを生成し流体(純水など)を通してメガソニックを基盤の表面に送り洗浄します。 メガソニック浸水型トランスデューサー 周波数が4...

メーカー・取り扱い企業： ティックコーポレーション株式会社

《ソノシス》超音波スプレーノズル

レヒラー社のノズル技術とソノシス社の超音波技術のコラボ商品

超音波スプレーノズルで形成された粒子（液滴）はピエゾ部分の振動で砕かれます。 即ち、加圧式と異なり粒子にスピードがありません。 そのため、自然に落下してしまうか、風の影響で浮遊してしまいます。 そこで空気搬送（キャリアエアー）を使用して形成された粒子を搬送させて、塗布させます。 ...通常、細かい粒子を作る場合は、加圧が必要です。 若しくは二流体という流体を2つ使用して液体を砕く方法が主...

メーカー・取り扱い企業： ティックコーポレーション株式会社

レヒラー社製高インパクトフラットスプレーノズル（トング型ノズル）

≪Lechler≫スプレー角度が鋭角な強力噴射フラット型スプレーノズル

レヒラー社製フラットジェットスプレーノズルは均一分布の噴霧を有します。 特にスプレー角度が60°までにおいてはパワフルな衝撃力が確約されます。 小流量のフラットジェットスプレーノズルは加湿や連続運転のプラント等での作業に使用されます。 流体力学の応用により、全ての用途いおいて安定でしかも均一な噴霧分布を作り出すように設計されています。 レヒラー社製フラットジェットスプレーノズルは放物線の噴...

メーカー・取り扱い企業： ティックコーポレーション株式会社

レヒラー社製フラットジェットスプレーノズル（配管押込タイプ）

≪Lechler≫配管に適切な大きさの穴に押込む簡単で安価なフラットジ…

レヒラー社製フラットジェットスプレーノズルは均一分布の噴霧を有します。 小流量のフラットジェットスプレーノズルは加湿や連続運転のプラント等での作業に使用されます。 流体力学の応用により、全ての用途いおいて安定でしかも均一な噴霧分布を作り出すように設計されています。 レヒラー社製フラットジェットスプレーノズルは放物線の噴霧分布を描きます。 このスプレーノズルは幅広い用途に使用出来るようにデザ...

メーカー・取り扱い企業： ティックコーポレーション株式会社

レヒラー社製フラットジェットスプレーノズル（扇形トング型ノズル）

≪Lechler≫フラッド（広範囲スプレー幅）スプレーノズルで目詰まり…

レヒラー社製フラットジェットスプレーノズルは均一分布の噴霧を有します。 特にスプレー角度が60°までにおいてはパワフルな衝撃力が確約されます。 小流量のフラットジェットスプレーノズルは加湿や連続運転のプラント等での作業に使用されます。 流体力学の応用により、全ての用途いおいて安定でしかも均一な噴霧分布を作り出すように設計されています。 レヒラー社製フラットジェットスプレーノズルは放物線の噴...

メーカー・取り扱い企業： ティックコーポレーション株式会社

レヒラー社製フラットジェットスプレーノズル（扇形トング型ノズル）

≪Lechler≫フラッド（広範囲スプレー幅）スプレーノズルで目詰まり…

レヒラー社製フラットジェットスプレーノズルは均一分布の噴霧を有します。 特にスプレー角度が60°までにおいてはパワフルな衝撃力が確約されます。 小流量のフラットジェットスプレーノズルは加湿や連続運転のプラント等での作業に使用されます。 流体力学の応用により、全ての用途いおいて安定でしかも均一な噴霧分布を作り出すように設計されています。 レヒラー社製フラットジェットスプレーノズルは放物線の噴...

メーカー・取り扱い企業： ティックコーポレーション株式会社