直動式ダブルアームクリーンロボット『HR71000-1500』

第3世代ガラス基板搬送対応！各種センサ装備ダブルアームクリーンロボット

『HR71000-1500』は、第3世代ガラス基板搬送対応の 直動式ダブルアームクリーンロボットです。 アーム、上下軸ともにロングストロークが可能。 基板裏面を真空吸着します。 アームはステッピングモータ仕様、旋回上下軸はサーボモータ仕様です。 【特長】 ■RS232Cによる専用コマンド制御 ■各種センサ装備 ■基板保持：基板裏面を真空吸着 ■アーム：ステッピングモー...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社