【超精密位置決めピエゾステージ】PK開口付きタイプ　XY軸

移動テーブルの中央に開口部（透過穴）を有するタイプのXY軸ステージです…

超精密位置決めピエゾステージの PK開口付きタイプXY軸ステージです。 ストロークは100/100μmから300/300μm、分解能は2/2nmから6/6nmまでの５つのラインナップからお選びいただけます。 移動テーブル中央に開口（透過穴）を有したラインナップです。レーザ透過用や顕微鏡･分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに適しています。 ■コンパクトから大開口まで 小型デ...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

【超精密位置決めピエゾステージ】PU超精密加工用タイプ　X軸

超精密切削におけるマイクロ・ナノ加工が実現！ストロークは30μmと60…

精密切削におけるナノ・マイクロ加工を実現するステージです。 工具の切り込みやワーク（加工対象物）を高速・高精度に位置制御できます。 FTS（ファストツールサーボ）としてバイトの切り込みや、ワーク（加工物）の移動に用いて精密金型加工が実現できます。 ■防塵防滴の対策 密閉構造で加工液やミスト対策を施しており、小さな切り屑などの浸入も防ぎます。 ■堅牢な本体 加工時の安定性を確保するため本体材質と...

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【超精密位置決めピエゾステージ】PSベーシックタイプ　XY軸

高速、高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。ストロークは30/3…

超精密位置決めピエゾステージのPSベーシックシリーズのXY軸ステージです。 XY軸ステージはストロークが30/30μmから500/500μmまでの製品を充実のラインアップで取り揃えております。 PSベーシックシリーズは高速、高精度位置決めで 圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速、高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。 使いやすいインターフェースが自慢で...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

【超精密位置決めピエゾステージ】PU超精密加工用タイプ　XY軸

超精密切削におけるマイクロ・ナノ加工が実現！ストロークは30μmと60…

【特長】 ○防塵・防滴対策 ○大発生力圧電素子 ○高剛性 【仕様】 ○XY軸高速駆動　PU2H60F-012U →ストローク：12/12nm →分解能：1nm →繰り返し精度：±1nm →共振周波数：3100Hz →本体サイズ：60×60×40mm ○XY軸精密位置決め　PU2L90F-030U →ストロー...

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【超精密位置決めピエゾステージ】PK開口付きタイプ　X軸

移動テーブルの中央に開口部（透過穴）を有するタイプ。顕微鏡や分析機器と…

超精密位置決めピエゾステージのPK開口付きタイプX軸ステージです。 ストローク30μmと100μmをご用意しております。 レーザ透過用や顕微鏡･分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに適しています。 ■高速、高精度スキャニング動作 圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速・高分解能・高再現性で位置決めが可能。 微小範囲においては、ステッピング...

メーカー・取り扱い企業： THKプレシジョン株式会社

【ピエゾステージ】PF対物レンズフォーカスタイプ　縦型

対物レンズの焦点調整用に専用設計したタイプです。縦型はレンズの高速応答…

超精密位置決めピエゾステージのPF対物レンズフォーカスタイプ縦型です。縦型はレンズの高速応答性を重視した高剛性仕様です。 PF対物レンズフォーカスタイプは対物レンズの焦点調整用に専用設計したタイプです。顕微鏡や観察機器、各種の検査・製造装置、レーザー加工機などに組み込みことでレンズの焦点調整の高速化や高精度化が実現します。 各メーカのレボルバおよび対物レンズに対応できるよう、数種類のねじサイズを用...

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