組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

【加工事例】白色干渉顕微鏡による加工面の測定

PRmm単位を超える広い面内測定範囲！多結晶セラミックスとSiC単結晶の測…

当社で新たに導入した、白色干渉顕微鏡による加工面の測定事例をご紹介します。 白色干渉顕微鏡は、光の干渉現象を利用して「表面形状」を計測、解析する 顕微鏡。測定対象材質を問わず、3D計測で面粗さ・線粗さに対応します。 多結晶セラミックスのワイヤースライス面からポリシング面の測定では、 スライス面Sa 0.8446 μm、ラッピング面Sa 0.2506 μm、ポリシング面 Sa 0....

メーカー・取り扱い企業： 株式会社新興製作所

G-TRANシリーズ　SAU圧力センサユニット

圧力基準はゲージ圧対応で、大気圧を精度よく測定可能【アルバック／ULV…

ージ圧：-100kPa ～ 10kPa）を精度よく測定可能な半導体型薄膜素子採用の圧力センサユニットになります。 高真空下での連続運転にも対応可能となり、また内表面の材質は、耐食性に富んだSUS316Lを採用しております。 【仕様】 ○圧力基準　ゲージ圧 ○測定圧力範囲　-100 ～ 10kPa（ゲージ圧） ○測定精度　±3％ F.S. ○温度特性　ZERO ±0.2％ F.S./...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.