オープンクリーンベンチ KOACH C 900-F　興研

■局所クリーン化の決定版■クリーンベンチのように周りを囲う必要なし■囲…

オープンクリーンベンチ 「KOACH C 900-F」（FERENA搭載）　　　　 清浄度：ISOクラス1／全換気時間：105秒 局所クリーン化の決定版です。 テーブル上の作業エリアをクリーン化したい場合に適しており、並び作業、対面作業も可能です。 従来のクリーンベンチのように周りを囲う必要がないので作業性に優れています。 ・ 手間やコストのかかる工事などは一切不要 ・...

メーカー・取り扱い企業： 泉州機工株式会社

SSY-10000

ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハ対応　卓上ローダーシ…

○被搬送物 ～100mmウェーハ (ガラス, サファイア, SiC, GaN, 等) ○動作範囲 ワーク中心到達距離 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 225mm 360度 150mm ○搬送速度 （平均速度） アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 225mm/sec 500度/sec 200mm/sec ○搬送速度 （最高速度） アー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

TSVCR3060N（2インチウェーハ搬送）

真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。

よるラフガイド方式 機械構造形式 円筒座標型 制御軸 3軸 モータタイプ エンコーダ付き2相パルスモータ 動作範囲 アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) ±119mm 360度 20mm 搬送速度 アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 230mm/sec 450度/sec 40mm/sec 繰り返し精度 ±0.1mm以内 クリーン対策 磁性流...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

TSCR3060N（2インチウェーハ搬送）

搬送部の小型化に寄与します。

真空吸着保持方式 機械構造形式 円筒座標型 制御軸 3軸 モータタイプ エンコーダ付き2相パルスモータ 動作範囲 アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) ±119mm 360度 135mm 搬送速度 アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸) 230mm/sec 450度/sec 170mm/sec 繰り返し精度 ±0.1mm以内 クリーン度 IS...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル