【事例集】レーザー干渉式リニア変位センサによるQA＆QC

PRナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５…

attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。 さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。 小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。 位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。 回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本レーザー

大型ガントリー式 同時5軸マシニングセンタ『G800-TR』

PR航空業界での実績多数！エンジンケース等の大型部品やアルミ合金・チタン合…

大型ガントリー式 同時5軸マシニングセンタ『G800-TR』、航空機部品・金型及び一般産業部品加工用に開発された 大型ガントリー式同時5軸マシニングセンタです。 高トルクタイプの主軸を搭載してており、容易にチタン合金・ニッケル系合金・アルミ合金部品など、難削材加工も容易に。 大型のエンジンケースやエンジンブレードなども容易に加工でき、航空業界での導入実績が多数存在します。 また、安定した5軸同時...

メーカー・取り扱い企業： 東台精機ジャパン株式会社

SSY-11000

450mmウェーハ搬送システム

450mmウェーハの高速搬送に使用できます。 走行軸使用により、カセットのポート数に応じたストロークでご提案します。 ACサーボモータを採用し、動作軌跡最適化により高速、高精度に搬送します。 ベルヌーイチャックの搭載可能（オプション）。 Z軸 (昇降軸) 500mmまで対応可能。 走行軸を採用し、高速で4FOUP（450mmウェーハ）へアクセス可能 可搬重量：アーム第3関節換算5k...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

SAL2041（エッジグリップ仕様）

ウェーハ用アライナ

半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応 小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現 小径ウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします...被搬送物 100.4mmサファイヤウェーハ（第1オリフラのみ仕様）/厚み 1mm以下（反り無し） 位置決め時間 オリフラサーチ 5秒以内（持ち直し無の場合） 位置決め精度 センタリング：±0.2m...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル