【CO2・温湿度・PM・VOC】多彩な測定項目【CD2シリーズ】

PR『CO2や空気中に含まれる見えない粒子』を数値化してみませんか？クリー…

VERIS社製『CD2シリーズ』は、ダクトやチャンバー内の 計測や制御に使用される 多項目測定CO2 センサです。 非分散型赤外線方式（NDIR）により、高精度で長期安定性に優れた計測を行います。 また、特許取得の自己校正機能により、ドリフトの補正を自動的に行い、 長期間のメンテナンスフリーを実現します。 当シリーズでは、CO2、温度、湿度、VOC、PM を組み合わせた型式をご用意しております...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パーソンズエンジニアリング

T型真空計『NMT-2000-01/02/05』

PR豊富な機能・計測画面を有したタッチパネル式卓上型の製品をご紹介！

『NMT-2000-01/02/05』は、中真空領域(1.0×10^-1～2.0×10^3Pa)が 測定可能な気体の熱伝導を利用した熱伝導式の真空計です。 表示画面は読み取りやすいタッチパネルTFTカラーLCD表示。 画面をアナログ表示、トレンドグラフ表示などへ切替可能。 計測値はメモリーカードへ保存でき、PCへも接続ができます。 乾電池でも駆動するため電源がとれない場所でもご使...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社岡野製作所

【資料】Cu/Moエッチング液 SDM ver.70

Cu/Mo膜をエッチングすることが可能な薬液をご紹介します！

当資料は、「Cu/Moエッチング液」のSDMをご紹介している、 バージョン70です。 「PESENG基板 実験条件 概要」では、今回の試作内容が、T角が40(±10)、 CDロスは0.9～1.1(±0.1)であることを掲載。また、ETは100secです。 Cuが0ppmの場合は、CD上が1.70μm、CD下が0.99μm、T角が40度。 Cu15kppmまでの全...

メーカー・取り扱い企業： パナソニック環境エンジニアリング株式会社 本社

【資料】Cu/Moエッチング液 SDM ver.69

Cu/Mo膜をエッチングすることが可能な薬液をご紹介します！

は、「Cu/Moエッチング液」のSDMをご紹介している、 バージョン69です。 「PESENG基板 実験条件 概要」では、膜構成がCu/Moで、膜厚は560/25、 T角は45(±10)、CDロスは1.0～1.2(±0.1)であることを掲載。 また、評価試験として、Cu0から15kppmの断面図や、CD上/CD下/T角の 結果を表でご紹介しております。 【掲載内容】 ■薬...

メーカー・取り扱い企業： パナソニック環境エンジニアリング株式会社 本社