フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

Enovasense Field Sensor

PR高速な不透明膜の厚みマッピング、内部欠陥のエリア検出が可能なレーザーフ…

フランスのEnovasense社のセンサは、レーザフォトサーマル技術を使用した 高性能なセンサで、非接触で不透明体の厚みを測定できます。 本新製品は、従来のシングルポイントセンサと異なり、約１１万点を同時に測定できるエリアセンサです。 不透明体の厚みマッピングだけでなく、表面層下の欠陥、欠け、剥がれの有無を検知できます。 ■特長 　・非接触で下記が測定できます。 　　　☆不透明体の厚みマッピング...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

撚り線(ストランド)コイル

撚り線以外もさまざまな形状が可能！真空装置に使われている産業・医療用コ…

岳石電気は常にお客様の「本当の狙い」「最終的な目的」を理解し、ご要望に 合わせた製造・開発を行ってきました。 「撚り線(ストランド)コイル」は真空スパッタ装置、成膜装置(PVD・CVD)等に 使われている製品で、撚り線以外もさまざまな形状が可能。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【その他のコイル】 ■センサ・分析機器用コイル ■特殊光源用コイル ...

メーカー・取り扱い企業： 岳石電気株式会社