• 半導体製造工程を効率化する質量分析計 『infiTOF』 製品画像

    PR半導体成膜工程の反応を正確かつ迅速に、リアルタイムでモニタリングが可能…

    近年、集積度の向上に伴い、プロセスガス種類の増加ならびに緻密な制御が必要とされ、工程が複雑化しています。以前は問題にならなかった反応のメカニズム、たとえば、微量の不純物、副生成物が近年は問題視されるようになってきました。 予期せぬ物質の生成、ぼんやりしていた物質、反応の不安定要因を、高分解能によって精度良くモニタリングできるのが、質量分析計『infiTOF』です。 【特徴】 ■ 歩留...(つづきを見る

  • デジタルマルチメータ『GDM-9060/9061』 製品画像

    PR電圧・電流・抵抗・温度など12種類の基本測定機能を搭載。開発・設計から…

    『GDM-9060/9061』は、1,200,000カウントの6・1/2桁デジタルマルチメータです。 デュアルディスプレイ機能により、入力信号の2つの測定値を同時に表示可能。 電圧・電流・抵抗・温度・周波数・キャパシタンスなどの基本機能と 豊富な演算機能を使用することで、効率的かつ効果的な測定ができます。 インターフェースはUSB・LAN・RS-232Cを標準装備。 購入後もスロ...(つづきを見る

  • ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズ 製品画像カタログあり

    CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。…

    LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低...(つづきを見る

  • ULVAC DIGEST 真空関連機器 総合カタログ 製品画像カタログあり

    無料プレゼント中!真空ポンプやクライオポンプなどを紹介しています。【ア…

    ータ ○リークディテクタ ○電源 ○膜厚・蒸着速度制御 ○真空機器構成部品 ○分子間相互作用解析装置/ソフトウェア/真空搬送系 ○スパッタリング装置 ○蒸着装置/巻取式蒸着装置 ○CVD装置/イオン注入装置 ○アッシング装置/自然酸化膜除去装置  エッチング装置/巻取式スパッタリング装置 ○研究開発用装置 ○分析装置 ○凍結真空乾燥装置 ○真空炉/真空蒸留装置/自動ヘ...(つづきを見る

  • 油回転真空ポンプ VDシリーズ Ver.C 製品画像カタログあり

    強制給油方式採用!幅広い用途でご利用いただける真空ポンプです。【アルバ…

    VDシリーズ Ver.Cは、ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モータを搭載した油回転真空ポンプです。 2段式ベーン型で到達圧力が良く、最適化設計による低騒音化を実現し、幅広い用途でご利用いただける真空ポンプです。 200~240V/380~460Vまでの幅広い電圧を1台のモータ で対応可能。 大気圧付近でも排気速度が安定し、大気⇔真空の繰り返し連続運転などに最適なポンプです。 ...(つづきを見る

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