チェックしたものをまとめて:

  • カタログあり

    半導体装置に最も適した材料!様々な用途で発揮されるソリッド SiC

    ソリッド SiCは、CVD法により製造される超高純度CVD-SiC製品群であり、高強度・耐熱性・耐プラズマ性・耐薬品性に優れており、半導体に最も適した材料と信頼されています。 ソリッド SiCは、東海カーボン独自のCVD...(つづきを見る

  • グラフェン開発用小型熱CVD 装置 SFCV シリーズカタログあり

    大学・研究機関でグラフェンなど炭化水素系化合物での各種材料開発に適した…

    少量・小サイズのテストピースが簡単な操作で作れるように小型化し、 同時に大幅なコストダウンを実現しました。 また、従来小型では困難とされてきた5~100Pa での圧力コントロール機能を備え、 より多様な処理パターンに対応可能としました。 さらに炭化水素系の可燃性ガスに対しては、警報検出による機器停止、 大気放出ガス希釈ユニットなどの安全装置を備えています。 詳しくは、カタログをダウンロ...(つづきを見る

  • カタログあり

    金型部品・精密加工部品「高精度CVD絞りパンチ(超硬合金G3)」 ※製…

    「高精度CVD絞りパンチ(超硬合金G3)」は、耐久性・精度・安全性を考慮し、トータルコスト削減に貢献した金型部品・精密加工部品です。 【精密加工部品の製作事例(一部を紹介)】 ■プレス金型用部品 ■鍛...(つづきを見る

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    金型部品・精密加工部品「焼嵌めCVD絞りダイ(超硬合金G4+SNCM4…

    「焼嵌めCVD絞りダイ(超硬合金G4+SNCM439)」は、耐久性・精度・安全性を考慮し、トータルコスト削減に貢献した金型部品・精密加工部品です。 【精密加工部品の製作事例(一部を紹介)】 ■プレス金型...(つづきを見る

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    CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。…

    LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低...(つづきを見る

  • プラズマCVD NEO-Cコーティングの製品画像ですカタログあり

    プラズマCVD法により、複雑形状の製品や内径内面へ密着力の優れたDLC…

    「プラズマCVD NEO-Cコーティング」は、真空中で得られる低柵プラズマを利用して種々の製品にトライボロジー特性に優れたDLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜を高い密着力でコーティングします。 処理後の製品で...(つづきを見る

  • 半導体フォーミング金型(セルテスDLC)カタログあり

    PVDとプラズマCVDのハイブリッドプロセスによるDLCコーティングで…

    半導体フォーミング金型用セルテスDLCコーティングは、PVDとプラズマCVDのハイブリッドプロセスによる新しいDLC(ダイヤモンドライクカーボン)コーティングです。複合多層膜の採用により、従来のDLCと比較して密着力にすぐれ、厚膜(~ 5μm)が可能なため、抜群の耐久性を...(つづきを見る

  • カタログあり

    エッチング、スパッタ、CVDなどの排気ラインに高真空L型バルブ

    くて排気時間も短縮可能。 ○重金属汚染が少ない: →Ni (ニッケル)、Cr(クロム)などの重金属を含まないため、  ウエハなどワークへの重金属汚染が減少。 ○用途:エッチング、スパッタ、CVDなどの排気ライン ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。 ...(つづきを見る

  • カタログあり

    金型標準部品コーティングの各プロセスの特長などをご紹介!

    『金型標準部品コーティング』では、 コーティングの特性や概要などについて ご紹介しています。 CVD(化学蒸着)プロセスは、 1000℃の高温雰囲気中にガスを充満し 化学反応させるため、品物全周に均一にコーティングされるので、 複雑形状品にも適用可能です。 PVD(物理蒸着)プロセスは...(つづきを見る

  • パルスレーザパルス蒸着システムの製品画像ですカタログあり

    パルスレーザパルス蒸着システム

    AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着(PVD)法と化学気相蒸着(CVD)法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD(パルスレーザ蒸着)装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 *...(つづきを見る

  • カタログあり

    強制給油方式採用!幅広い用途でご利用いただける真空ポンプです。【アルバ…

    VDシリーズ Ver.Cは、ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モータを搭載した油回転真空ポンプです。 2段式ベーン型で到達圧力が良く、最適化設計による低騒音化を実現し、幅広い用途でご利用いただける真空ポンプです。 200~240V/380~460Vまでの幅広い電圧を1台のモータ で対応可能。 大気圧付近でも排気速度が安定し、大気⇔真空の繰り返し連続運転などに最適なポンプです。 ...(つづきを見る

  • コスモ・サイエンスの真空設計・製造技術の製品画像ですカタログあり

    重ね合わせ装置やシール剤塗布装置と窒素置換容器、特型GBの設計・制作

    半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、CVD装置等の成膜装置の設計・製作を行っております。装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な体制となっております。排気セット等のユニット単位での設計製作も行っております。また、各種実験補助設備の設計や真空設計の応用に豊富な経験があり、仕様検討の段階よりお手伝いさせていただきます。...【製品】 蒸着膜形成装置 ...(つづきを見る

  • 真空対応PZTアクチュエータの製品画像ですカタログあり

    真空対応PZTアクチュエータ。アウトガスの発生がほとんどない

    当社の真空対応ピエゾアクチュエータは、化学蒸着法(CVD)による絶縁・防湿コーティングを使用しています。無酸素状態での対放射線性に優れ、アウトガスの発生がほとんどありません。低〜超高真空の各種装置で対応が可能です。 ■特長 ・低電圧で変位量が大きい ・エネルギー変換効率が大きい ・広い温度範囲で使用できる ・真空状態でのアウトガスの発生が少ない ・小型・軽量 ◆◇◆◇◆◇◆◇...(つづきを見る

  • ガス配管製作の製品画像ですカタログあり

    ガス配管製作

    自動溶接作業は、クラス10,000相当のクリーンルームにて行っております。 製品完成後は洗浄工程を通り、減圧脱気梱包を施したものを納品させて頂きます。 【他に・・・】 ◆半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、CVD装置等の成膜装置の  設計・製作を行っております。 ◆真空装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な  体制となっており...(つづきを見る

  • 真空配管、粗引配管設計及び制作の製品画像ですカタログあり

    真空配管、粗引配管設計及び制作

    真空配管にて重要な欠陥であるフランジ部のキズなど、出荷前の外観検査にて除去し、 リークテストは全数実施しています。製品完成後は洗浄工程を通り、 減圧脱気梱包を施したものを納品させて頂きます。 【他に・・・】 ◆半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、CVD装置等の成膜装置の設計・製作を  行っております。 ◆装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでの...(つづきを見る

  • カタログあり

    あらゆるプロセスに対応する高耐久ドライ真空ポンプ!プロセス性能に特化

    ドライ真空ポンプです。 耐デポ性能に優れた縦型スクリューを採用し、構造材料や温度設定による 高い耐食性を発揮します。 【ハーシュプロセス対応例】 ■Metal-Etch ■SA-CVD ■Metal-CVD ■PE-CVD ■LP-CVD ■ALD ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...(つづきを見る

  • 光学用のボールレンズの全面コートの製品画像です

    光学用のボールレンズの全面コート

    も小さくて扱いが難しいのでボール全面にコーティングするのにはハイレベルな技術がないとできません。また、全面コーティングのため膜厚はムラがありません。 コーティングはPVD(物理気相成長法)とCVD(化学気相成長法)を使用しています。光通信で使用される波長帯は830−850nm, 850-1300nm, 1270-1310nm, 1500-1600nmが主流となっています。 全面コ...(つづきを見る

  • カタログあり

    30年に渡り製造されてきた鋳抜ピン

    【取扱いコーティング】 ■窒化処理 ■窒化PVDコーティング ■PVDコーティング ■CVDコーティング ■PCVDコーティング ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。...(つづきを見る

  • セルテスDLCコーティングの製品画像ですカタログあり

    従来よりも密着力・耐摩耗性に優れる複合多層DLCコーティングが登場!摺…

    セルテスDLCは、プラズマブースタースパッタリング(PBS)とプラズマCVDのハイブリッドプロセスによる新世代複合多層DLCコーティングです。新プラズマ源の採用により、これまでより低温(180℃以下)で成膜でき、金型・部品の耐久寿命も従来DLCと比較して飛躍的に向上します...(つづきを見る

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    1,000w/mkの驚異の熱伝導!銅の3倍の熱伝導特性を有した高熱伝導…

    『TC-1050ALY』は、当社のCVD技術を駆使して製造した、優れた高熱 伝導材料であるTPGと色々な材料を複合化したユニークな製品です。 銅の3倍の熱伝導特性を保有しており、アルミよりも軽量。 色々なサイズ・形状に対応可能...(つづきを見る

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    低コスト化と生産性向上の最適なソリューションをご提案!

    【金型向けコーティングラインアップ】 ■PVD  ・膜種:Ionbond 90 Concept ■PVD  ・膜種:Ionbond 35 CrWN ■PACVD  ・膜種:Ionbond 42 Cr+CrN+a-C:H ■CVD  ・膜種:Bernex 29 AI2O3 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...(つづきを見る

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    各種産業機械部品に関する特長や利点などを詳しく解説!

    【産業機械向けコーティングラインアップ】 ■PVD窒化膜 ・硬度 HV0.05:2000-3500 ■PVD炭素膜 ・硬度 HV0.05:1200-5000 ■PVD/PACVD ・硬度 HV0.05:1200-2800 ■CVD ・硬度 HV0.05:2000-4000 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...(つづきを見る

  • マルチチャンバー型・窒化物対応<サンプル対応可>

    半導体・FPD・MEMS・先端表面実装などの各分野で活躍しています。 スパッタ・熱処理・エッチング室をご要望に合わせて取り付けます。 また、蒸着・CVD等の複合成膜にも対応しております。 <基本装備> ・カセット室 ・ロボット搬送 ・処理室:3~5室 <その他> ・UHV ...(つづきを見る

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    1,000w/mkの驚異の熱伝導!銅の3倍の熱伝導特性を有した高熱伝導…

    『TC-1050ALY』は、当社のCVD技術を駆使して製造した、優れた高熱 伝導材料であるTPGと色々な材料を複合化したユニークな製品です。 銅の3倍の熱伝導特性を保有しており、アルミよりも軽量。 色々なサイズ・形状に対応可能...(つづきを見る

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    ガラスレンズ型の製造・販売からエンジニアリングサービスまで

    株式会社東海エンジニアリングサービスは、主にガラスレンズ型の製造・販売 を行っている会社です。 「CVD-SiC」や「ファインセラミックス」等のセラミックス材料や、 ガラス成形用金型、エンジニアリングサービスを取り扱っております。 各種非球面レンズ、赤外線用レンズ成形の試作も行っております。...(つづきを見る

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    表面分析用チャンバーや蒸着用チャンバーのご紹介

    【使用例】 ■MBE装置 ■CVD装置 ■有機材料成膜装置 ■分析装置  他 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...(つづきを見る

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    各種熱処理用パーツの加工などに対応!先端産業向けに広く貢献しております…

    【加工部品】 ■シリコン単結晶、多結晶用引揚炉用部品 →ヒーター・坩堝・カーボン断熱材  カーボンフェルト・C/Cコンポジット部品 他各種部品 ■プラズマCVD用部品 【特殊炭素製品ラインナップ】 ○半導体向け ○熱処理用 ○溶解炉用 ○ガラス向け ○冶金向け ○歯科用 ○ホットプレス ○燃料電池向け ○電解用 ○放電加工用 ...(つづきを見る

  • カタログあり

    1,000w/mkの驚異の熱伝導!銅の3倍の熱伝導特性を有した高熱伝導…

    『TC-1050ALY』は、当社のCVD技術を駆使して製造した、優れた高熱 伝導材料であるTPGと色々な材料を複合化したユニークな製品です。 銅の3倍の熱伝導特性を保有しており、アルミよりも軽量。 色々なサイズ・形状に対応可能...(つづきを見る

  • カタログあり

    真空装置のサポート・真空プロセス製品を広くご紹介しております。

    ッタリングカソード ○短形スパッタリングカソード ○シリンダー型スパッタリングカソード ○スパッタ用各種ターゲット ○高インパルススパッタ電源 ○アークプラズマ用パルス電源 ○プラズマCVD用パルス電源 ○メンテナンス ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...(つづきを見る

  • カタログあり

    無料プレゼント中!真空ポンプやクライオポンプなどを紹介しています。【ア…

    ータ ○リークディテクタ ○電源 ○膜厚・蒸着速度制御 ○真空機器構成部品 ○分子間相互作用解析装置/ソフトウェア/真空搬送系 ○スパッタリング装置 ○蒸着装置/巻取式蒸着装置 ○CVD装置/イオン注入装置 ○アッシング装置/自然酸化膜除去装置  エッチング装置/巻取式スパッタリング装置 ○研究開発用装置 ○分析装置 ○凍結真空乾燥装置 ○真空炉/真空蒸留装置/自動ヘ...(つづきを見る

  • 窒化・バイメタリック可能…射出成型機用シリンダーの製品画像ですカタログあり

    窒化・バイメタリック可能 お客様の求める仕様・条件に合わせて…

    でなく、スクリュー、スクリューヘッド、チェックリング、シートリングなどの関連部品は、厳しい摩耗条件下にありながら、耐コンタミ性、耐食性を要求されます。TiN(窒化チタン)などのPVD(物理蒸着)、CVD(化学蒸着)、ラジカル窒化との複合処理等、セラミックコーティングは、先端部品の耐摩耗性を維持しながら、大幅なコンタミ低減をはかります。 何でもお気軽にお問い合わせください! クイック見積り...(つづきを見る

  • 高温サセプター用非接触ピンセットの製品画像です

    高温のサセプターからウエハを非接触にて取り出す耐熱仕様のピンセット

    CVD装置による半導体ウエハのエピタキシャル成膜後のサセプター上の高温ウエハを、気体を噴出することにより非接触によりウエハを懸垂保持し搬送する「フロートチャック」に手動バルブの付いた取っ手を装着し、ピンセットのようにハンドルを持つ手によるバルブ操作により気体供給のON−OFFを行い、高温のサセプターからウエハを非接触にて取り出す耐熱仕様の「非接触ピンセット」。...気体を噴出することにより非接触に...(つづきを見る

  • DLCコーティングカタログあり

    あらゆる用途で信頼性が高い、スタンダードDLC

    ・長尺物、重量物に対応します。  最大処理寸法:φ750×1,200mm  最大重量:360kg ・ラジカル窒化との複合処理も可能です。 ・材料手配、加工、表面処理、検査までの一貫加工も承ります。...DLCとはダイヤモンドライクカーボンの略であり、ダイヤモンドと似た物性をもつカーボン膜のことです。次世代コーティング膜として、各方面のユーザー様から評価していただいています。 弊社DLCは...(つづきを見る

  • セルテス 低温PVDコーティング加工の製品画像ですカタログあり

    低温処理で安定した密着性コーティング!200℃以下の低温処理が可能

    ■低温処理で安定した密着性(200℃以下の低温処理が可能なためSCM浸炭鋼やSKS、SUJ鋼にも母材硬度低下なしに密着力にすぐれたコーティングが可能 ■高精度コーティングが可能(膜厚精度と再現性にすぐれるため公差の厳しい精密部品に適用可能) ■アークIPのようなドロップレットがなく表面が平滑(相手材への攻撃性が低く良好なトライボロジー特性)...特殊スパッタリングおよびプラズマCVDプ...(つづきを見る

  • 真空蒸着システム PECVDの製品画像ですカタログあり

    薄膜蒸着における低い工程温度

    高純度フィルムの形成が可能な、真空蒸着システム...プラズマを利用したCVDで、source gas などで分解させ、そこで発生する グロー放電を利用する薄膜合成法です。 Glow discharge を起こさせるために、0〜13.56MHzの多様な周波数領域の powerを利用します。 ■□■メリット■□■ ■高純度フィルムの形成が可能 ■Source Gas によって多...(つづきを見る

  • アルマイト再生の製品画像です

    アルマイト再生

    CVD、エッチャー装置部品のアルマイト再生をお受けいたします。 当社のアルマイト再生は、ガス穴径を大きくすることなく作業いたします。 その結果数回のアルマイト再生が可能となり、部品のロングライフ化を実現しました。...(つづきを見る

  • ビューポートシャッター SFシリーズの製品画像ですカタログあり

    ビューポートシャッター SFシリーズ

    蒸着、スパッタ、MBE、CVDなどの成膜プロセス 有機ガスを含むプロセス中で問題となるビューポートへの成膜やダメージを防止 【特徴】 ○コンフラットフランジ仕様により、MBE装置等  各種超高真空装置に使用可能 ...(つづきを見る

  • カタログあり

    プレミアムタイプ NW80-250 ボルト締め不要の簡単装着・脱着で人…

    シール、メタルシール両対応 ●極低温対応 ●350℃までのベーキングに対応 ●真空10-9Pa台まで使用可能 ●加圧10MPaまで使用可能 ●ステンレスタイプは食品・飲料用にも好適 ●CVD、超高真空、加速器、LPG、LNGガス等の用途に ◆◇◆詳細は資料請求、またはカタログをご覧下さい◆◇◆...(つづきを見る

  • BALINIT® LUMENAカタログあり

    フォーミングの生産性を向上

    BALINIT® LUMENAの特徴 ー高硬度 ー低残留応力 ー高い耐摩耗性 ー高い耐熱性・耐薬品性 ー摩擦係数を低減 ー厚保膜を実現(CVDと同程度)...(つづきを見る

  • 【無料贈呈】アルバック・クライオのポンプ総合カタログ!

    【特長】 ◆スパッタ装置用に排気速度可変型のポンプ ◆エッチング、CVD装置などのために耐食性のポンプ ◆極高真空用にベーカブルタイプ ◆分析機器、実験装置などのために防振型 ◆スペースの節約のために、高さをつめたL型ポンプや、1台のコンプレッサーで複数のポンプ...(つづきを見る

  • カタログあり

    セトラ社 モデル522汎用圧力センサは、優れた安定性と高精度を必要とす…

    セトラシステムのモデル522汎用圧力トランスデューサーは、優れた安定性と高精度を必要とするOEM産業用アプリケーション向けに設計されています。 モデル522のCVDひずみゲージの設計は、長期間の使用による圧力サイクルや熱影響に対して安定して使用出来ます。この長期に渡る安定性は年間0.2%未満の低ドリフトを実現し、高い信頼性をユーザに保証します。すべての接液部...(つづきを見る

  • カタログあり

    真空配管から加速器及び電子・物理工学関連装置など高品質コンポーネントを…

    アユミ工業は、真空装置から加速器及び電子・ 物理工学関連装置など 高品質コンポーネンツを生産しています。 真空封止装置、液晶注入装置及び陽極接合装置等を代表的製品とする 真空装置と、 半導体用自動化省力化装置を始めとする産業用機器および 真空関連部品、 大型放射光施設向け各種真空コンポーネントをそろえています。 標準の装置以外にもお客様のニーズに併せたさまざまな真空装置の設計、 製作...(つづきを見る

  • カタログあり

    世界中で愛されるフロー、プレッシャ、レベル計測製品を掲載した総合カタロ…

    、面積流量計、圧力・真空製品を豊富なラインアップでご紹介しています。 【掲載製品の一例】 ■サーマルマスフローコントローラ/メーター GF40 / GF80シリーズ →ソーラー薄膜生成、CVD、その他工業用気体流量制御用途に最適 →エラストマまたはメタルシール →1秒台の高速セトリングタイム ■ガラス管面積式流量計 ショーレート流量計 1350/1355 →堅牢で高耐久性 →...(つづきを見る

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    半導体プロセスで使用される多くの種類のガスを安全に処理する為に最適!

    【特長】 [Atlas-TPU] ○最大処理流量の増大 ○除害性能の向上 [Atlas-Kronis] ○Low-k CVDプロセスからのプロセス排気を効果的に処理するよう特別に設計 [Atlas-Helios] ○有毒、自燃性、および腐蝕性ガスの高い処理性能を発揮 ○水素の安全限界への制御下の酸化/完全な酸化 ...(つづきを見る

  • カタログあり

    高品質・低価格!納期を2週間以上頂ければ、最大57%OFF

    【特徴】 ○各種表面処理も対応 →ご要望に応じ適切なコーティングを選定 ○PVD、PCVDコーティング、TD処理、DLC処理離型性を高めるため  縦磨きも必要であれば対応 ○高品質・低価格 ○納期と本数次第で、さらなるコストダウン可能 ○スリーブピンの内径加工が主だったガンドリ...(つづきを見る

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