• 次世代コーティング技術『FUPC処理』【密着性と熱歪みを克服!】 製品画像

    PR密着強度の不満・熱歪みに伴う寸法精度の限界を解決します!高品質でコスト…

    CVD処理とPVD処理の弱点を解消し、コーティングの常識を変えた フジタ技研のオリジナル技術『FUPC処理』。 自社開発の処理装置による独自のプロセスにより、CVD処理特有の熱歪みにともなう寸法変化を極力抑制し、同時にPVD処理では不可能だった強力な密着性を実現しています。 【特徴】 ■TiNの欠点である低硬度を改良してTiCに近い硬度を持たせたコーティング ■FUPC-TiCN膜よ...(つづきを見る

  • 真空用高温ヒータ、静電チャックおよび耐熱衝撃セラミックス 製品画像

    PRSiCおよびGaN製パワー半導体製造プロセスに対応。高温、真空、腐食性…

    更なる省エネルギー化やEVなどに不可欠なパワー半導体。 そのパワー半導体の製造プロセスに不可欠な機能部品は高温で腐食性雰囲気に耐える、 不純物を含まないなど厳しい条件を満足する必要があります。 モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズのCVD技術によるTaC部品、ヒータ、静電チャック、 PBN部品は高い耐熱性や耐腐食性を有し、他製品では実現が難しい急速昇降温・超高温を容易に実現できま...(つづきを見る

  • 精密加工部品「高精度CVD絞りパンチ(超硬合金G3)」 製品画像カタログあり

    金型部品・精密加工部品「高精度CVD絞りパンチ(超硬合金G3)」 ※製…

    「高精度CVD絞りパンチ(超硬合金G3)」は、耐久性・精度・安全性を考慮し、トータルコスト削減に貢献した金型部品・精密加工部品です。 【精密加工部品の製作事例(一部を紹介)】 ■プレス金型用部品 ■鍛...(つづきを見る

  • 成膜装置『CAT-CVD装置』 製品画像カタログあり

    100℃以下の低温での膜形成が可能!太陽電池の製造を目的とした成膜装置

    『CAT-CVD装置』は、太陽電池の製造を目的とした成膜装置です。 CVD(触媒化学気相堆積法)は原料ガスを加熱触媒体線に吹き付け、 接触分解反応により低温成膜が可能。 原料ガスと触媒体線材料の選定...(つづきを見る

  • 超高純度CVD-SiC「ソリッド SiC」 製品画像カタログあり

    半導体装置に最も適した材料!様々な用途で発揮されるソリッド SiC

    ソリッド SiCは、CVD法により製造される超高純度CVD-SiC製品群であり、高強度・耐熱性・耐プラズマ性・耐薬品性に優れており、半導体に最も適した材料と信頼されています。 ソリッド SiCは、東海カーボン独自のCVD...(つづきを見る

  • 精密加工部品 焼嵌めCVD絞りダイ 超硬合金G4+SNCM439 製品画像カタログあり

    金型部品・精密加工部品「焼嵌めCVD絞りダイ(超硬合金G4+SNCM4…

    「焼嵌めCVD絞りダイ(超硬合金G4+SNCM439)」は、耐久性・精度・安全性を考慮し、トータルコスト削減に貢献した金型部品・精密加工部品です。 【精密加工部品の製作事例(一部を紹介)】 ■プレス金型...(つづきを見る

  • グラフェン開発用小型熱CVD装置 SFCVシリーズ 製品画像カタログあり

    大学・研究機関でグラフェンなど炭化水素系化合物での各種材料開発に適した…

    少量・小サイズのテストピースが簡単な操作で作れるように小型化し、 同時に大幅なコストダウンを実現しました。 また、従来小型では困難とされてきた5~100Pa での圧力コントロール機能を備え、 より多様な処理パターンに対応可能としました。 さらに炭化水素系の可燃性ガスに対しては、警報検出による機器停止、 大気放出ガス希釈ユニットなどの安全装置を備えています。 詳しくは、カタログをダウンロ...(つづきを見る

  • MOCVD排気濾過用フィルター (AIXTRON装置用)中国産 製品画像

    MOCVD、フィルター、AIXTRON、LED、中国産、高温真空粉塵濾…

    主流ドイツのAIXTRON社のMOCVDの各型番の装置の排気フィルターは全部対応可能です。日本国内にも多数LEDメーカ―とパワーディバイスメーカーに2年以上の採用実績があります。品質面、価格面も高い評価を頂いております。...(つづきを見る

  • 真空蒸着システム PECVD 製品画像カタログあり

    薄膜蒸着における低い工程温度

    高純度フィルムの形成が可能な、真空蒸着システム...プラズマを利用したCVDで、source gas などで分解させ、そこで発生する グロー放電を利用する薄膜合成法です。 Glow discharge を起こさせるために、0〜13.56MHzの多様な周波数領域の powerを利用します。 ■□■メリット■□■ ■高純度フィルムの形成が可能 ■Source Gas によって多...(つづきを見る

  • バルブ 「高真空L型バルブ」 製品画像カタログあり

    エッチング、スパッタ、CVDなどの排気ラインに高真空L型バルブ

    くて排気時間も短縮可能。 ○重金属汚染が少ない: →Ni (ニッケル)、Cr(クロム)などの重金属を含まないため、  ウエハなどワークへの重金属汚染が減少。 ○用途:エッチング、スパッタ、CVDなどの排気ライン ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。 ...(つづきを見る

  • ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズ 製品画像カタログあり

    CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。…

    LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低...(つづきを見る

  • 半導体フォーミング金型用セルテスDLCコーティング 製品画像カタログあり

    PVDとプラズマCVDのハイブリッドプロセスによるDLCコーティングで…

    半導体フォーミング金型用セルテスDLCコーティングは、PVDとプラズマCVDのハイブリッドプロセスによる新しいDLC(ダイヤモンドライクカーボン)コーティングです。複合多層膜の採用により、従来のDLCと比較して密着力にすぐれ、厚膜(~ 5μm)が可能なため、抜群の耐久性を...(つづきを見る

  • バタフライコントロールシステム Series 61.2 製品画像カタログあり

    CVDなどの高速で高度なプロセスに最適な圧力制御用バルブ

    -優れた圧力制御能力 -サービス時期の自動検出(コンタミネーション検出) -サービスポート装備(PC接続用またはサービスBOX接続用) -コンタミの多いプロセスへの優れた適応性...サイズ: DN25-320mm (1“ – 12“) アクチュエータ: 搭載型コントローラ ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: 回転軸シール 標準フランジ: I...(つづきを見る

  • ドライな潤滑被膜 DLC/NEO-Cコーティング 製品画像カタログあり

    プラズマCVD法により、複雑形状の製品や内径内面へ密着力の優れたDLC…

    「プラズマCVD NEO-Cコーティング」は、真空中で得られる低柵プラズマを利用して種々の製品にトライボロジー特性に優れたDLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜を高い密着力でコーティングします。 処理後の製品で...(つづきを見る

  • GIMATIC VD.:2.5段・真空カップ 製品画像カタログあり

    2.5段・真空カップ

    ・DuraflexⓇ真空カップ ・1個口で製作 ・デュアルデュロメーターで跡が付きにくいポリウレタン ・頑丈で柔軟なベロー ・大変柔らかいリップでエンボス加工の表面に最適 ...詳しくはお気軽にお問合せください。...(つづきを見る

  • 株式会社東海エンジニアリングサービス  事業紹介 製品画像カタログあり

    ガラスレンズ型の製造・販売からエンジニアリングサービスまで

    株式会社東海エンジニアリングサービスは、主にガラスレンズ型の製造・販売 を行っている会社です。 「CVD-SiC」や「ファインセラミックス」等のセラミックス材料や、 ガラス成形用金型、エンジニアリングサービスを取り扱っております。 各種非球面レンズ、赤外線用レンズ成形の試作も行っております。...(つづきを見る

  • 金型標準部品コーティング 製品画像カタログあり

    金型標準部品コーティングの各プロセスの特長などをご紹介!

    『金型標準部品コーティング』では、 コーティングの特性や概要などについて ご紹介しています。 CVD(化学蒸着)プロセスは、 1000℃の高温雰囲気中にガスを充満し 化学反応させるため、品物全周に均一にコーティングされるので、 複雑形状品にも適用可能です。 PVD(物理蒸着)プロセスは...(つづきを見る

  • 真空対応PZTアクチュエータ 製品画像カタログあり

    真空対応PZTアクチュエータ。アウトガスの発生がほとんどない

    当社の真空対応ピエゾアクチュエータは、化学蒸着法(CVD)による絶縁・防湿コーティングを使用しています。無酸素状態での対放射線性に優れ、アウトガスの発生がほとんどありません。低〜超高真空の各種装置で対応が可能です。 ■特長 ・低電圧で変位量が大きい ・エネルギー変換効率が大きい ・広い温度範囲で使用できる ・真空状態でのアウトガスの発生が少ない ・小型・軽量 ◆◇◆◇◆◇◆◇...(つづきを見る

  • ドライ真空ポンプ『SDE-TXシリーズ』 製品画像カタログあり

    あらゆるプロセスに対応する高耐久ドライ真空ポンプ!プロセス性能に特化

    ドライ真空ポンプです。 耐デポ性能に優れた縦型スクリューを採用し、構造材料や温度設定による 高い耐食性を発揮します。 【ハーシュプロセス対応例】 ■Metal-Etch ■SA-CVD ■Metal-CVD ■PE-CVD ■LP-CVD ■ALD ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...(つづきを見る

  • 真空技術とFAの要素技術を融合!設計・製造からサポートまで対応 製品画像カタログあり

    重ね合わせ装置やシール剤塗布装置と窒素置換容器、特型GBの設計・制作

    半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、CVD装置等の成膜装置の設計・製作を行っております。装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な体制となっております。排気セット等のユニット単位での設計製作も行っております。また、各種実験補助設備の設計や真空設計の応用に豊富な経験があり、仕様検討の段階よりお手伝いさせていただきます。...【製品】 蒸着膜形成装置 ...(つづきを見る

  • ガス配管製作 製品画像カタログあり

    ガス配管製作

    自動溶接作業は、クラス10,000相当のクリーンルームにて行っております。 製品完成後は洗浄工程を通り、減圧脱気梱包を施したものを納品させて頂きます。 【他に・・・】 ◆半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、CVD装置等の成膜装置の  設計・製作を行っております。 ◆真空装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な  体制となっており...(つづきを見る

  • ビューポートシャッター SFシリーズ 製品画像カタログあり

    ビューポートシャッター SFシリーズ

    蒸着、スパッタ、MBE、CVDなどの成膜プロセス 有機ガスを含むプロセス中で問題となるビューポートへの成膜やダメージを防止 【特徴】 ○コンフラットフランジ仕様により、MBE装置等  各種超高真空装置に使用可能 ...(つづきを見る

  • 真空配管、粗引配管設計及び制作 製品画像カタログあり

    真空配管、粗引配管設計及び制作

    真空配管にて重要な欠陥であるフランジ部のキズなど、出荷前の外観検査にて除去し、 リークテストは全数実施しています。製品完成後は洗浄工程を通り、 減圧脱気梱包を施したものを納品させて頂きます。 【他に・・・】 ◆半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、CVD装置等の成膜装置の設計・製作を  行っております。 ◆装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでの...(つづきを見る

  • 光学用のボールレンズの全面コート 製品画像

    光学用のボールレンズの全面コート

    も小さくて扱いが難しいのでボール全面にコーティングするのにはハイレベルな技術がないとできません。また、全面コーティングのため膜厚はムラがありません。 コーティングはPVD(物理気相成長法)とCVD(化学気相成長法)を使用しています。光通信で使用される波長帯は830−850nm, 850-1300nm, 1270-1310nm, 1500-1600nmが主流となっています。 全面コ...(つづきを見る

  • チャンピオン工業株式会社 プラスチック金型用部品総合カタログ 製品画像カタログあり

    チャンピオン工業株式会社の全てを網羅した総合カタログ

    により、市場にあるあらゆる材質の加工に対応しています。 ■熱処理・表面処理も用途に合わせて 真空・高周波などの熱処理はもちろん、サブゼロ処理やタフトライド・スルスルフ・イオン窒化・PVD・CVDなどの表面処理も用途に合わせて指示通り行ってまいります。 本カタログはチャンピオン工業株式会社の全てを網羅した総合カタログです。お手元に1冊どうぞ。...(つづきを見る

  • 鋳抜ピン『コアピン』 製品画像カタログあり

    30年に渡り製造されてきた鋳抜ピン

    【取扱いコーティング】 ■窒化処理 ■窒化PVDコーティング ■PVDコーティング ■CVDコーティング ■PCVDコーティング ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせください。...(つづきを見る

  • 株式会社バックス 事業紹介 製品画像カタログあり

    シリコン・石英、アルミ+アナダイズ処理等の半導体製造装置部品の製造を行…

    。 シャワー面をはじめ、Eagle-10ヒータ、SUPPORT ROD、 Ni-BOLTS-L2などの実績を保持。 シリコン・石英等の硬脆材料製品やアルミ+アナダイズ処理等の P-CVD/ETCH製品なら当社にお任せください。 【事業内容】 ■半導体製造装置部品の製造及び付帯関連  ・シリコン・石英等の硬脆材料製品  ・アルミ+アナダイズ処理等のP-CVD/ETCH製...(つづきを見る

  • 製品案内 装置 製品画像カタログあり

    表面分析用チャンバーや蒸着用チャンバーのご紹介

    【使用例】 ■MBE装置 ■CVD装置 ■有機材料成膜装置 ■分析装置  他 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...(つづきを見る

  • 産業機械部品 カタログ 製品画像カタログあり

    各種産業機械部品に関する特長や利点などを詳しく解説!

    【産業機械向けコーティングラインアップ】 ■PVD窒化膜 ・硬度 HV0.05:2000-3500 ■PVD炭素膜 ・硬度 HV0.05:1200-5000 ■PVD/PACVD ・硬度 HV0.05:1200-2800 ■CVD ・硬度 HV0.05:2000-4000 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...(つづきを見る

  • スパッタ装置 マルチチャンバー 枚葉式 製品画像

    マルチチャンバー型・窒化物対応<サンプル対応可>

    半導体・FPD・MEMS・先端表面実装などの各分野で活躍しています。 スパッタ・熱処理・エッチング室をご要望に合わせて取り付けます。 また、蒸着・CVD等の複合成膜にも対応しております。 <基本装備> ・カセット室 ・ロボット搬送 ・処理室:3~5室 <その他> ・UHV ...(つづきを見る

  • パルスレーザパルス蒸着システム 製品画像カタログあり

    パルスレーザパルス蒸着システム

    AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着(PVD)法と化学気相蒸着(CVD)法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD(パルスレーザ蒸着)装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 *...(つづきを見る

  • 角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION 製品画像カタログあり

    開閉動作をエアシリンダーで行うことで衝撃とパーティクルを低減し、超寿命…

    エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。 -real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化 -サービスカバーからの簡単なメンテナンス -開または閉位置での圧空ロック機構 ...(つづきを見る

  • 石英ガラス加工製品・再生石英材料 製品画像カタログあり

    最高の加工技術で作られた製品をお客様に提供します。

    【加工例】 ◯洗浄装置用処理槽 ◯ウェーハ用キャリアー、ボート、チャック ◯拡散・CVD用炉芯管 ◯エッチャー/アッシャー用ベルジャー ◯各種治工具類 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 ...(つづきを見る

  • BALINIT® LUMENA 製品画像カタログあり

    フォーミングの生産性を向上

    BALINIT® LUMENAの特徴 ー高硬度 ー低残留応力 ー高い耐摩耗性 ー高い耐熱性・耐薬品性 ー摩擦係数を低減 ー厚保膜を実現(CVDと同程度)...(つづきを見る

  • アルマイト再生 製品画像

    アルマイト再生

    CVD、エッチャー装置部品のアルマイト再生をお受けいたします。 当社のアルマイト再生は、ガス穴径を大きくすることなく作業いたします。 その結果数回のアルマイト再生が可能となり、部品のロングライフ化を実現しました。...(つづきを見る

  • 株式会社IHI Ionbond JAPAN『金型』のご紹介 製品画像カタログあり

    低コスト化と生産性向上の最適なソリューションをご提案!

    【金型向けコーティングラインアップ】 ■PVD  ・膜種:Ionbond 90 Concept ■PVD  ・膜種:Ionbond 35 CrWN ■PACVD  ・膜種:Ionbond 42 Cr+CrN+a-C:H ■CVD  ・膜種:Bernex 29 AI2O3 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...(つづきを見る

  • 『切削パレット』 製品画像カタログあり

    Mg・AL非鉄金属を使用。陽極酸化や無電解めっきなど、各表面処理に対応

    】 ■陽極酸化 ・アルマイト:AL、Mg ・硬質アルマイト:AL ■無電解めっき ・無電解Ni:AL、Mg ・無電解Ni+フッ素:AL ■塗装 ・樹脂塗装+フッ素:AL、Mg ■CVD法 ・TIALN:AL ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...(つづきを見る

  • 特殊炭素製品「半導体製造用 CZ装置 製品画像カタログあり

    各種熱処理用パーツの加工などに対応!先端産業向けに広く貢献しております…

    【加工部品】 ■シリコン単結晶、多結晶用引揚炉用部品 →ヒーター・坩堝・カーボン断熱材  カーボンフェルト・C/Cコンポジット部品 他各種部品 ■プラズマCVD用部品 【特殊炭素製品ラインナップ】 ○半導体向け ○熱処理用 ○溶解炉用 ○ガラス向け ○冶金向け ○歯科用 ○ホットプレス ○燃料電池向け ○電解用 ○放電加工用 ...(つづきを見る

  • 高温ウエハ用非接触ピンセット 製品画像

    高温のサセプターからウエハを非接触にて取り出す耐熱仕様のピンセット

    CVD装置による半導体ウエハのエピタキシャル成膜後のサセプター上の高温ウエハを、気体を噴出することにより非接触によりウエハを懸垂保持し搬送する「フロートチャック」に手動バルブの付いた取っ手を装着し、ピンセットのようにハンドルを持つ手によるバルブ操作により気体供給のON−OFFを行い、高温のサセプターからウエハを非接触にて取り出す耐熱仕様の「非接触ピンセット」。...気体を噴出することにより非接触に...(つづきを見る

  • 超高真空・高圧・低圧・高温・極低温の環境対応のチェーンクランプ 製品画像カタログあり

    プレミアムタイプ NW80-250 ボルト締め不要の簡単装着・脱着で人…

    シール、メタルシール両対応 ●極低温対応 ●350℃までのベーキングに対応 ●真空10-9Pa台まで使用可能 ●加圧10MPaまで使用可能 ●ステンレスタイプは食品・飲料用にも好適 ●CVD、超高真空、加速器、LPG、LNGガス等の用途に ◆◇◆詳細は資料請求、またはカタログをご覧下さい◆◇◆...(つづきを見る

  • 石英ガラス サーマルプロセス用製品 製品画像カタログあり

    新鋭の測定技術と実績ある加工技術で高度な要望に応える半導体製品をご提供…

    当社では、高耐熱、高純度、パーティクル対策などの要求にこたえる CVD工程や酸化・拡散工程に不可欠なチューブ、ボート等の サーマルプロセス用製品を取り扱っております。 大型化要求に対しては、φ1000mmを超えるチューブやフランジ等の 大口径石英ガラス部材...(つづきを見る

  • 『WC(超硬)コーティング』 製品画像カタログあり

    境界面が科学的な結合をさせる新しい表面改質を開発しました!

    基材にWC(超硬)を固溶拡散させることで、 境界面が科学的な結合をさせる表面改質を開発。 超硬部分の処理層の厚さは目的により10~400μmにコントロール 可能であり、従来のPVD、CVD処理層より厚く、 浸炭、窒化処理層とほぼ同等であり、 化学的結合をさせているので密着強度も良好です。 【特長】 ■耐摩耗性が高い ■耐食性に優れている ※詳しくはカタログをご覧...(つづきを見る

  • メンテナンス・リサーチ株式会社 会社案内 製品画像カタログあり

    真空装置のサポート・真空プロセス製品を広くご紹介しております。

    ッタリングカソード ○短形スパッタリングカソード ○シリンダー型スパッタリングカソード ○スパッタ用各種ターゲット ○高インパルススパッタ電源 ○アークプラズマ用パルス電源 ○プラズマCVD用パルス電源 ○メンテナンス ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...(つづきを見る

  • 『真空バルブ』【チャンバー間の仕切りとして使用可能!】 製品画像カタログあり

    チャンバー間の仕切り(大気-真空・真空-真空)として使用される真空バル…

    ルカム)」や「ゲートバルブH付(ツインロール)」をはじめとするスリットバルブや、「IPV」や「APC」をはじめとするペンドロールバルブをご用意しています。真空蒸着、エッチング、アッチング、PVD、CVD、スパッタリング等でご使用いただけます。 【特長】 ■チャンバー間の仕切り(大気-真空・真空-真空)として使用可能 ■受注生産により求められるスペックに柔軟に対応 ■約15,000台の...(つづきを見る

  • 窒化・バイメタリック可能…射出成型機用シリンダー 製品画像カタログあり

    窒化・バイメタリック可能 お客様の求める仕様・条件に合わせて…

    でなく、スクリュー、スクリューヘッド、チェックリング、シートリングなどの関連部品は、厳しい摩耗条件下にありながら、耐コンタミ性、耐食性を要求されます。TiN(窒化チタン)などのPVD(物理蒸着)、CVD(化学蒸着)、ラジカル窒化との複合処理等、セラミックコーティングは、先端部品の耐摩耗性を維持しながら、大幅なコンタミ低減をはかります。 何でもお気軽にお問い合わせください! クイック見積り...(つづきを見る

  • 高熱伝導製品『TC-1050ALY』 製品画像カタログあり

    1,000w/mkの驚異の熱伝導!銅の3倍の熱伝導特性を有した高熱伝導…

    『TC-1050ALY』は、当社のCVD技術を駆使して製造した、優れた高熱 伝導材料であるTPGと色々な材料を複合化したユニークな製品です。 銅の3倍の熱伝導特性を保有しており、アルミよりも軽量。 色々なサイズ・形状に対応可能...(つづきを見る

  • 【放熱でお困りの方必見!】高熱伝導製品『TC-1050ALY』 製品画像カタログあり

    1,000w/mkの驚異の熱伝導!銅の3倍の熱伝導特性を有した高熱伝導…

    『TC-1050ALY』は、当社のCVD技術を駆使して製造した、優れた高熱 伝導材料であるTPGと色々な材料を複合化したユニークな製品です。 銅の3倍の熱伝導特性を保有しており、アルミよりも軽量。 色々なサイズ・形状に対応可能...(つづきを見る

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