• 解説資料 金型コーティング膜の特性と選定【被覆処理・下地処理編】 製品画像

    PR硬質膜の被覆処理時の注意点と、金型の工具寿命を飛躍的に向上させる方法!…

    硬質膜の被覆処理時の注意点とは?金型の工具寿命を飛躍的に向上させる方法とは? 本資料(その3、その4)では事例を用いて被覆処理時の注意点と当社独自の処理方法を詳しく説明しています。 ・資料(その3)では金型に必須なコーティング膜について、さまざまな実際の損傷を交え特性と選定方法について解説しています。 ・資料(その4)では金型の工具寿命を飛躍的に向上させる方法、当社が行う下地処理であるD...(つづきを見る

  • DLCコーティングの基礎知識・事例・選定基準をまとめた資料進呈中 製品画像

    PR切削工具、金型、機械部品の磨耗・傷つき防止に!樹脂・ゴムに対応したタイ…

    当社の『DLCコーティング』は、高い耐摩耗性はもちろんのこと 回転・滑り・往復などの機械的相対運動に要求される特性を兼ね備え、 切削工具や金型、自動車部品、シール材などに幅広く適用可能。 摩擦抵抗を低減できる水素フリーの「ジニアスコートHA」や 樹脂やゴム材料の変形に追従する「ジニアスコートF」など、 課題に合わせて選択できる様々な膜種をラインアップしています。 【用途例】 ...(つづきを見る

  • プラズマCVD装置『PEGASUS』 製品画像カタログあり

    低温(40℃以下)でカバレッジ、埋め込み平坦化の成膜が可能!

    『PEGASUS』は、CMOS、メモリ、TSVのデバイス(~φ300mm)基板への 絶縁膜、保護膜の形成プロセスに低温で緻密な安定した成膜が可能な 量産対応型プラズマCVD装置です。 インターロック機構による、高い安全性を持ち合わせており、ウエハ 接触部位に非金属を使用しているため、裏面からの汚染を防止します。 【特長】 ■低温成膜 ■メンテナンス...(つづきを見る

  • 真空機器関連商品 EBEP処理装置<FAP-EB/2D> 製品画像カタログあり

    CVD、エッチング、表面改質のプロセスに最適です。

    真空機器関連商品 EBEP処理装置<FAP-EB/2D>は、低圧高密度プラズマによる高速・高品質表面処理装置で、CVD、エッチング、表面改質のプロセスに最適です。低圧力領域においてエネルギー可変電子ビームにより、プロセスガスを高効率に解離、電離を行なうことができ、高密度の活性種を生成することが可能。CCPプラズマ...(つづきを見る

  • 『表面処理の技術資料』5冊まとめてプレゼント中! 製品画像カタログあり

    表面処理に関する技術資料を5冊まとめてプレゼント!

    た熱処理設備の販売では、アジアをはじめ海外においても高い評価を得ています。 ==【プレゼント内容】==================== 小冊子「表面処理活用の基礎知識(PVD・プラズマCVD)」 小冊子「表面処理(拡散処理)の基礎知識[プラズマ窒化処理]」 小冊子「イオン窒化法の基礎知識(原理と利用技術)」 小冊子「PVDとその複合表面改質法による金型寿命の向上」 小冊子「プ...(つづきを見る

  • 熱触媒式除害装置(TCSシリーズ) 製品画像カタログあり

    排気ガス中の有害成分を専用触媒により除去します。

    ● 反応副生成ガスにも対応  カーボンナノチューブCVDプロセスで使用される NH3(アンモニア)の他  副生成される可能性が ある毒性の強いHCN(シアン化水素)にも対応。※1 ● 視認性に優れたデザイン  集合表示灯及びタッチパネル(オプショ...(つづきを見る

  • 【総合カタログ進呈】 MEMS・半導体プロセス用製造装置 製品画像カタログあり

    独自技術や世界レベルの性能を持つシリコン深掘り装置、エッチング装置など…

    』をダウンロードにて進呈中です。 【掲載製品】 ■シリコン深掘り装置 ■シリコン酸化膜犠牲層エッチング装置 ■SiC/化合物/酸化膜エッチング装置 ■酸化膜/窒化膜成膜装置(プラズマCVD装置) ■金属膜成膜装置(PVD装置)...(つづきを見る

  • HPC-20型 フルオートオスミウムコーター 製品画像カタログあり

    高機能・低価格 タッチパネル式フルオートコーティング機能搭載で、あら…

    特 徴 ★ホローカソード試料台による低電圧放電CVD法(特許)を採用、試料にやさしく金属オスミウムをコーティングします。 ★ホローカソード円筒内全体にオスミウムプラズマイオンが発生しますので試料の大きさ、高さの影響を受けません。 ★プラズマ放電...(つづきを見る

  • CARBOZENハイブリッドPVDシステム 製品画像カタログあり

    製膜スピードUP&高い密着性!導入コストや維持費も低いDLCコーティン…

    『CARBOZEN ハイブリッドPVDシステム』は、製膜スピードを飛躍的に向上させた新型DLCコーティング装置。優れた密着性が特長です。 リニア・イオン・ソースとUBMスパッタ、FCVAソースの適切な組み合わせで、基材との密着性が高い、様々なDLC膜をコーティングすることができます。 【特長】 ■装置とオペレーターのためのロック機能 ■MS Windows OSベースのソフトウェア...(つづきを見る

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