チェックしたものをまとめて:

  • カタログあり

    CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。…

    LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低...(つづきを見る

  • プラズマCVD NEO-Cコーティングの製品画像ですカタログあり

    プラズマCVD法により、複雑形状の製品や内径内面へ密着力の優れたDLC…

    「プラズマCVD NEO-Cコーティング」は、真空中で得られる低柵プラズマを利用して種々の製品にトライボロジー特性に優れたDLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜を高い密着力でコーティングします。 処理後の製品で...(つづきを見る

  • カタログあり

    あらゆるプロセスに対応する高耐久ドライ真空ポンプ!プロセス性能に特化

    ドライ真空ポンプです。 耐デポ性能に優れた縦型スクリューを採用し、構造材料や温度設定による 高い耐食性を発揮します。 【ハーシュプロセス対応例】 ■Metal-Etch ■SA-CVD ■Metal-CVD ■PE-CVD ■LP-CVD ■ALD ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...(つづきを見る

  • カタログあり

    強制給油方式採用!幅広い用途でご利用いただける真空ポンプです。【アルバ…

    VDシリーズ Ver.Cは、ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モータを搭載した油回転真空ポンプです。 2段式ベーン型で到達圧力が良く、最適化設計による低騒音化を実現し、幅広い用途でご利用いただける真空ポンプです。 200~240V/380~460Vまでの幅広い電圧を1台のモータ で対応可能。 大気圧付近でも排気速度が安定し、大気⇔真空の繰り返し連続運転などに最適なポンプです。 ...(つづきを見る

  • 【無料贈呈】アルバック・クライオのポンプ総合カタログ!

    【特長】 ◆スパッタ装置用に排気速度可変型のポンプ ◆エッチング、CVD装置などのために耐食性のポンプ ◆極高真空用にベーカブルタイプ ◆分析機器、実験装置などのために防振型 ◆スペースの節約のために、高さをつめたL型ポンプや、1台のコンプレッサーで複数のポンプ...(つづきを見る

  • カタログあり

    半導体プロセスで使用される多くの種類のガスを安全に処理する為に最適!

    【特長】 [Atlas-TPU] ○最大処理流量の増大 ○除害性能の向上 [Atlas-Kronis] ○Low-k CVDプロセスからのプロセス排気を効果的に処理するよう特別に設計 [Atlas-Helios] ○有毒、自燃性、および腐蝕性ガスの高い処理性能を発揮 ○水素の安全限界への制御下の酸化/完全な酸化 ...(つづきを見る

チェックしたものをまとめて:

6件中1〜6件を表示中

表示件数
45件
  • 1

※このキーワードに関連する製品情報が登録された場合にメールでお知らせします。

おすすめ関連情報

分類で絞り込む

分類で絞り込む

[-]

PR