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PRソーラーを接続するだけで使える蓄電システム!最大9.6kWhの蓄電池容…
単相3kW出力のパワコンと7.2kWhの蓄電池を内蔵した据置型のオフグリッド蓄電システムです。 4kWまでのソーラーパネルを接続可能。 配線はソーラーと出力部のみのため容易に設置可能。 【設置用途例】 ・山小屋 ・作業小屋 ・小規模店舗 ・小規模事務所 ・小規模工事現場 ・ユニットハウス ・トレーラーハウスなどに好適です。 ※詳細はPDFをダウンロード頂くか直接お問い...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社セイキ
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PR素材に新たな機能を吹き込む薄膜加工技術を解説した技術資料を進呈中!各種…
東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工(コーティングサービス)を行っております。 金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試作・開発・研究などの少量案件から、中小ロットの生産案件まで、幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。 機能性薄膜をご検討の際は、...
メーカー・取り扱い企業: 東邦化研株式会社
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CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。…
LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アルバック/ULVAC, Inc.
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プラズマCVD法により、複雑形状の製品や内径内面へ密着力の優れたDLC…
「プラズマCVD NEO-Cコーティング」は、真空中で得られる低柵プラズマを利用して種々の製品にトライボロジー特性に優れたDLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜を高い密着力でコーティングします。 処理後の製品で...
メーカー・取り扱い企業: 日本電子工業株式会社 本社
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CVD装置用真空排気装置(塩素系ガス対応真空ポンプユニット)
熱CVD装置の排気に実績多数。Cl系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…
ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ(水封式真空ポンプとメカニカルブースタ)をユニット化。 CVD装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。 主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循環式封液にアルカリ性溶液を使用し、塩素系ガスの排気と中和を両立。後段のガス処理装置の負荷を大きく削減。 特に表面処理用の熱CVD装置の塩素系ガスの排気系に有効で工...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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【無料贈呈】アルバック・クライオのポンプ総合カタログ!
【特長】 ◆スパッタ装置用に排気速度可変型のポンプ ◆エッチング、CVD装置などのために耐食性のポンプ ◆極高真空用にベーカブルタイプ ◆分析機器、実験装置などのために防振型 ◆スペースの節約のために、高さをつめたL型ポンプや、1台のコンプレッサーで複数のポンプ...
メーカー・取り扱い企業: アルバック・クライオ株式会社
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エドワーズは、真空蒸着、スパッタリング、CVD、プラズマ重合等、多くの…
当カタログは、コーティングプロセスに関連する真空ソリューションをご紹介しています。 コーティングプロセスでは、様々な用途向けに金属、無機化合物、有機化合物を堆積させ、薄膜を形成するプロセスです。 真空ポンプは、プロセス中の不純物の混入防止、成膜速度の向上、プラズマ発生用途として使われています。 エドワーズは、これまでの設置実績に基づくアプリケーションのノウハウとプロセスへの豊富な知識によ...
メーカー・取り扱い企業: エドワーズ株式会社
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あらゆるプロセスに対応する高耐久ドライ真空ポンプ!プロセス性能に特化
ドライ真空ポンプです。 耐デポ性能に優れた縦型スクリューを採用し、構造材料や温度設定による 高い耐食性を発揮します。 【ハーシュプロセス対応例】 ■Metal-Etch ■SA-CVD ■Metal-CVD ■PE-CVD ■LP-CVD ■ALD ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: 樫山工業株式会社
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