• 真空用高温ヒータ、静電チャックおよび耐熱衝撃セラミックス 製品画像

    PRSiCおよびGaN製パワー半導体製造プロセスに対応。高温、真空、腐食性…

    更なる省エネルギー化やEVなどに不可欠なパワー半導体。 そのパワー半導体の製造プロセスに不可欠な機能部品は高温で腐食性雰囲気に耐える、 不純物を含まないなど厳しい条件を満足する必要があります。 モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズのCVD技術によるTaC部品、ヒータ、静電チャック、 PBN部品は高い耐熱性や耐腐食性を有し、他製品では実現が難しい急速昇降温・超高温を容易に実現できま...(つづきを見る

  • 次世代コーティング技術『FUPC処理』【密着性と熱歪みを克服!】 製品画像

    PR密着強度の不満・熱歪みに伴う寸法精度の限界を解決します!高品質でコスト…

    CVD処理とPVD処理の弱点を解消し、コーティングの常識を変えた フジタ技研のオリジナル技術『FUPC処理』。 自社開発の処理装置による独自のプロセスにより、CVD処理特有の熱歪みにともなう寸法変化を極力抑制し、同時にPVD処理では不可能だった強力な密着性を実現しています。 【特徴】 ■TiNの欠点である低硬度を改良してTiCに近い硬度を持たせたコーティング ■FUPC-TiCN膜よ...(つづきを見る

  • バルブ 「高真空L型バルブ」 製品画像カタログあり

    エッチング、スパッタ、CVDなどの排気ラインに高真空L型バルブ

    くて排気時間も短縮可能。 ○重金属汚染が少ない: →Ni (ニッケル)、Cr(クロム)などの重金属を含まないため、  ウエハなどワークへの重金属汚染が減少。 ○用途:エッチング、スパッタ、CVDなどの排気ライン ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。 ...(つづきを見る

  • 石英ガラス サーマルプロセス用製品 製品画像カタログあり

    新鋭の測定技術と実績ある加工技術で高度な要望に応える半導体製品をご提供…

    当社では、高耐熱、高純度、パーティクル対策などの要求にこたえる CVD工程や酸化・拡散工程に不可欠なチューブ、ボート等の サーマルプロセス用製品を取り扱っております。 大型化要求に対しては、φ1000mmを超えるチューブやフランジ等の 大口径石英ガラス部材...(つづきを見る

  • 『真空バルブ』【チャンバー間の仕切りとして使用可能!】 製品画像カタログあり

    チャンバー間の仕切り(大気-真空・真空-真空)として使用される真空バル…

    ルカム)」や「ゲートバルブH付(ツインロール)」をはじめとするスリットバルブや、「IPV」や「APC」をはじめとするペンドロールバルブをご用意しています。真空蒸着、エッチング、アッチング、PVD、CVD、スパッタリング等でご使用いただけます。 【特長】 ■チャンバー間の仕切り(大気-真空・真空-真空)として使用可能 ■受注生産により求められるスペックに柔軟に対応 ■約15,000台の...(つづきを見る

  •  センサーブラケット VA・VB・VC・VDシリーズ 製品画像カタログあり

    センサー取付を簡単に!!センサーブラケット VA・VB・VC・VDシリ…

    弊社ではユーザー様のご要望にお応えし、パイジョンにセンサーを取り付ける際に使用して頂けるセンサー用ブラケットをシリーズに加えました。 ファイバーセンサー取付け用ブラケットと、光電センサー取付け用ブラケットをそれぞれご用意致しました。...○センサーを簡単すぐ取付け ○用途に応じて4タイプのブラケットを標準化 ○光電センサー全6種 材質:SUS304  適合センサー:OMRON/E3Z,KE...(つづきを見る

  • バルブ『3LTシリーズ』 製品画像カタログあり

    ウルトラクリーンバルブシリーズの最高グレードクラス製品となる高温モデル…

    ル高温型の メタルダイヤフラムバルブです。 接ガス部に樹脂を一切使用しておらず、最高250℃までの耐久性を 有する究極のメタルダイヤフラムに仕上げました。 また使用用途として、MOCVDの切り替え用バルブとして適しております。 【特長】 ■オールメタル高温型 ■樹脂不使用 ■最高250℃までの使用に耐える ■MOCVDの切り替え用バルブに最適 ※詳しくはカタロ...(つづきを見る

5件中1〜5件を表示中

表示件数
45件
  • 1

※このキーワードに関連する製品情報が登録された場合にメールでお知らせします。

おすすめ関連情報

分類で絞り込む

分類で絞り込む

[-]

PR