フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

Enovasense Field Sensor

PR高速な不透明膜の厚みマッピング、内部欠陥のエリア検出が可能なレーザーフ…

フランスのEnovasense社のセンサは、レーザフォトサーマル技術を使用した 高性能なセンサで、非接触で不透明体の厚みを測定できます。 本新製品は、従来のシングルポイントセンサと異なり、約１１万点を同時に測定できるエリアセンサです。 不透明体の厚みマッピングだけでなく、表面層下の欠陥、欠け、剥がれの有無を検知できます。 ■特長 　・非接触で下記が測定できます。 　　　☆不透明体の厚みマッピング...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

密着性を向上させ、優れた耐久性を実現！【ファインコーティング】

超硬質セラミック被膜ファインコーティングは、 通常のCVDよりも低温で…

近年、精密部品や金型の耐久性及び耐磨耗性を飛躍的にあげる表面処理技術は、 生産性の向上のために必要不可欠になっています。超硬質セラミック被膜ファインコーティングは、 通常のCVDよりも低温で成膜させるため、クラックのない緻密な炭化物被膜を形成させることが出来ます。 さらに、独自の真空拡散法を用いて密着性を向上させ、優れた耐久性を実現しています。 ※詳しくは資料をDL...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケンテック

精度の高い超硬合金製の精密金型部品に【ファインコーティングナノ】

超硬質セラミック被膜ファインコーティングは、 通常のCVDよりも低温で…

ファインコーティングナノは溶融塩法を用いて、複合炭化物被膜をサブミクロンで生成させる独自のプロセスです。高い密着性と耐久性を評価され、非常に精度の高い超硬合金製の精密金型部品に採用さてています。 【適応裁量】 ■超硬合金 【最大処理寸法】 ■φ150×150L ※詳しくは資料をDL、もしくはお問合せください。 ...※詳しくは資料をDL、もしくはお問合せください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケンテック

セラミック被膜直下からの剥離を抑制！【ファインコーティングHD】

新開発の母材強化とそれに最適化したファインコーティングVCを融合させた…

【最大処理寸法】 ・φ500x550L 【留意点】 ・CVDやTDプロセスと同様の高温での処理となります。母材の変形や寸法変化を極力少なくした処理方法ですが、特徴をご理解の上ご発注お願いします。ご質問はお気軽にお問い合わせ下さい。 ※詳しくは資料をDL、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケンテック

TD処理の課題である歪みや変寸を低減【ファインコーティングVC】

超硬質セラミック被膜ファインコーティングは、 通常のCVDよりも低温で…

【最大処理寸法】 ・φ500x700L 【留意点】 ・CVDやTDプロセスと同様の高温での処理となります。母材の変形や寸法変化を極力少なくした処理方法ですが、特徴をご理解の上ご発注お願いします。ご質問はお気軽にお問い合わせください。 ※詳しくは資料を...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケンテック