フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

【事例資料を進呈中】溶射・コーティング/表面処理適用例のご紹介！

PR使い方はいろいろ！溶射をはじめとした表面処理・コーティング技術で生産効…

鉄鋼から半導体、医療分野まで、さまざまな業界で幅広く利用される表面処理。 資料では、溶射・その他技術の概要や実績のあるアプリケーション等、幅広くご紹介しています！ ＼こんな方におすすめです！／ ・表面処理をご検討中の方 ・今よりも長持ちするコーティングをお探しの方 ・熱影響の少ない処理をご希望の方 ・開発中の商品へ高機能性・付加価値付与をご検討中の方 ――――――― 掲載内容 ――――――――...

メーカー・取り扱い企業： トーカロ株式会社

【表面処理】セラミックコーティング（蒸着）（耐熱性、離型性）

セラミックコーティング（蒸着）（耐久性、耐熱性、離型性（非粘着性））

ス硬度は2000～3000と非常に高硬度の被膜が得られます。 ■加工可能サイズ 400*400*400程度（膜種によって異なる。） ■処理温度 PVDプロセスの場合　100℃～500℃ CVDプロセスの場合　100℃～600℃（プラズマCVD）、500℃～1200℃（熱CVD） ■母材 工具鋼、ハイス鋼（高速度鋼）、ステンレス鋼、超硬合金など。 ■注意点（処理による欠点等） 穴...

メーカー・取り扱い企業： 蒲田工業株式会社

【表面処理】DLCコーティング（耐摩耗性、離型性）

DLCコーティング（耐摩耗性、離型性）

■加工技術の詳細 DLCとはダイヤモンドライクカーボンの略称です。 アモルファス（非晶質）構造の炭素薄膜を成膜します。PVD（物理蒸着）CVD（化学蒸着）方式があり目的や条件によって選定致します。 また、DLC処理前に下処理としてWPC処理やブラストロン処理などをすることにより、点接点効果による更なる摩擦係数の低下による滑り性向上も可...

メーカー・取り扱い企業： 蒲田工業株式会社