フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

Enovasense Field Sensor

PR高速な不透明膜の厚みマッピング、内部欠陥のエリア検出が可能なレーザーフ…

フランスのEnovasense社のセンサは、レーザフォトサーマル技術を使用した 高性能なセンサで、非接触で不透明体の厚みを測定できます。 本新製品は、従来のシングルポイントセンサと異なり、約１１万点を同時に測定できるエリアセンサです。 不透明体の厚みマッピングだけでなく、表面層下の欠陥、欠け、剥がれの有無を検知できます。 ■特長 　・非接触で下記が測定できます。 　　　☆不透明体の厚みマッピング...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

高精度 CVDコーティング技術

CVDは「教科書に存在しない技術」。絶妙の製膜コントロール技術で実現！

CVDコーティング技術は、経験に裏打ちされた自信が品質の差となって表れます。 長年にわたる試行錯誤と経験の蓄積・絶妙の製膜コントロール技術により他社にマネのできない精度を実現しています。 また当社では、潤滑性・滑り性・疲労強度に特化した当社独自の 「DM(下地処理)」も行っております。 【CVDコーティングの特徴】 ■耐摩耗・耐焼付けに抜群の効果を発揮 ■金型、工具の寿命を大幅に向上させる ■耐食・...

メーカー・取り扱い企業： フジタ技研株式会社

PVD CVD コーティング膜の特性と選定方法 【下地処理編】

金型に適したコーティング（PVD , CVD)を選定できてますか？工具…

ピーニングや窒化といった金型向けの下地処理は、硬質膜と併用することで金型の工具寿命は飛躍的に向上させることが知られています。 今回は当社が行う下地処理であるDM処理と窒化処理について解説しています。 【掲載内容】 ■硬質膜の特性と間違えない選び方 ■当社独自のDM処理について ■窒化処理（ラジカル窒化）について ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問合せください。....

メーカー・取り扱い企業： フジタ技研株式会社

PVD CVD コーティング膜の特性と選定【被覆処理・下地処理】

金型に適したコーティング（PVD , CVD)を選定できてますか？硬質…

工具寿命を飛躍的に向上させる方法、当社が行う下地処理であるDM処理と窒化処理について解説しています。 【掲載内容（抜粋）】 ■硬質膜の特性と間違えない選び方 ■被覆方法の種類と特徴 ■CVD法およびPVD法に含まれる被覆方法 ■成膜方法によって異なる被覆処理温度と製造工程 ■当社独自のDM処理について ■窒化処理（ラジカル窒化）について ※詳しくはPDF資料をご覧いただく...

メーカー・取り扱い企業： フジタ技研株式会社

PVD CVD コーティング膜の特性と選定方法 【被覆方法編】

金型に適したコーティング（PVD , CVD)を選定できてますか？硬質…

では、硬質膜の被覆方法を簡単に紹介すると共に、被覆方法に由来する 被覆処理時の注意点を説明します。 【掲載内容（抜粋）】 ■硬質膜の特性と間違えない選び方 ■被覆方法の種類と特徴 ■CVD法およびPVD法に含まれる被覆方法 ■成膜方法によって異なる被覆処理温度と製造工程 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： フジタ技研株式会社

PVD CVD コーティング膜の特性と選定方法 【損傷例編】

金型に適したコーティング（PVD , CVD)を選定できてますか？本資…

金型に必須なコーティング膜について、さまざまな実際の損傷を交え特性と選定方法について解説している資料です。 今回は実際に発生した硬質膜の主な損傷形態の事例を大きく2パターンに大別し、それぞれの損傷形態の原因について解説しております。 【掲載内容】 ■硬質膜に期待する効果と選定の難しさ ■実例写真の比較から見る硬質膜の被覆効果 ■硬質膜の主な損傷形態とその原因 ※詳しくはPDF資...

メーカー・取り扱い企業： フジタ技研株式会社