フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

Enovasense Field Sensor

PR高速な不透明膜の厚みマッピング、内部欠陥のエリア検出が可能なレーザーフ…

フランスのEnovasense社のセンサは、レーザフォトサーマル技術を使用した 高性能なセンサで、非接触で不透明体の厚みを測定できます。 本新製品は、従来のシングルポイントセンサと異なり、約１１万点を同時に測定できるエリアセンサです。 不透明体の厚みマッピングだけでなく、表面層下の欠陥、欠け、剥がれの有無を検知できます。 ■特長 　・非接触で下記が測定できます。 　　　☆不透明体の厚みマッピング...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

【施工事例】入子ピンの寿命向上：カナックOX処理

先端部分の溶着・カジリが減少！12,000ショットまで生産可能となった…

」を施した事例をご紹介します。 ピンの抜け勾配が0.05度であるため、ピン先端部から150mm部分にアルミの 溶着によりカジリが発生し、低寿命の為、カナックOX処理、一般的な窒化処理、 CVD（三層）、PVD(CrN）の表面処理をテストすることになりました。 結果、12,000ショットまで生産可能となり、先端部分の溶着・カジリが減少。 生産性の向上になりました。 【事例概...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナック

【施工事例】孔抜パンチの寿命向上

16倍以上の寿命向上に成功！ニューカナック処理＋PVD（TiN）を施し…

孔抜きパンチの寿命を改善するために、鋼種の選定から見直しをしました。 従来はSKH51材にCVD-TiCを施していましたが、パンチの先端がリング状に 割れることが寿命原因で、材質を超硬に変更。 ニューカナック処理にPVD（TiCN4μ）をすることで、従来より16倍以上の 寿命向上に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナック