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半導体製造装置向けロクステック貫通部シール【無料サンプル進呈中】
PR省スペースな配線孔シールが半導体製造装置の小型化に貢献!高い密閉性能(…
Roxtec (ロクステック) の貫通部シールは、小さな取付面積に沢山のケーブルを収めることができます。 高い水密性と気密性を持つので、半導体製造装置での採用実績が多数ございます。 製造装置の開発設計のご担当者様、 CMP装置、CVD装置、ガスキャビネット、アニール装置などの入線部に試してみませんか? ダウンロードしてくださった企業様、先着5社に毎月サンプルを無料で差し上げています。 ...
メーカー・取り扱い企業: ロクステック・ジャパン株式会社
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NWフランジ接続のボールバルブです。最高流体温度200℃まで使用可能!
ボールシートに耐久性・耐熱性に優れたハイパタイトPTFEを 使用しており、最高流体温度200℃まで使用可能。 フルボア構造は高いコンダクタンスと副生成物の堆積を抑制する 効果があり、CVD装置などの排気ラインに適しています。 #副生成物対策 【特長】 ■フルボア構造は高いコンダクタンスと副生成物の堆積を抑制 ■CVD装置などの排気ラインに好適 ■ボールシートに耐久性・耐熱...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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高純度ガス用ベローズバルブ「SBBシリーズ」に真空用KFフランジ接続タ…
ベローズバルブです。 高純度ガス用・真空用各種バルブをラインアップする当社の特長を 生かし、技術・ノウハウを融合させた加圧から真空までワイドレンジに 対応可能。 半導体製造などでのCVD等常圧プロセスの排気系ライン加圧検査用ガス導入ライン用にご使用いただけます。 【特長】 ■真空用KFフランジ接続タイプ ■大型チャンバー用のリークバルブ排気系検査用バルブに好適 ■加圧...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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『事例』プラズマや熱による センターリングの劣化対策 無料進呈中
真空配管設備の不安を解消!プラズマや熱によるセンターリングの劣化対策の…
製品使用例のご紹介です。 ・プラズマCVD装置によるプラズマや高温排気の影響で配管接続に使用しているフッ素ゴムO-リングが劣化してしまう。 ・高価なセンターリングを採用しているが、コストが高く困っている。 ・真空設備のセンターリングが...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社キッツエスシーティー
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