フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

Enovasense Field Sensor

PR高速な不透明膜の厚みマッピング、内部欠陥のエリア検出が可能なレーザーフ…

フランスのEnovasense社のセンサは、レーザフォトサーマル技術を使用した 高性能なセンサで、非接触で不透明体の厚みを測定できます。 本新製品は、従来のシングルポイントセンサと異なり、約１１万点を同時に測定できるエリアセンサです。 不透明体の厚みマッピングだけでなく、表面層下の欠陥、欠け、剥がれの有無を検知できます。 ■特長 　・非接触で下記が測定できます。 　　　☆不透明体の厚みマッピング...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

GaN成膜装置冶具用ドライ洗浄装置　【無料デモ実施中！】

ドライ洗浄により冶具が長持ち・コスト削減！ウェット洗浄に比べて大幅な時…

GaN成膜装置冶具用ドライ洗浄装置はMO-CVD装置の冶具などの成膜時に堆積するGaNやAlN等をドライエッチング方式で洗浄する装置です。 パワーデバイス、レーザーダイオード等の化合物・半導体や青色LEDの製造に最適。製造時の製品歩留まりの向...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メープル

株式会社エム・エー・シーテクノロジー　洗浄再生事業部

よりきれいに、より新しく、どんな部品も洗浄・再生します！

術で様々な部品を地球に配慮し洗浄・再生します。 市場が高まるLED・パワーデバイス製造装置に使用している構成パーツを、 母材を傷めることのない「ドライ洗浄サービス」などを展開。 MOCVD装置の構成部品をドライ洗浄することで、再利用することが可能になり、 お客様のコスト削減に大きく貢献しています。 【ドライ洗浄サービス 特長】 ■市場が高まるLED・パワーデバイス製造装置...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エム・エー・シーテクノロジー 東京営業所

有限会社浦野技研　会社案内

高圧窒素ガス発生装置・温調洗浄機の開発・製造のことならお任せください

し遂げる諦めない心を持ち続ける事で、高い技術を 保ち続けます。 お客様をアシストできる喜びを糧に、躍進を目指してまいります。 【事業内容】 ■高圧関連装置、半導体関連装置(電気炉関連・CVD) ■自動精密測定装置及び自動制御全般の設計製作 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社浦野技研